ウェハ外観検査装置『Cosmo Finder』

AI搭載 ウェハ外観検査装置 Cosmo Finder ローコスト、省スペースにハイスペックな外観検査を実現  全数のウェハ検査が出来ていない  数umの小さな異物やキズが見つからない  異物や欠陥の分類作業が出来ない  作業者による誤差や検出ミスが多い  今どこを検査していたのか分からなくなる  検査装置を導入したいがスペースが限られる  検査結果をペーパーレスにデータで残したい この１台で、 解決します。

Cosmo Finder “AI”による分類技術が、 ３０年以上の経験とノウハウが、 外観検査の概念を覆す。 “不可能”を“可能”に変える。 人が分類したかのように お客様の声から培った画像処理技術 人の目では分類できても、コンピュータでは、分類できない。そんな 画像処理ソフト開発３０年以上の経験から多くのお客様の要望を取り入 シーンが良くありました。しかし、Co sm o Finde rのAI機能にて学習さ れ、様々な欠陥の認識に対応することが可能です。今まで検出が困難 せることにより、似たような粒子の形状、大きさ、明るさ等から、あ だった異物やキズなどもCo sm o Finde rが威力を発揮します。 たかも人が分類したかのような分類が可能になります。 重なり合うような異物やキ ズがあっても検出可能です。 検査画像 検査結果 研磨傷内にある異物や打痕 も正確に捉えます。 検査画像 検査結果 検査画像 検査結果 省スペース設計 仕様 フットプリント1m2以下 測定対象ウェハ ベア、パターン付、膜付 本体内部に光学ユニット、駆動ユ ニット、画像処理ユニット、制御 ウェハサイズ 2インチ～8インチ ユニットをビルトインし、省ス 異物、クラック、サイズ(OK,NG判定） ペースながらハイパフォーマンス 検査項目 輝度ムラ、断線、パターン認識(OK,NG判定) を実現。製造工程からＲ＆Ｄ部門 寸法（穴・長短径・） まで、あらゆるシーンで対応可能 顕微鏡画像処理方式（高速パターンマッチング、 検出方法 です。 AI分類、輝度抽出） 約10min/wafer（6インチウェハ、分解能0.69um 検出時間 の時） 検出感度 約2um以上 オプション カメラ 2/3型 500万画素CMOSカメラ  ローダー・アンローダーユニット 光源 白色LED  吸着ユニット  エクスパンド・バックグラインディング済ウェハ対応 オートフォーカス レーザー三角測距式、合焦時間100msec以下  ウェハ刻印の文字認識・データ管理  ＧＥＭなどの上位システムとの連携 装置寸法 W635 H1355 D998 (mm)  バーコード対応 装置重量 約130kg  安全装置 ※カタログに記載の商品名等は、各社の登録商標です。 ※商品改良のために、仕様・外観を予告なしに変更することがあります。予めご了 担当地域の技術営業がサポートいたします。 承ください。 三谷商事株式会社 ビジュアルシステム部 ホームページアドレス https://www.mitani-visual.jp/ 東京営業所 名古屋営業所 ［担当地域：北海道・東北・関東・甲信越］ ［担当地域：静岡・愛知・岐阜・三重］ 〒171-0033東京都豊島区高田3-28-2 〒460-0002名古屋市中区丸の内2-12-13 （FORECAST高田馬場1F） (丸の内プラザビル6F) TEL:03-5949-6220 TEL:052-220-0525 大阪営業所 福井営業所 ［担当地域：近畿・中四国・九州・沖縄］ ［担当地域：福井・石川・富山］ 〒532-0003大阪市淀川区宮原3-5-24 〒910-8510福井県福井市豊島1-3-1 （新大阪第一生命ビﾙ12F） (第3三谷ビル2F) TEL:06-6399-3755 TEL:0776-20-3570