光学式 3D表面形状測定機『MarSurf CP/CL』シリーズ

MarSurf OPTICAL 3D PROFILOMETRY MarSurf CP/CL 光学式 3D表面形状測定機 This is what we mean by EXACTLY.

OPTICAL 3D SURFACE METROLOGY FOR INDUSTRY AND RESEARCH RESEARCH AND PROCESS PRODUCTION DEVELOPMENT CONTROL CONTROL 2 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology

MarSurf CP & CL select - PLATFORM OPTICAL 3D PROFILOMETERS FOR THE LABORATORY AND PRODUCTION 高速測定 高分解能 100mm×100mmを約1分で測定。 Z方向分解能 0.02μm、X方向分解能 1μm の高分解能 従来の測定機では時間のかかる、形状測定やキズ検出。 を実現。微小な傷の検出や、極小部位の測定に最適です。 MarSurf CP/CL は測定時間を大幅に短縮し、 全数検査を可能にします。 測定時間＝１分 100 mm 100 mm ロングストロークの電動テーブル 全自動測定・解析 用途に合わせて選択が可能なXY電動テーブル。 測定物のポジショニング・測定、レポートの作成を全自動で さまざまな形状・大きさの測定物に対応します。 行うことが可能です。 全自動ポジショニング 全自動測定 レポートの全自動作成 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology 3

MarSurf CP & CL select OPTICAL 3D PROFILOMETERS FOR THE LABORATORY AND PRODUCTION FLEXIBILITY AND EFFICIENCY • 測定室と製造現場の両方で使用可能。 • あらゆる材料の測定が可能。 • 直感的なユーザーインタフェースにより、簡単かつ素早く測定を開始。 • 試料調整が不要。（アライメント、無反射コート、スパッタリングなど） • 表面スキャンと2Dプロファイルの取得を短時間で完了。 • 双方向スキャニングなどの機能により、さらにハイスピードな高速測定を実現。 QUALITY AND STANDARDS COMPLIANCE • 多数のISO国際規格準拠のプロファイルと表面パラメータにより、　　　　　　　　　 測定結果の互換性と利便性を保証。 • 標準規格に準拠した測定システムとソフトウェアを実装。 • 従来の2D測定値を3D測定値で補完可能。評価と統計の新たな指標に。 • 表面構造と加工プロセスに関する新たな情報を提供。 4 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology

AUTOMATION • 測定とデータ解析の完全自動化に対応。 • 測定データは直接、測定レポート化。時間のかかる手順は不要。 • 基準マーク検出機能を搭載。 サンプルのポジショニング時に発生するエラーを自動的に検出、修正。 • 測定範囲トラッキング機能を内蔵。産業用の高性能な完全自動化測定に対応。 • ユーザー管理、データベース接続、公差チェック、SPCチャート他の機能により、 産業レベルで要求される完全自動化を実現。 REPRODUCIBILITY • 再現性と正確な繰り返し性を持つ、物理データを取得。 • すべての測定システムは、標準規格に適合した基準ゲージに基づいて校正。 本体と基準ゲージの校正証明書を提供。 • 自動化オプションにより、再現性の高い測定結果を提供。 • 安定した機械構造を持ち、外部環境に影響されない測定が可能。 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology 5

MarSurf OPTICAL 3D PROFILOMETRY 2D APPLICATIONS z 輪郭 x マイクロ流体チップの溝 真直度 電子基板のコンタクトパッド 断面積 金属試料の摩耗 6 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology

3D APPLICATIONS z 形状 y x マイクロ流体チップの溝 平坦度 電子基板のコンタクトパッド 体積／摩耗 金属試料の摩耗 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology 7

MARSURF OPTICAL 3D PROFILOMETRY 2D APPLICATIONS z 層厚 x セラミック基板上のペースト 反り/真直度 表面実装部品 (SMD) 表面粗さ(ライン) (R) 板金加工部品 8 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology

3D APPLICATIONS z 層厚 y x セラミック基板上のペースト 反り／平坦度 表面実装部品 (SMD) 3D表面粗さ (S) 板金加工部品 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology 9

MARSURF OPTICAL 3D PROFILOMETRY 3D APPLICATIONS FOR AREAL MEASUREMENT 表面粗さ (ISO 25178準拠)、表面粗さ、等方性 自動車産業 • 電子システム • インテリア 幾何特性 エネルギー産業 • 燃料電池 • バッテリー 10 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology

平坦度、層厚 電子部品 • チップ • 半導体 体積 印刷技術 • 内装 • インテリア MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology 11

MarSurf OPTICAL 3D PROFILOMETRY INDUSTRIES 自動車 • 電子システム • インテリア • ガラス部品 • ドライブトレイン 電池・航空宇宙 • 燃料電池 • バッテリー • タービン • 航空宇宙部品 電子部品・半導体 • BGA • MEMS • 高性能電子部品 • マイクロエレクトロニクス • マイクロビア • ハイブリッドテクノロジー • 導体線路部・導体板 マイクロシステム • 微小光学(マイクロオプティクス) • LED • 圧力センサー • マイクロ流体力学(マイクロフルイディクス) 12 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology

印刷・製紙・セキュリティ技術 • 印刷版 • 紙幣 • スクリーン印刷 • セキュリティ印刷 医療 • マイクロ流体力学(マイクロフルイディクス) • センサー • スマート材料 • ミクロトーム • インプラント 工具・刃物 • 剃刀 • マイクロツール • サンドペーパー • 切削工具 素材 • 表面加工 • 新素材 • ラミネート材 • ファイバー MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology 13

MarSurf OPTICAL 3D PROFILOMETRY EXAMPLES OF APPLICATION 研削 プレス加工 • 工具 • コイン • サンドペーパー • ラミネート加工 • 電磁接触器・電機子 • 人工皮革 • ICカード 測定パラメータ： • プラスチック製チャンネル 表面品質、平坦度、粒径、粒密度 • ローラー 測定パラメータ： 体積、粗さ、平坦度 スクリーン印刷 • 回路基板 • 電気回路 摩耗・キズ • 太陽電池 • リアウィンドウヒーター • ベアリング • ガイド 測定パラメータ： • ギア 層厚、反り、平坦度、体積 • モータ • コンタクト 測定パラメータ： 射出成形 摩耗量、深さ • ハウジング • プラスチック成型品 微細加工 測定パラメータ： • ディーゼルインジェクター 角度、体積、輪郭 • 接触面 • フィルター • 精密部品 レーザー加工 測定パラメータ： 平坦度、うねり • 印刷ローラー • レーザーマーキング • マイクロビア 測定パラメータ： 穴径、溝底幅 14 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology

MarSurf OPTICAL 3D PROFILOMETRY TECHNOLOGY Chromatic Sensor CP クロマチックセンサーの機能原理 クロマチックセンサーCPは共焦点光学系の原理に基づいており、 光の分散特性を利用して測定値を記録します。 顕著な色収差を持つレンズが、波長の短い青い光の焦点をレンズ近くに、 分光計 I 波長の長い赤い光の焦点をレンズから遠い位置に結びます。 白色光源 結果として生じる色の違いを分光計が検出し、 サンプル表面の高さが計算されます。これにより、高さの調整をすることなく z 表面に高低差のある測定対象物の結像を可能にしました。 λmin λ1 λmax ビームスプリッター Advantages of the Chromatic Sensor CP • 用途に応じて変更可能な垂直測定範囲 ( 0.1 mm ~ 10 mm ) • 最適化されたシグナル/ノイズ比による高垂直解像度 白色光 • 最大 4 kHz の測定レート • ブライトネスを動的に調整 • 長寿命でパワフルなLED光源 色補正イメージングレンズ • コンパクトな構造 軸上色収差をもつ クロマチックレンズ • 粗さ測定に最適 λmin サンプル表面 Chromatic Sensor CL 測定範囲 クロマチックラインセンサーCLは、光線上の192箇所の点を λmax ワーク表面に集束します。192箇所の点のそれぞれについて、 反射光をスペクトル分析し、高さを測定します。 Advantages of the Chromatic Sensor CL • 垂直測定範囲 … 最大 4.0 mm • ライン幅 … 最大 4.8 mm • サンプリング数 … 384,000 ポイント/秒 層厚測定 クロマチックセンサーによる層厚測定 層の測定の場合、光は「レンズとコーティングの界面」および 分光計 「コーティングと基材の界面」で反射されます。 クロマチックセンサーはこの両方の層を検出し、層厚を測定することができます。 軸上色収差の大きい クロマチックレンズ I1 I2 距離2 距離1 I1 測定範囲 コーティング 層厚 I2 基板 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology 15

POWERFUL SOFTWARE SOLUTIONS MarSurf Metrology Software 直感的な操作で測定が可能な MarSurf Metrologyソフトウェアは、 効率的な測定をサポートします。 全てのセンサーとカメラを一つのインタフェースで簡単にコントロール。 センサーとカメラを切り替える際も、自動的に測定位置まで移動して 測定を行います。 測定結果をわずか数秒で3D画像として表示。 ソフトウエアは日本語も含め、様々な言語に対応しています。 ナビゲーション機能 クイックプレビューから測定範囲をマウスで選択する機能です。 テンプレート機能 測定条件設定をテンプレートに保存することにより、 ナビゲーション機能 再設定することなくセミオートマチックに連続測定ができる機能です。 双方向スキャンとフリープロファイルスキャン 双方向スキャンにより、測定時間が大幅に短縮されます。 フリープロファイルスキャンを使用すると、 測定範囲の始点と終点を柔軟に設定できます。 双方向スキャン フリープロファイルスキャン MarSurf MfM Software MarSurf Mountains for Mahr (MfM) ソフトウエアは、 構造・粗さ・うねり・ステップの高さ・輪郭・その他の表面特性の表示・解析に 関する全ての工程をサポート。日本語を含む様々な言語に対応しており、 詳細な解析レポートを直感的かつ簡単に作成することができます。 プロファイルビュー・3D再構成・反射像といったさまざまな表示オプションにより、 有用な測定レポートを生成。 カスタムレポート作成レシピにより、ユーザー独自のレポートも簡単に作成できます。 各種ISOに準拠した標準パラメータとフィルタ機能を有します。 ソフトウェアには Standard・Extended・Professional バージョンがあり、 統計評価などの特別なモジュールも適用可能です。 16 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology

MarSurf Automation Software MarSurf Automationソフトウェアを使えば、カスタム測定や特殊解析が簡単に自動で行えます。 カスタマイズ可能な測定レシピ 数の制限なく測定レシピを作成することができ、データベースに保存可能です。 測定パラメータをテンプレートに保存し、後で使用することができます。 測定点の制限なく位置を決めることができ、各位置で異なるセンサー設定での測定が行えます。 いくつもの試料の連続測定を行う際、全ての試料を決められた条件に従って測定することも、 試料ごとに測定条件を切り替えて測定することも可能です。 データベース・サポート MarSurf Automation が自動的にレポートをレポートライブラリーに保存します。 ネットワーク上のデータベースに保存されたレポートは、複数のシステムからアクセスが可能です。 各種製造業に対応 レジストレーションマークの識別、測定データの統計ソフト（qs-STAT など）への転送、 2台のコンピュータによる同期データ収集やレポート作成をサポートします。 オペレータモードとアドミニストレータモードを、使用者のレベルにより厳密に管理することができます。 マルチセンサー 複数のセンサーを搭載することにより、プログラム制御で最適なセンサーを用いて測定します。 測定レポートの作成 許容誤差 測定結果 データベース サンプルレシピ サンプルを設置 ▶ レシピを選択 ▶ 測定開始 ▶ 自動データ解析自動評価 ▶ 測定レポートを作成 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology 17

AUTOMATION WITH MarSurf AUTOMATION SOFTWARE 1 RIGHTS MANAGEMENT / 権限管理 • パスワードによる階層的なユーザー管理 • 校正データの安全な管理 • オペレータ、プロセス、管理者権限レベルの付与 2 COLLECTING INFORMATION / 測定物情報の収集 • 注文関連情報の入力：ユーザーID、コンポーネントタイプ、ロット番号、日付/時刻など • 情報の手動入力 • バーコードリーダーまたは二次元コードリーダーを使用したデジタル入力 • 測定レシピと関連評価レシピの自動リンク 3 CHECKING POSITION / 測定物位置の検証 • サンプルの位置の検出と検証：任意でレジストレーションマーク検出を用いた補正も可能 • サンプル挿入時の配置精度の比較 • 測定位置に関する補正による部品/サイズ公差・位置度の補正 • 新しい位置の採用と必要に応じた測定レシピの適応 4 MEASUREMENT / 測定 • 個々の測定または連続測定の開始 5 AUTOMATIC EVALUATION / 自動評価 • 解析ソフトウェアへの測定データの送信 • 定義済みのレポートレシピまたはユーザー定義のテンプレートに基づく解析 6 AUTOMATIC MEASUREMENT REPORT GENERATION / 自動測定レポート作成 • 明確な測定レポートを使用して測定結果を包括的に表示 • カスタマイズ可能で高品質な測定レポートを作成 • PDFなどの形式で測定レポートをエクスポート 7 EXPORT TO DATABASE / データベースへのエクスポート • 所定のデータベースへの測定データセットおよび測定レポートの送信 • ASCII、CSV形式で測定値をエクスポート 18 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology

Mahrの測定システムとソフトウェアにより、測定・評価を自動化することができます。 ユーザー パスワード ロット番号 日付 or 時刻 測定レシピ 評価レシピ or 評価 OK/NOK SPC MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology 19

MarSurf CP select あらゆる製品の品質管理に最適な Advantages of the MarSurf CP select 光学式 3D表面形状測定機 • 高低差が大きい測定物の測定が可能　　　　　　　　　　　　　 センサーから測定物までの最大距離：70mm MarSurf CP selectのテクノロジーは、従来のプローブ測定システムに比べ、 • Z軸の移動はモータ駆動 (オプション) ※標準は手動タイプとなります 最大100倍速の高速測定を可能にしました。 • スティッチングによるZ軸の測定レンジの拡大が可能 グラナイト製のベースや高品質な部品を採用し、測定の高い再現性を実現。 • 測定、解析の自動化 大型の測定物や重い測定物の測定も可能です。 • 光沢のある表面の測定 (層厚測定・透明試料の測定) 測定の自動化にも対応しており、 • 測定対象物にキズをつけない非接触測定 柔軟なインタフェースで、お客様の品質保証プロセスに簡単に統合できます。 拡張可能なセンサーホルダー センサーホルダーには複数のセンサーの搭載が可能です。 測定項目に応じて、最適なセンサーを簡単に選択することができます。 モジュール化された設計や各種センサーの組み合わせにより、 さまざまな測定タスクに柔軟に対応できます。 Z軸は手動による微調整も可能です。 20 MarSurf | Optical 3D Surface Metrology MarSurf | Optical 3D Surface Metrology