超高速・高精度　三菱電機 FAセンサ MELSENSOR レーザ変位センサ

三菱電機 FAセンサ MELSENSOR レーザ変位センサ

Global Player 三菱電機グループは「グローバル 環境先進企業」を目指します。 三菱電機グループは、以下の多岐にわたる分野で事業を展開しています。 三菱電機グループは、「常により良いものを 重電システム 目指し、変革していく」という“Changes for タービン発電機、水車発電機、原子力機器、電動機、変圧器、パワーエレクトロニクス機器、遮断 器、ガス絶縁開閉装置、開閉制御装置、監視制御、保護システム、大型映像表示装置、車両用電 the Better”の理念のもと、活力とゆとりの 機品、エレベーター、エスカレーター、ビルセキュリティーシステム、ビル管理システム、その他 ある社会の実現に取り組んできました。そし ていま、時代に応える“eco changes”の精 産業メカトロニクス 神で、家庭から宇宙まで、あらゆる事業を通 シーケンサ、産業用ＰＣ、ＦＡセンサー、インバーター、ＡＣサーボ、表示器、電動機、ホイスト、電 じ、環境に配慮した持続可能な社会の実現に 磁開閉器、ノーヒューズ遮断器、漏電遮断器、配電用変圧器、電力量計、無停電電源装置、産業 向けてチャレンジしています。そのために、 用送風機、数値制御装置、放電加工機、レーザー加工機、産業用ロボット、クラッチ、自動車用電 装品、カーエレクトロニクス、カーメカトロニクス機器、カーマルチメディア機器、その他 社員一人ひとりがお客さまと一体となって、 グローバルな視点で、暮らしを、ビジネスを、 情報通信システム 社会を、より安心・快適に変えてゆきます。 無線通信機器、有線通信機器、監視カメラシステム、衛星通信装置、人工衛星、レーダー装置、 三菱電機グループは、最先端の環境技術と優 アンテナ、放送機器、データ伝送装置、ネットワークセキュリティーシステム、情報システム関連 れた製品力を世界に展開し、豊かな社会の構 機器及びシステムインテグレーション、その他 築に貢献する「グローバル環境先進企業」を 電子デバイス 目指します。 パワーモジュール、高周波素子、光素子、液晶表示装置、その他 家庭電器 液晶テレビ、ルームエアコン、パッケージエアコン、ヒートポンプ式給湯暖房システム、冷蔵庫、 扇風機、換気扇、太陽光発電システム、電気温水器、LED ランプ、蛍光ランプ、照明器具、圧縮 機、冷凍機、除湿機、空気清浄機、ショーケース、クリーナー、ジャー炊飯器、電子レンジ、 IH クッキングヒーター、その他 02

Global Player 三菱電機グループは「グローバル あらゆる製造現場の生産性および品質の 環境先進企業」を目指します。 向上を可能にするレーザ変位センサ 業界最高クラスの超高速・高精度。 当社のレーザ変位センサは、シーケンサ、表示器GOTと連携し、 ミクロン領域の測定で「Easy to Use」を実現します。 三菱電機グループは、以下の多岐にわたる分野で事業を展開しています。 三菱電機グループは、「常により良いものを 重電システム 目指し、変革していく」という“Changes for タービン発電機、水車発電機、原子力機器、電動機、変圧器、パワーエレクトロニクス機器、遮断 器、ガス絶縁開閉装置、開閉制御装置、監視制御、保護システム、大型映像表示装置、車両用電 the Better”の理念のもと、活力とゆとりの 機品、エレベーター、エスカレーター、ビルセキュリティーシステム、ビル管理システム、その他 INDEX ���������������������03 ある社会の実現に取り組んできました。そし CONCEPT �������������������04 ていま、時代に応える“eco changes”の精 産業メカトロニクス 神で、家庭から宇宙まで、あらゆる事業を通 シーケンサ、産業用ＰＣ、ＦＡセンサー、インバーター、ＡＣサーボ、表示器、電動機、ホイスト、電 センサヘッド �������������������06 じ、環境に配慮した持続可能な社会の実現に 磁開閉器、ノーヒューズ遮断器、漏電遮断器、配電用変圧器、電力量計、無停電電源装置、産業 向けてチャレンジしています。そのために、 用送風機、数値制御装置、放電加工機、レーザー加工機、産業用ロボット、クラッチ、自動車用電 コントロールユニット/コントローラ ����������10 装品、カーエレクトロニクス、カーメカトロニクス機器、カーマルチメディア機器、その他 社員一人ひとりがお客さまと一体となって、 設定・モニタツール ����������������14 グローバルな視点で、暮らしを、ビジネスを、 情報通信システム 社会を、より安心・快適に変えてゆきます。 無線通信機器、有線通信機器、監視カメラシステム、衛星通信装置、人工衛星、レーダー装置、 システム構成 ������������������19 三菱電機グループは、最先端の環境技術と優 アンテナ、放送機器、データ伝送装置、ネットワークセキュリティーシステム、情報システム関連 製品一覧 ��������������������20 れた製品力を世界に展開し、豊かな社会の構 機器及びシステムインテグレーション、その他 築に貢献する「グローバル環境先進企業」を 仕様 ����������������������22 電子デバイス 目指します。 パワーモジュール、高周波素子、光素子、液晶表示装置、その他 外形寸法図 �������������������29 家庭電器 液晶テレビ、ルームエアコン、パッケージエアコン、ヒートポンプ式給湯暖房システム、冷蔵庫、 扇風機、換気扇、太陽光発電システム、電気温水器、LED ランプ、蛍光ランプ、照明器具、圧縮 機、冷凍機、除湿機、空気清浄機、ショーケース、クリーナー、ジャー炊飯器、電子レンジ、 IH クッキングヒーター、その他 03

レーザ変位センサは、e-F@ctoryにおいて必要なデータをリアルタイムにセンシングする生産現場のキーとなるパーツです。当 社FA製品との高い親和性を持ち備え、収集したデータをエッジコンピューティング層にシームレスに連携し、TCO*1を削減する ための分析・解析をよりスムーズに行うことを可能にします。 業界最高クラスの測定精度と品揃えのセンサヘッド サンプリング周期10μs、最小分解能0.01μmを実現しました。 46機種のセンサヘッドで様々なアプリケーションに対応します。 業界最高クラスの高速・高精度測定を実現したコントロールユニット 高速システムバス通信が可能となり、高速性が求められる制御にも対応しました。 センサヘッドからシーケンサCPUへ測定精度を落とすことなく、高速・高精度なフィードバック制御を実現します。 三菱電機シーケンサとの親和性を追求したコントローラ CC-Link IEフィールドネットワーク Basicインタフェース機能を搭載しているため、e-F@ctory情報連携を強化します。 iQSS対応により、プログラムレスでコントローラの情報を簡単に取得し、設定変更も容易に行えます。 *1. TCO=Total Cost of Ownership 04

FA統合ソリューション「e-F@ctory」は、FA技術とIT技術を活用し、開発・生産・保守の全般にわたるトータルコストを削減するこ とで、一歩先のものづくりを支援するソリューションを提案します。 since2003 サプライチェーン 調達 販売・物流 生産製造 サービス エンジニアリング チェーン 製品設計 工程設計 運用・保守 ERP SCM MES ITシステム CAD/CAM シミュレータ SCADA データ1次処理・分析 情報連携処理 エッジコンピューティング エッジコンピューティング製品群 駆動 コントローラ メカトロニクス 省エネ 生産現場 製品群 製品群 製品群 製品群 生産性向上 品質向上 省エネ 安全性向上 セキュリティ 05

センサヘッド 業界最高クラスの測定精度と品揃え センサヘッドの光学処理 レーザダイオードからレーザ光を発光し、測定物の反射光量をHDWC-SoC-CMOSセンサが受光することで測定を行います。 測定中心距離を基準とし、測定範囲内にて移動量の測定を行います。 測定中心距離 レーザダイオード 測定範囲 HR-WL HDWC-SoC-CMOSセンサ HR-WL撮像光学系*1 撮像光学系の収差を極限まで低減し、広角度のレーザ光 を、撮像素子上に極小点で結像させ、高精度化しました。 *1. HR-WL=High Resolution Wide Lens HDWC-SoC-CMOSセンサ*2 高密度：撮像素子 最新のCMOSプロセス技術により、高密度・幅広の撮像 撮像素子 幅広：高感度 素子と信号処理回路を集積化した「システム・オン・チップ」 SoC化 化により、高分解能・高感度な撮像と高速信号処理を実現 信号処理 （システム・オン・チップ化） 信号処理 しました。 信号処理IC SoC *2. HDWC=High Density Wide Cell、SoC=System on Chip 06

様々なアプリケーションに対応可能な柔軟性 測定物に合わせたスポットタイプ 小スポットタイプとラインスポットタイプの2種類のスポットタイプから測定物に合わせて選択できます。小スポットタイプは微小な 変化を高精度に測定に適しています。ラインスポットタイプは凹凸の影響を平均化し安定した測定を行えるため、表面が粗い測 定物に適しています。 セ ン サ ヘ 小スポットタイプ ラインスポットタイプ ッド おすすめ測定物　・コネクタのピン ・鏡面の傷 等 おすすめ測定物　・ヘアライン付金属 ・ゴム 等 ラインスポット 小スポット コ ン コト ンロ トー ロル ーユ ラニッ ト 測定物 設 定 ・ 受光量に合わせたレーザ投光量の調整 モニ タ 黒ゴムは反射光量が低く、鏡面体は反射光量が高い等、 ツー 対象物によって反射光量に差が生じます。レーザ変位セン ル サMH11では反射光量に応じて投光量を自動調整するた 小スポット 黒ゴム セラミック 鏡 め、安定した測定が行えます。 自動調整前 自動調整後 投光量を シ 自動調整 ステ ム 構 成 不足 最適 過多 センサヘッドの設置方法と測定モード 製 品 一般的にセンサヘッドは拡散反射方式で変異を測定します。しかし、測定物が透明体または鏡面体（金属研磨面など）の場合 一覧 はレーザ光が透過や正反射してしまうため、正反射方式で測定する必要があります。レーザ変位センサMH11は、1つのセンサ ヘッドで両方の方式を利用できます。*1 拡散反射方式 正反射方式 センサヘッドを、レーザ光が測定物に対して垂直方向に照 センサヘッドを、レーザ光が測定物に対して斜めに反射して 仕 様 射されるように設置します。 受光部に入射するように設置します。 レーザ光 測定物 測定物 入射角 反射面 外反射面 形 寸 法 図 *1. 測定方式選択可能モデルが対応しています 07 /

センサヘッド ■製品ラインアップ 拡： 拡散反射測定　正： 正反射測定 形　名*1 MH11H35C3□NA MH11H35□0□NA MH11H11□0□（NA） MH11H08□0□（NA） MH11H05□0□（NA） MH11H03B0□（NA） MH11H01A2□（NA） MH11H01A0□（NA） MH11H01A1□（NA） 15 10 8 30 50 外観 85 110 拡 拡 拡 拡 拡 350 拡 350 正 正 正 正 正 正 正 正 測定中心距離 および測定範囲*2 350±200mm 350±50mm 110±15mm 85±20mm 50±5mm 30±5mm 15±1mm 10±1mm 8±0.8mm 分解能*3 （2μm） （0.5μm） 0.1μm（0.25μm） 0.15μm（0.25μm） 0.05μm（0.25μm） 0.025μm（0.25μm） 0.01μm（0.25μm） 0.01μm（0.25μm） 0.01μm（0.25μm） 直線性［％F.S.］ ±0.04〜±0.08 ±0.03 ±0.03 ±0.03*4/±0.1*5 ±0.03 ±0.03 ±0.02 ±0.02 ±0.02 温度特性［％F.S./℃］ 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.02 0.01 0.02 ビーム径［µm］*6 約ø400 約400×6500 約ø250 約250×3500 約ø80 約80×1700 約ø100 約100×1200 約ø70 約70×1000 約ø30 約30×1200 約ø30 約30×1400 約ø20 約20×700 約ø20 約20×700 *1. 形名の末尾がNAではない機種は分解能が0.25μm未満の機種です。 *4. 拡散反射測定時の仕様です。 *2. MH11H01□の値は正反射測定時の仕様です。MH11H01□以外の機種の値は拡散反射測定時の仕様です。 *5. 正反射測定時の仕様です。 *3. かっこで囲まれている値は形名の末尾がNAの機種の仕様です。かっこで囲まれていない値は形名の末尾がNAではない機種の仕様です。 *6. 各機種の左側の欄は小スポットタイプの機種の仕様です。右側の欄はラインスポットタイプの機種の仕様です。 ■アプリケーション例 〈自動車分野〉 接着剤塗布高さ制御 エンジンブロックの加工精度確認 〈半導体・液晶分野〉 ガラス基板の厚み測定 ウェハの平面度測定 08

■製品ラインアップ 拡： 拡散反射測定　正： 正反射測定 形　名*1 MH11H35C3□NA MH11H35□0□NA MH11H11□0□（NA） MH11H08□0□（NA） MH11H05□0□（NA） MH11H03B0□（NA） MH11H01A2□（NA） MH11H01A0□（NA） MH11H01A1□（NA） セ ン サ ッヘ ド 15 10 8 30 50 コ ン 外観 ト85 コンロ 110 トーロル ーユ ラニッ ト 設 定 ・ モ 拡 拡 拡 拡 拡 ニタ ツ 350 拡 350 正 正 正 正 正 正 正 正 ール 測定中心距離 および測定範囲*2 350±200mm 350±50mm 110±15mm 85±20mm 50±5mm 30±5mm 15±1mm 10±1mm 8±0.8mm 分解能*3 （2μm） （0.5μm） 0.1μm（0.25μm） 0.15μm（0.25μm） 0.05μm（0.25μm） 0.025μm（0.25μm） 0.01μm（0.25μm） 0.01μm（0.25μm） 0.01μm（0.25μm） 直線性［％F.S.］ ±0.04〜±0.08 ±0.03 ±0.03 ±0.03*4/±0.1*5 ±0.03 ±0.03 ±0.02 ±0.02 ±0.02 シ 温度特性［％F.S./℃］ 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.02 0.01 0.02 ス ビーム径［µm］*6 約ø400 約400×6500 約ø250 約250×3500 約ø80 約80×1700 約ø100 約100×1200 約ø70 約70×1000 約ø30 約30×1200 約ø30 約30×1400 約ø20 約20×700 約ø20 約20×700 テム *1. 形名の末尾がNAではない機種は分解能が0.25μm未満の機種です。 *4. 拡散反射測定時の仕様です。 構成 *2. MH11H01□の値は正反射測定時の仕様です。MH11H01□以外の機種の値は拡散反射測定時の仕様です。 *5. 正反射測定時の仕様です。 *3. かっこで囲まれている値は形名の末尾がNAの機種の仕様です。かっこで囲まれていない値は形名の末尾がNAではない機種の仕様です。 *6. 各機種の左側の欄は小スポットタイプの機種の仕様です。右側の欄はラインスポットタイプの機種の仕様です。 ■アプリケーション例 〈電気・電子分野〉 製 品 チップ部品の高さ測定 足ピン浮き検査 一覧 仕 様 〈金属・樹脂・ゴム分野〉 金属、ゴム（非透明体）の厚み測定 フィルム（非透明体）の厚み測定 研削物の厚み測定 外 形 寸 法 図 09 /

コントロールユニット/コントローラ 業界最高クラスの高速・高精度測定を実現 NEW コントローラ コントロールユニット レーザ変位センサMH11のコントローラはMELSEC iQ-Rシリーズスロットイン形『コントロールユニット』と、MELSECシリーズと 接続が可能なネットワーク接続形『コントローラ』の2種類があります。 コントロールユニット 業界最高クラスのデータ取得速度を実現 コントローラ センサのコントローラをMELSEC iQ-Rシリーズのスロットイン形にすることで、シーケンサCPUとの間で高速システムバス通信 が可能となり、センサからCPUへの測定値の転送時間を短縮*1しました。また、測定値を取り込むためのアナログユニットが不 要となるためセンサヘッドで取得した測定精度を落とすことなく、高速にフィードバック制御を行えます。さらに、ネットワーク設定な ども不要なため、エンジニアリング工数も削減できます。 *1. コントローラにてアナログ接続を行うよりも高精度にデータの取得が行えます。 10

コントロールユニット ＣＰＵから簡単設定・制御可能 コントローラ シーケンサCPUからレーザ変位センサコントロールユニット内の設定データへアクセスができます。設定ツールを使用しなくても 条件を細かく設定・制御できるため、多品種生産での段取り替えなど測定物の変更にもフレキシブルに対応できます。 ■ 透明体測定における投光調整 セ ン 検出したい測定面に合わせ、受光量および投光量をモニタして投光調整をシーケンサのプログラムにて変更できます。さらに投 サヘ 光調整エリア指定や屈折率も変更可能です。 ッド 投光調整表面を測定したいが、裏面の反射が大きい 投光調整 エリア コ ン コト 裏面を 表面を ンロ 投光調整：自動 測定値として出力 投光調整エリア指定を行い、 測定値として出力 トー 表面 表面を測定 ロルユ ガラス ーラニ 裏面 ット 金属 裏面 表面 裏面 表面 設 定 コントロールユニット ・ リアルタイムなフィードバック制御 モコントローラ ニタ ツ MELSEC iQ-Rシリーズの高速システムバス通信による高速・高精度なセンサ測定とモーション制御を組み合わせることでリア ール ルタイムなフィードバック制御を実現します。 サーボアンプ シ ス テ ム 構 成 製 品 一 覧 仕 様 外 形 寸 法 図 11 /

コントロールユニット/コントローラ コントロールユニット 様々な接続方法で制御機器と接続が可能 コントローラ 三菱電機シーケンサだけでなく、SLMP接続、アナログ接続を行うことで他社PLCとの接続も行えます。 CC-Link IEフィールドネットワーク Basic接続 CPUユニット CC-Link IEフィールドネットワーク Basicインタフェース機能 を搭載し、シーケンサとの高い親和性を実現しました。また、 CC-Link IEフィールドネットワーク BasicのほかにSLMP*1 にてEthernet接続できます。 • ネットワーク経由で、測定値・受光量・判定出力などを収 判定上限値 測定値 集。さらにセンサヘッドとコントローラの設定確認、変更も 判定下限値 受光量 行えます。 サンプリング 判定出力 周期など アラームなど • コントローラの設定の確認・変更をシーケンサのエンジニ アリングツールから行えます。 • センサヘッドの測定値をプログラム無しで定期的にシーケ ンサCPUに送ります。 • CPUユニット1台あたり最大64台のコントローラを接続 可能です。最大128台のセンサヘッドを集中管理できま す。*2 • シーケンサCPUに内蔵されているCC-Link IEフィールド ネットワーク Basic対応Ethernetポートと接続できますの で、シーケンサにネットワークインタフェースユニットを追加 する必要はありません。*3 三菱電機シーケンサ CC-Link IEフィールドネットワーク Basic接続対応製品 シリーズ 形　名 コントローラ最大接続台数 エンジニアリング環境*4 MELSEC iQ-R R□CPU 2R□ENCPU 64台* GX Works3 FX5U-□/□ 2 FX5UC-□/□ 16台* GX Works3 MELSEC iQ-F FX5-ENET 32台 GX Works3 MELSEC-Q Q□UDVCPU 2Q□UDPVCPU 64台* GX Works2 MELSEC-L L□CPU （-P/-BT/-PBT） 16台 GX Works2 *1. SLMP（Seamless Message Protocol）：Ethernet製品とCC-Link IE対応機器の間でのネットワークの階層・境界を意識しない通信を可能にするシンプルなクライアント・サーバ型共通プロトコルです。 *2. 使用するCPUユニットやファームウェアバージョン、シリアルNo.によって最大接続台数が異なります。詳細はCC-Link IEフィールドネットワーク Basicリファレンスマニュアル（SH-081683）をご確認ください。 *3. 詳しくはシステム構成のページにてご確認ください。 *4. CC-Link IEF Basic構成画面からのiQSS設定は、GX Works3 1.035M以降、GX Works2 1.565P以降が対応しています。 アナログ接続 シーケンサ 各社PLC ネットワーク接続のほかに、シーケンサのアナログ入力とデ ジタル入出力を使って、レーザ変位センサのコントローラか ら測定値をシーケンサにダイレクトに取り込めます。 汎用のアナログ入力とデジタル入出力ですので、各社PLC デジタル入力 デジタル出力 アナログ入力 でも使用できます。*5 測定値 *5. コントローラの仕様　アナログ出力：-10〜10Vまたは2〜24mA、デジタル出力：DC3〜30V、デジタル入力：DC10.8〜30V 12

コントロールユニット 測定物の特性に合わせた測定が可能 コントローラ 金属、樹脂、ゴムなどでも測定物の材料特性に合わせて測定モードを選択できます。透明体の場合も屈折率に合わせ、正確に 測定できます。 測定モード 測定対象 拡散反射（標準） 金属、樹脂、ゴム、セラミック（鏡面体、透明体以外）など しみ込み 半透明体（樹脂）など セ 金属1 ヘアラインのある金属（押出材、圧延材）など ン 金属2 強いヘアラインがある金属（細かい傷、切削痕、研削面）など サヘ 正反射（標準） 鏡面体、透明体、ガラスの表裏面 ッ 金属 樹脂 ゴム ガラス ガラスの隙間、厚み ド ガラスパターン パターン付ガラス コ ン コト ンロ ー 金属（圧延材） ガラス パターン付ガラス トロル ーユ ラニッ ト コントロールユニット サンプリング周期の調整 コントローラ 材料が違う測定対象物を移動させながら検出する際、投光量の自動調整が対応できず、対象となる材料によって受光量の大 設定 きさに差ができる場合があります。その際、サンプリング周期を調整することで受光量を適正な値にできます*1。コントロールユ ・モ ニ ニットではシーケンサのプログラムでサンプリング周期を制御することで、材質に合わせて高速に切替えが行えます。 タ ツ ー ル シ ス テ サンプリング周期を調整 ム 構 成 ワークの進行方向 ワークの進行方向 金属 ゴム 金属 製 品 一 *1. コントローラは一部のパラメータのみ使用できます。 覧 コントロールユニット コントローラで測定値を演算・判定可能 コントローラ コントローラ1台にセンサヘッドを2台接続できます。2台の センサヘッドの測定値をコントローラ内で演算および判定で 仕ワークの厚み 様 きます。挟み込みによるワークの厚み測定や2点間ギャップ 測定など、加減演算および判定の結果をシーケンサに出力 し、シーケンサの演算処理を削減できます。 演算結果 外 判定出力 形 寸 法 図 13 /

設定・モニタツール 専用ツールで簡単設定 コントロールユニット MH11 SettingTool Version 2 コントローラ コントロールユニット MH11 SettingTool Version 2 コントローラ MH11 SettingTool Version 2*1を用いることで、コントローラとセンサヘッドの設定・モニタを行えます。 測定値画面 受光量波形表示 センサヘッドで測定したデータおよびコントローラの各端子 受光量波形を表示できます。スナップ（受光量波形の静止 の出力状態を確認できます。また、コントローラのゼロセット、 画）を取得して比較することも可能です。 リセットなどをボタンで実行できます。 受光量波形表示 バッファリング表示 データを蓄積して波形とデータを表示・保存できます。また、 目盛りを表示してデータを解析することもできます。 測定値画面 バッファリング表示 *1. CD版（SW1DNC-MH11ST-M）では一部対応していない機能があります。FAサイトより最新版を無償ダウンロードしてご使用いただけます。 コントロールユニット ■ デフォルトレシピで簡単セットアップ コントローラ デフォルトレシピとは、測定物の反射特性・測定方法を選択することでツールの基本的な設定を自動で行う機能です。そのため、 判定出力を微調整するだけでパラメータを設定できるため設定・調整の工数を削減できます。 ワークの進行方向 「デフォルトレシピの読み出し」機能により、ワンボタンで測定対象に合わせたパラメータに変更可能 14

コントロールユニット ■ バッファリング機能 コントローラ バッファリング機能により、最速10μsでサンプリングした測定値を一時的にコントローラに蓄積した後、USBケーブルでパソコン に転送し、レーザ変位センサMH11設定ツールで確認できます。最大65,000点の値を蓄積でき、形状データの蓄積により、ト レーサビリティなどに貢献できます。また、トリガモードでは、異常時をトリガ入力することで、異常前後の測定値を取得することが でき、原因究明に役立ちます。 セ ン サ ッヘ ド コ ン コト ンロ トー USB ロ ル ーユ ラニッ ト 設 定 コントロールユニット ・ レーザ変位センサMH11データ収集ツール モコントローラ ニタ ツ コントローラとパソコンをUSBで接続し、センサヘッドの測定データを表計算ソフトMicrosoft®Excel®*1に転送して、任意のセル ール に数値データとして貼り付けることができます。 • 外部信号や測定データの変化点、測定ステータスの変化などをトリガにして測定データを収集できます。 • 測定の頻度と回数を指定して測定データを収集できます。 シ ス テ ム 構 成 蓄積された 測定データ USB 製 品 一 蓄積した測定データを表計算ソフト*1に転送してセルに貼り付けます。 覧 *1. Microsoft®Excel®2000（日本語版）以上に対応しています。 動作環境 製　品 MH11 SettingTool Version 2 レーザ変位センサMH11データ収集ツール 仕 形名 SW2DNN-MH11ST-M SW1DNN-MH11LG-J 様 CPU Pentium互換CPU　1GHz以上*２ Pentium互換CPU　2.53GHz以上*２ パソコン本体 必要メモリ 2GB以上*2 ディスプレイ 1024×768ドット　256色以上 ハードディスク 600MB以上の空き容量 20MB以上の空き容量 OS Microsoft ®Windows® 7 Professional、Microsoft®Windows® 8 Pro、Microsoft®Windows® 8.1 Pro、Microsoft®Windows® 10 Home、 Microsoft®Windows® 10 Pro、Microsoft®Windows® 10 Education、Microsoft®Windows® 10 Enterprise 外 形 OSの言語 日本語、英語、中国語（簡体字・繁体字）、韓国語 日本語 寸 インタフェース USB2.0フルスピード（USB1.1互換）準拠、Ethernetポート USB2.0フルスピード（USB1.1互換）準拠 法図 *2. OSの動作環境に依存します。 FAサイトよりダウンロードできます。 www.mitsubishielectric.co.jp/fa 15 /

設定・モニタツール シーケンサエンジニアリングツールと連携 コントロールユニット One Software, Many Possibilities コントロールユニット 「選ぶ」「使う」プログラミングでプログラム設計工数削減 コントローラ 入出力信号やバッファメモリをユニットラベルとしてあらかじ め提供しているため、ユニットラベルを選択するだけでプロ グラミングが行えます。*1ラベル作成が不要となるためプロ グラム設計工数を削減できます。 GX Works3　プログラミング画面 選んで置く レーザ変位センサ コントロールユニットの ユニットラベル コントロールユニット すばやく問題解決 コントローラ GX Works3のユニット診断画面でエラーの発生時刻・原因・処置方法を確認できるため、異常発生によるダウンタイムを短縮 できます。また、イベント履歴画面ではパラメータの変更などのお客様操作と、エラー発生時刻を時系列で確認できるため、異常 発生時の原因究明が容易に行えます。 ユニット診断画面 イベント履歴画面 *1. GX Works3 1.050C以降が対応しています。 16

セ ン サ ヘッ ド コントローラ One Software, Many Possibilities コ ン コト iQ Sensor Solution（iQSS*1）対応のため、三菱電機シーケンサのエンジニアリングツールGX Works3、GX Works2で設定・ ンロトー ロル モニタを行えます。 ーユ ラニッ ト コントロールユニット システムの立上げが簡単 コントローラ 設 CC-Link IEフィールドネットワーク Basic構成画面からコントローラとセンサヘッドを制御システムに自動で登録できます。 定・ モ ニ タ ツ ー ル クリック！ シ ス テ ム 構 成 コントロールユニット センサのパラメータ変更が簡単 コントローラ CC-Link IEフィールドネットワーク Basic構成画面からセン 製 サヘッドのパラメータを読み書きできます。 品 一 覧 センサの パラメータ変更を 簡単に行えます。 仕 コントロールユニット 様 専用ツールの起動が簡単 コントローラ CC-Link IEフィールドネットワーク Basic構成画面で専用ツールを簡単に起動できます。 レーザ変位センサMH11 設定ツールを起動できます。 外 形 寸 リンク設定 法 図 クリック！ *1. iQSSの詳細については「センサソリューションiQ Sensor Solutionカタログ」を参照ください。 17 /

設定・モニタツール GOTで設定・モニタ コントロールユニットコントローラ コントローラから直接GOTに接続することでパソコンレスで受光量波形表示、測定表示、条件設定などが行えます。パソコンを 接続する必要がないため、生産現場での微調整が手軽に行えます。 GOTでモニタが可能 GOT GT2104-PMBDS2にサンプル画面を登録することで、波形や測定値などを表示できます。 RS-232 接続ケーブル GT2104-PMBDS2 G r a p h i c O p e r a t i o n Te r m i n a l GOTから設定が可能 GOT GT2104-PMBDS2にサンプル画面を登録すること で専用ツールを用いることなく、GOTからコントローラの設 定が行えます。 条件設定 FAサイトよりダウンロードできます。 www.mitsubishielectric.co.jp/fa 18

システム構成 お客様に最適な多彩なシステムを提供します システム構成 セ ■ コントロールユニット ンサヘッ ド センサヘッド コ ン コト ンロ トー ロル ーユ ラニッ ト コントロールユニット パソコン エンジニアリング環境 Ethernet/USB 設定 MH11 SettingTool ・ Version 2 モニ タ ツ 表示器 ール Ethernet　他 シ ス テ ム G r a p h i c O p e r a t i o n Te r m i n a l 構 成 ■ コントローラ 製 品 一 覧 センサヘッド コントローラ 表示器 仕様 GT2104-PMBDS2 RS-232 パソコン エンジニアリング環境 MH11 SettingTool Version 2 MH11データ収集ツール 外形 USB 寸 法 図 シーケンサ Ethernet/USB CC-Link IEフィールドネットワーク Basic接続/アナログ接続 * MELSEC iQ-F/Q/Lシリーズも対応しています。 表示器 Ethernet 他 各社PLC アナログ接続 G r a p h i c O p e r a t i o n Te r m i n a l 19 /

製品一覧 センサヘッド 測定中心距離および 測定範囲［mm］ レーザ光 測定精度 光　源 形　名*1 サンプリング 標準価格 拡散反射 正反射 形　状 ビーム径 分解能 直線性 レーザクラス 周期 （円） 方式 方式 ［μm］*2 ［μm］ ［％F.S.］ JIS/IEC/GB/FDA ショートレンジ MH11H01A1S 小スポット 約ø20 0.01 MH11H01A1L ラインスポット 約20×700 − 8±0.8 ±0.02 クラス1 MH11H01A1SNA 小スポット 約ø20 0.25 10μs、 MH11H01A1LNA ラインスポット 約20×700 20μs、 MH11H01A0S 小スポット 約ø20 0.01 40μs、 MH11H01A0L ラインスポット 約20×700 − 10±1 ±0.02 クラス1 100μs、 オープン MH11H01A0SNA 小スポット 約ø20 200μs、 0.25 MH11H01A0LNA ラインスポット 約20×700 400μs、 MH11H01A2S 小スポット 約ø30 1ms、 0.01 2ms MH11H01A2L ラインスポット 約30×1400 − 15±1 ±0.02 クラス1 MH11H01A2SNA 小スポット 約ø30 0.25 MH11H01A2LNA ラインスポット 約30×1400 ミドルレンジ MH11H03B0S 小スポット 約ø30 0.025 MH11H03B0L ラインスポット 約30×1200 30±5 26.4±4.6 ±0.03 クラス2 MH11H03B0SNA 小スポット 約ø30 0.25 MH11H03B0LNA ラインスポット 約30×1200 MH11H05B0S クラス2 小スポット 約ø70 MH11H05C0S クラス3R 0.05 MH11H05B0L クラス2 ラインスポット 約70×1000 MH11H05C0L クラス3R 50±5 46±5 ±0.03 MH11H05B0SNA クラス2 小スポット 約ø70 MH11H05C0SNA クラス3R 0.25 MH11H05B0LNA クラス2 ラインスポット 約70×1000 10μs、 MH11H05C0LNA クラス3R 20μs、 MH11H08B0S クラス2 小スポット 約ø100 40μs、 MH11H08C0S クラス3R 0.15 100μs、 オープン MH11H08B0L クラス2 200μs、 ラインスポット 約100×1200 MH11H08C0L 3 クラス3R 400μs、 85±20 81.4±6 ±0.03* MH11H08B0SNA ±0.1*4 クラス2 1ms、 小スポット 約ø100 2ms MH11H08C0SNA クラス3R 0.25 MH11H08B0LNA クラス2 ラインスポット 約100×1200 MH11H08C0LNA クラス3R MH11H11B0S クラス2 小スポット 約ø80 MH11H11C0S クラス3R 0.1 MH11H11B0L クラス2 ラインスポット 約80×1700 MH11H11C0L クラス3R 110±15 106.7±14.5 ±0.03 MH11H11B0SNA クラス2 小スポット 約ø80 MH11H11C0SNA クラス3R 0.25 MH11H11B0LNA クラス2 ラインスポット 約80×1700 MH11H11C0LNA クラス3R ロングレンジ MH11H35B0SNA クラス2 10μs、 小スポット 約ø250 MH11H35C0SNA クラス3R 20μs、 350±50 348±42 0.5 ±0.03 MH11H35B0LNA クラス2 40μs、 ラインスポット 約250×3500 MH11H35C0LNA クラス3R 100μs、 200μs、 オープン MH11H35C3SNA 小スポット 約ø400 350±200 − 2 ±0.04* 5 400μs、 ±0.08*6 クラス3RMH11H35C3LNA ラインスポット 約400×6500 1ms、 2ms 20