現場の課題はこれで解決！MELSERVO-J4 Solutions「vol.03 アライメント装置編」

ACサーボ MELSERVO 現場の課題はこれで解決！ MELSERVO-J4 Solutions vol.03 アライメント装置 ■3 （a） 動作フロー （b） X、Y、θ軸 ■1 、■2 、■3 ■1 ウエハの位置決め ビジョンシステム ビジョンシステム ウエハ両端のマークの計測 目標位置と計測値とのずれ分の計算 X、Y、θ軸 ■1 、■2 、■3 ダイレクトドライブモータ 目標位置変更機能 ずれ量分の補正 ■1 X軸 ■2 ■2 Y軸 ■3 θ軸 検査装置 （a） COGNEX社製ビジョンシステム 半導体の検査 （b） ウエハ 課題 ウエハを正確に 課題 回転軸を高精度で 課題1 2 3 タクトタイムを短縮したい。 位置決めしたい。 位置決めしたい。 現場の課題 COGNEX社製 ダイレクト ビジョンシステム ドライブモータ 目標位置変更機能 モデルシステム GOT QY40P QX40 Q64PN POWER CON0 CON0 CON0 CON0 CON0 30 30 30 30 30 25 25 25 25 25 《アプリケーション》 20 20 20 20 20 15 15 15 15 15 10 10 10 10 10 5 5 5 5 5 PULL 1 1 1 1 1A B A B A B A B A B GOT ●検査前、検査後の画像処理システム Q06UDEHCPU Q172DSCPU QX40 ●ソーラパネル生産装置 QY40P (MCCB) (MC) ●FPD 製造装置 《機器構成》 ●３D LCD 製造装置 モーションCPU：Q172DSCPU サーボアンプ：MR-J4-B、MR-J4W2-B サーボモータ：TM-RFM、LM-H3 シーケンサCPU：Q06UDEHCPU GOT ：GOT1000 シリーズ 入出力ユニット：QX40、QY40P ●SEMI ロジック検査装置 基 本 ベ ー ス：Q35DB 手順1 手順2 手順3 手順4 立上げ手順 システム構成の設定 Ethernet 接続の ビジョンシステム モーションSFCパラメータ設定 接続の設定 プログラムの作成

現場の課題は で解決！ 解決 1 ビジョンシステム ウエハの現在位置を素早く検出！ ビジョンシ 高 ステム 位 速置 に で 検出！ ビジョンシステムで簡単にウエハの現在位置を読み出すことができ、目標位置の補正をして素早く移動することができます。 【材料（ウエハ）の位置をビジョンシステムで使用した例】 COGNEX社製 材料（ウエハ）の検出 ビジョンシステム STEP 1 STEP 2 ビジョンシステムで現在位置を計測 補正量を計算して目標位置へ移動 解決 ダイレクト 2 ドライブモータ 駆動部との直結で「高応答、高精度」を実現！ 回転軸にダイレクトドライブモータを使用することにより、高応答、高精度で安定した位置決めを実現します。 低速回転、高トルクでの使用にも最適です。 【ダイレクトドライブモータ使用例】 低速回転、高トルクでの 中空構造のため、ケーブル・ 用途に最適！ 配管を通す構造が可能！ 低騒音で滑らかな駆動！ 伝達機構部品が不要になり、 部品点数が削減！ 摩耗による粉塵も出ず、 クリーンなシステム構築 が可能！ 解決 目標位置変更機能 位置決め中にも目標位置を 目標位3 置変更機能で変更でき、タクトタイムを短縮！ 更にタクトタイム短縮 位置決め中にビジョンシステムの 【目標位置変更機能の動作例】 位置データから位置補正する際、 Y軸 変更後の 再度位置決め始動することなく、 目標位置 当初の 目標位置に移動させることができ、 目標位置 タクトタイム短縮が図れます。 当初の目標位置 目標位置変更補正後の目標位置 X軸

立上げ手順 手順1 ◎システム構成 ◎アンプ設定 ダブルクリック システム構成の設定 ダブルクリック サーボアンプの設定をします。 も DDモー タ 定！ ◎MR 簡単設 　Configurator2 手順2 ◎内蔵Ethernetポート設定 ◎内蔵Ethernetポート オープン設定 IP アドレスの設定。 Ethernet 接続の デフォルト値：192.168.3.39 パラメータの設定 モーションコントローラのIPアドレス プロトコルはMELSOFT 接続、MC プロトコル接続の選択可能。 を設定します。 手順3 ◎Ethernet 通信回線 ビジョンシステム 接続の設定 ダブルクリック ビジョンシステムのEthernet通信、 ビジョンプログラム動作に関する ダブルクリック パラメータを設定します。 ◎ビジョンプログラム動作 手順4 1：0アライメント調整 [F100] // ビジョンシステム１にログオン モーションSFC MVOPEN K1 ［G100] ２つの命令を実行するだけで簡 // ログオンの完了チェック (D2000 == K20) * !M0 単にビジョンシステムのデータを プログラムの作成 [F101]ダブルクリック // ビジョンプログラム2を起動 取り込むことができます。MVPST K2 [G101] // ジョブの完了チェック (D2000 == K40) * !M0 簡単なビジョンシステム専用命 [F102]// 画像データから指令位置を計算 D4000L = LONG(D3010F*10000.0) D4002L = LONG(D3014F*10000.0) 令を記述するだけで、ビジョンシス ［K30 :　リアル］ 1 ABS-2(合成) 軸　　　　　 1 　　　移動量　　D4000 μm テムからの位置データを取り込む 軸　　　　　 2　　　移動量　　D4002 μm 合成速度　　1000.00 mm/s ことができます。 END

の アンプ、モータ、そして光ネットワークで奏でる 特 長 異次元パフォーマンス。 アドバンストワンタッチチューニング 各種調整もワンタッチでスピーディに完了！ ワンタッチチューニング機能をオン ： 指令 ： 実際の動き ワンタッチで制振制御、 ピッタリ！ ■ワンタッチ調整画面 するだけで、機械共振抑制フィルタ、 Before ロバストフィルタも調整！ After 高速位置決め アドバンスト制振制御Ⅱ、ロバスト 回 回 整定 回 フィルタを含めたサーボゲイン調整 転 転 転速 速 時間 速 整定 度 度 度 時間 が完了。先進の振動抑制機能を 時間 時間 時間 手軽に駆使することで、マシンの性 機械の動きが不安定！ 動きのタイミングが遅い！ ワンタッチチュ－ニ 能を最大限に発揮させます。 ング 多　彩 標準サーボアンプで多彩な駆動システムに対応 MR-J4シリーズサーボアンプは標準で回 転型サーボモータ、リニアサーボモータ、 ダイレクトドライブモータの駆動が可能です。 回転型サーボモータ リニアサーボモータ ダイレクトドライブモータ 省 配 線 大幅な省配線を実現 専用ケーブルをコネクタに差し込むだけで ■パルス列指令の構成 ■SSCNETⅢ/H指令の構成 のワンタッチ接続。配線作業を大幅軽減 配線数が多い ケーブル1本で接続 Q06UDHCPU Q173DSCPU QY10 QY10 Q173DPX Q172DEX Q172DLX QJ61BT11N QJ71E71-100 Q64PN POWER RUN PRM RUN ERRMODE D LINK INIT COM.ERR SD RD OPEN 100M ERR. SD RD SW STATION NO. 1 2 STOP RUN X10 EMI できます。 X1MODEPULLMODE MODERUN RUNERR ERR 10BASE-T/100BASE-TXUSER USERBAT BAT NCBOOT BOOT 12 DA 3 DB 4 5 POWER RS-232 RS-232 DG 6 PULL 7 OPEN C INPUT N CNP1 100V 5AC L1 L2 OPEN L3 CINPUT N C CNP1 100V 5AC N- N3 L1 P3 L2 OPEN L3 INPUT P4 C CNP1 100V C N AC CNP2 N N- 3 L1 8 P+ P3 L2 C L3 D C P4 N C L11 1 N- CNP2 N A 8P+ P3 L21 C CNP3 D C P4 U C NN 1 CNP2 1 L11V AB P+L21 W CCNP3 D CHARGE C U C N N1 L112 V B C L21 N W 2 CNP3 L CHARGE C U SE：R XXXXXXXXX C NN MR-J4-10B 4 2 V C N W 2 L CHARGE SE：R XXXXXXXXX CN MR-J4-10B 4 省 エ ネ 電力モニタ機能を標準装備 サーボアンプ内での速度や電流な SSCNETⅢ/H対応 表示器で消費電力や積算電力量を表示 どのデータから力行／回生電力を <MR Configurator2画面> モーションコントローラ Q06UDHCPU Q173DSCPU QY10 QY10 Q173DPX Q172DEX Q172DLX QJ61BT11N QJ71E71-100 Q64PN POWER RUN PRM RUN ERRMODE D LINK INIT COM.ERR SD RD OPEN 100M ERR. SD RD SW STATION NO. 1 2 STOP RUN X10 EMI 計算。MR Configurator2で消費 X1 モーションMODEPULL 10BASE-T/100BASE-TX NC 1 2 DA 3 コントローラでの解析 DB 4 5 DG 6 PULL 7 電力などのモニタができます。 省エネシステムの検討 SSCNETⅢ/H経由でモーション MR-J4-B OPEN C INPUT N CNP1 100V 5AC L1 コントローラにデータを送信し、消 L2L3 サーボアンプ内でCN- N3P3P4 C CNP2 N 8 P+ C D C 消費電力を計算 N L11 1A L21 費電力の解析や表示器での表示 CNP3U CNV 1BWCHARGE CN 2 パソコン CN 力行2LSE：R XXXXXXXXX CNMR-J4-10B 4 が行なえます。 M サーボモータ 回生 い ま 、サ ー ボ 、モ ー ショ ン は 、人・機 械・環 境 と 響 き 合 う。 S o l u t i o n ソリューション 本社機器営業部 （03）3218-6740 関越支社 （048）600-5835 北陸支社 （076）233-5502 関西支社 （06）6347-2821 九州支社 （092）721-2251 北海道支社 （011）212-3793 新潟支店 （025）241-7227 中部支社 （052）565-3326 中国支社 （082）248-5445 東北支社 （022）216-4546 神奈川支社 （045）224-2623 豊田支店 （0565）34-4112 四国支社 （087）825-0055 インターネットによる情報サービス「三菱電機FAサイト」 三菱 FA 検索 三菱電機FAサイトでは、製品や事例などの技術情報に加え、トレーニングスクール情報や 各種お問い合わせ窓口をご提供しています。また、メンバー登録いただくとマニュアルや www.MitsubishiElectric.co.jp/fa/ CADデータ等のダウンロード、ｅラーニングなどの各種サービスをご利用いただけます。 L（名）03066-A 1207（IP） この印刷物は、2012年7月の発行です。なお、お断りなしに仕様を変更することがありますのでご了承ください。 2012年7月作成 CN2 CN1 EXT . I/F PERIPHERAL I/F CN2 CN1 EXT . I/F PERIPHERAL I/F