粗さ・形状測定機　総合カタログ

MEASURING INSTRUMENT CATALOG 測定機総合カタログ 精密測定機器 PRECISION MEASUREMENT 表面粗さ 輪郭形状 非 接 触 SURFACE ROUGHNESS CONTOUR Non-Contact お問い合わせは営業所へ 本社 / 東京営業所 〒101-0021 東京都千代田区外神田6-13-10 TEL（03）5812-2011（代） FAX（03）5812-2015 三 郷 営 業 所 〒341-0035 埼玉県三郷市鷹野3-63 サーフコーダ TEL（048）955-1214（代） FAX（048）955-1218 Surfcorder 大 阪 営 業 所 〒532-0011 大阪市淀川区西中島4-11-21 新大阪コパービル1F TEL（06）6885-0765（代） FAX（06）6885-1976 フォームコーダ 名 古 屋 営 業 所 〒465-0025 愛知県名古屋市名東区上社3-609 北村第1ビル Formcorder TEL（052）705-1801（代） FAX（052）705-1804 釜山駐在員事務所 〒48059 韓国　釜山広域市海雲台区セントム東路71, 603号（佑洞） TEL（+82）51-731-6898 FAX（+82）51-731-2978 三 郷 工 場 〒341-0035 埼玉県三郷市鷹野3-63 真 岡 工 場 〒321-4346 栃木県真岡市松山町5-2 SE 表面粗さ測定機 Surface Roughness Measuring Instrument EF 輪郭形状測定機 Contour Measuring Instrument SEF 表面粗さ・輪郭形状測定機 Surface Roughness & Contour Measuring Instrument ご用命は下記の販売店へ DSF 表面形状・粗さ測定機 Contour & Roughness Measuring Instrument ※仕様などは製品改良のため、お断りなく変更することがあります。 　Specifications may change as systems are up-graded. 2020.12.1,000

ラインナップ + INDEX Lineups + Index ● SE / 表面粗さ測定機 / サーフコーダ SE / Surface Roughness Measuring Instrument / SURFCORDER ハハイイググレードモモデルデル High-Grade Model ● EF / 輪郭形状測定機 / フォームコーダ EF / Contour Measuring Instrument / FORMCORDER 　　 表面粗さ測定機 ● SEF / 表面粗さ・輪郭形状測定機 SEF / Surface Roughness & Contour Measuring Instrument ● シリーズ ● DSF / 表面形状・粗さ測定機 DSF / Contour & Roughness Measuring Instrument ・X軸100･200 mm、Z軸300 mmから選択可能な パソコンモデル トリーモデル ・高速移動による自動測定や非接触検出器など エントリーモデル 多彩なオプションに対応 　　 表面粗さ測定機 Entry Model Surface Roughness Measuring Instrument P. 8 / 12 ● SE300シリーズ SE300 Series ・段差解析可能なエントリーモデル 　　 輪郭形状測定機 Step height analysis is available with entry model ● シリーズ ・上下手動コラムやロール測定台など豊富な拡張性 Various combinations such as manual columns and roll measuring unit ・X軸100･200 mm、Z軸300 mmから選択可能な P. 4 / 6 パソコンモデル ・過負荷停止機能による安全性確保 　　 表面粗さ測定機 Surface Roughness Measuring Instrument ● SE500Aシリーズ ・検出器は2種類のグレードを用意 SE500A Series ・大画面液晶モニタ搭載で作業性・視認性アップ P. 9 / 12 Equipped with a large LCD monitor to improve workability and visibility ・電動コラムやパソコンなど豊富な拡張性 　　 表面粗さ・輪郭形状測定機 ＆ Various combinations such as motorized columns and personal computers P. 4 / 6～7 ● シリーズ ・X軸100･200 mm、Z軸300 mmから選択可能な 　　 輪郭形状測定機 パソコンモデル Contour Measuring Instrument ● EF550Aシリーズ EF550A Series ・粗さ検出器・形状検出器が搭載された複合機 （ 1台2役） ・パソコン操作不要なポータブル形状測定機 Portable contour measuring machine that does not require PC operation P. 10 / 12 ・電動コラムやパソコンなど豊富な拡張性 Various combinations such as motorized columns and personal computers P. 5 / 7 　　 表面形状・粗さ測定機 ＆ ● シリーズ ・X軸100・200 mm、Z軸300 mmから選択可能な ・ 非接触・DM粗さ測定機 Non-contact measurement and Direct Motion・Roughness measuring Instrument …… P14 / 15 / 16 パソコンモデル ・JCSS 校正証明書 JCSS proofreading certificate………………………………………………………… P17 ・プラトー表面粗さ解析ソフト /接触点フィルタ Plateau surface analyzing software ………………… P20 / 21 ・ワンスキャンで輪郭形状と表面粗さを測定・解析可能 ・ 二次元粗さ表面解析ソフト SGA31 2D Surface roughness analyzing system ………………………… P18 / 19 ・ 三次元粗さ表面解析ソフト TDA31 3D Surface roughness analysis system…………………………… P22 ・検出器は2種類のグレードを用意 ・ 輪郭形状解析システム FGA51 from graphic analytical system………………………………………… P23 P. 11～12 ・ 技術説明 Filters/Profile/Parameters …………………………………………………………………… P24 / 25 / 26 / 27 02

ラインナップ + INDEX Lineups + Index ● SE / 表面粗さ測定機 / サーフコーダ SE ハハイイググレードモモデルデル High-Grade Model ● EF / 輪郭形状測定機 / フォームコーダ EF 　　 表面粗さ測定機 Surface Roughness Measuring Instrument ● SEF / 表面粗さ・輪郭形状測定機 SEF ● SE800シリーズ SE800 Series ● DSF / 表面形状・粗さ測定機 DSF ・X軸100･200 mm、Z軸300 mmから選択可能な パソコンモデル PC model that can be selected from X-axis 100/200 mm, Z-axis 300 mm- ト ・高速移動による自動測定や非接触検出器など エントリリーモーデモルデル 多彩なオプションに対応 Supports various options such as automatic measurement by high-speed movement and non-contact pick-up 　　 表面粗さ測定機 Entry Model P. 8 / 12 ● シリーズ ・段差解析可能なエントリーモデル 　　 輪郭形状測定機 Contour Measuring Instrument ● EF800シリーズ EF800 Series ・上下手動コラムやロール測定台など豊富な拡張性 ・X軸100･200 mm、Z軸300 mmから選択可能な P. 4 / 6 パソコンモデル PC model that can be selected from X-axis 100/200 mm, Z-axis 300 mm- ・過負荷停止機能による安全性確保 　　 表面粗さ測定機 Ensuring safety with overload halt function ● シリーズ ・検出器は2種類のグレードを用意 2 types of pick-up are choosable ・大画面液晶モニタ搭載で作業性・視認性アップ P. 9 / 12 ・電動コラムやパソコンなど豊富な拡張性 　　 表面粗さ・輪郭形状測定機 Surface Roughness ＆ Contour Measuring Instrument P. 4 / 6～7 ● SEF800シリーズ SEF800 Series ・X軸100･200 mm、Z軸300 mmから選択可能な 　　 輪郭形状測定機 パソコンモデル PC model that can be selected from X-axis 100/200 mm, Z-axis 300 mm- ● シリーズ ・粗さ検出器・形状検出器が搭載された複合機 （ 1台2役） ・パソコン操作不要なポータブル形状測定機 Multi-function machine with roughness and contour pick-up (2in1) P. 10 / 12 ・電動コラムやパソコンなど豊富な拡張性 　　 表面形状・粗さ測定機 Contour ＆ Roughness P. 5 / 7 Measuring Instrument ● DSFシリーズ DSF Series ・X軸100・200 mm、Z軸300 mmから選択可能な ・ 非接触・DM粗さ測定機 Non-contact measurement and Direct Motion・Roughness measuring Instrument …… P14 / 15 / 16 パソコンモデル ・JCSS 校正証明書 JCSS proofreading certificate………………………………………………………… P17 PC model that can be selected from X-axis 100/200 mm, Z-axis 300 mm- ・プラトー表面粗さ解析ソフト /接触点フィルタ Plateau surface analyzing software ………………… P20 / 21 ・ワンスキャンで輪郭形状と表面粗さを測定・解析可能 “Contour (form)” and “surface roughness” can be measured and ・ 二次元粗さ表面解析ソフト SGA31 2D Surface roughness analyzing system ………………………… P18 / 19 analysis by one scanning ・ 三次元粗さ表面解析ソフト TDA31 3D Surface roughness analysis system…………………………… P22 ・検出器は2種類のグレードを用意 2 types of pick-up are choosable ・ 輪郭形状解析システム FGA51 from graphic analytical system………………………………………… P23 P. 11～12 ・ 技術説明 Filters/Profile/Parameters …………………………………………………………………… P24 / 25 / 26 / 27 03

SE 表面粗さ測定機 Surfcorder 輪郭形状測定機 Surface Roughness Measuring Instrument Contour Measuring Instrument SE300 ■ 持運びが簡単 ■ Easy carrying ■ 可搬性/設置自由度の高い測定機 ■ Compact with portable ■ 大型カラー液晶タッチパネルで操作も簡単 ■ Easy operation by large LCD touch panel ■ 検出器の円弧補正機能有り ■ Stylus circular movement correction is available ■ 小型ながら段差測定も可能 ■ Step height analysis is available with small size ■ スタイラス先端半径補正機能有り ■ Stylus radius correction is available ■ 豊富な拡張性 ■ Various combinations ■ USBメモリによる外部コンピュータへのデータ受け渡しが可能 ■ Measurement data strorage in USB memory and ■ PCと輪郭形状システムを用いた、高度な解析も可能 (オプション) reading in external computer is available ■ USBメモリに測定条件、測定データが保存可能 ■ Measurement condition and data strorage in USB memory is ■ Communicating with FGA51 is available available 仕　様　 仕　様　SPECIFICATION Z 最大測定範囲 30 mm Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 800 µm X 最大測定距離 50 mm X 最大測定距離 X Max measuring range 25 mm Z 最小分解能 0.25 µm Z 最小分解能 Z Min resolution 6.4 nm 真直度 3.5 µm/50 mm 真直度 Straightness 0.5 µm/25 mm 検出器 PU-FM15 検出器 Pick-up PU-A6 触針 SB-1A R25 µm　14° 触針 Stylus AA2-60 R2 µm　60° ■ 可搬性/設置自由度の高い測定機 ■ Compact with portable ■ 検出器の円弧補正機能有り ■ Stylus circular movement correction is available SE300-30 ■ スタイラス先端半径補正機能有り ■ Stylus radius correction is available ■ USBメモリによる外部コンピュータへのデータ受け渡しが可能 ■ Measurement data strorage in USB memory and ■ 持運びが簡単 ■ Easy carrying ■ PCと輪郭形状システムを用いた、 reading in external computer is available ■ 大型カラー液晶タッチパネルで操作も簡単 ■ Easy operation by large LCD touch panel 高度な解析も可能 (オプション) ■ Communicating with FGA51 is available ■ 小型ながら段差測定も可能 ■ Step height analysis is available with small size 仕　様　 ■ より長い測定距離に対応 ■ Various combinations Z 最大測定範囲 30 mm ■ 豊富な拡張性 ■ Long measurement range is available X 最大測定距離 50 mm ■ USBメモリに測定条件、測定データが保存可能 ■ Measurement condition and data strorage in USB memory is Z 最小分解能 available 0.25 µm 真直度 3.5 µｍ/50 mm 仕　様　SPECIFICATION 検出器 PU-FM15 Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 800 µm 触針 SB-1A R25 µm　14° X 最大測定距離 X Max measuring range 32 mm Z 最小分解能 Z Min resolution 6.4 nm 真直度 Straightness 0.3 µm/32 mm 検出器 Pick-up PU-A4 触針 Stylus AA2-60 R2 µm　60° 表面粗さ・輪郭形状測定機 Surface Roughness・ Contour Measuring Instrument SE500A Series ■ タッチパネルとスイッチ操作を併用 ■ Touch panel and switch operation are available ■ コンパクトで高性能 ■ High specification in compact size. ■ 多彩なパラメータに対応し、複数規格を同時解析 ■ Capable of various parameters and simultaneous ■ タッチパネルとスイッチ操作を併用 ■ Touch panel and switch operation is available. ■ USBメモリによる外部コンピュータへのデータ受け渡しが可能 analysis to plural standards ■ 段差解析や切り欠き処理も可能 ■ Step height analysis and partial function is available. ■ PCと輪郭形状システムを用いた、高度な解析も可能 (オプション) ■ Measuring data can be transferred to an external ■ 豊富な拡張性 ■ Various combinations. computer using a USB memory ■ USBメモリに測定条件、測定データが保存可能 ■ Measurement condition and data strorage in USB memory is ■ Advanced analysis is also possible using a PC and available roughness analysis system (option) 仕　様　SPECIFICATION 仕　様　 Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 800 µm Z 最大測定範囲 粗さ Roughness 600 µm/ 形状 Contour 50 mm X 最大測定距離 X Max measuring range 55 mm X 最大測定距離 100 mm Z 最小分解能 Z Min resolution 0.08 nm Z 最小分解能 0.08 nm/0.5 µm 真直度 Straightness 0.3 µm/55 mm 真直度 0.2 µｍ/100 mm　1.0 µm/100 mm 検出器 Pick-up PU-A4 検出器 PU-DJ2S-60/PU-FG25 触針 Stylus AA2-60 R2 µm　60° 触針 AA2-60/SB-609 R2 µm　60°/R25 µm　8° 04

表面粗さ測定機 Formcorder EF 輪郭形状測定機 Surface Roughness Measuring Instrument Contour Measuring Instrument EF550A-M50 ■ 持運びが簡単 ■ Easy carrying ■ 可搬性/設置自由度の高い測定機 ■ Compact with portable ■ 大型カラー液晶タッチパネルで操作も簡単 ■ Easy operation by large LCD touch panel ■ 検出器の円弧補正機能有り ■ Stylus circular movement correction is available ■ 小型ながら段差測定も可能 ■ Step height analysis is available with small size ■ スタイラス先端半径補正機能有り ■ Stylus radius correction is available ■ 豊富な拡張性 ■ Various combinations ■ USBメモリによる外部コンピュータへのデータ受け渡しが可能 ■ Measurement data strorage in USB memory and ■ PCと輪郭形状システムを用いた、高度な解析も可能 (オプション) reading in external computer is available ■ USBメモリに測定条件、測定データが保存可能 ■ Measurement condition and data strorage in USB memory is ■ Communicating with FGA51 is available available 仕　様　SPECIFICATION 仕　様　 Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 30 mm Z 最大測定範囲 800 µm X 最大測定距離 X Max measuring range 50 mm X 最大測定距離 25 mm Z 最小分解能 Z Min resolution 0.25 µm Z 最小分解能 6.4 nm 真直度 Straightness 3.5 µm/50 mm 真直度 0.5 µm/25 mm 検出器 Pick-up PU-FM15 検出器 PU-A6 触針 Stylus SB-1A R25 µm　14° 触針 AA2-60 R2 µm　60° EF550A-M58/D ■ 可搬性/設置自由度の高い測定機 ■ Compact with portable ■ 検出器の円弧補正機能有り ■ Stylus circular movement correction is available ■ スタイラス先端半径補正機能有り ■ Stylus radius correction is available ■ USBメモリによる外部コンピュータへのデータ受け渡しが可能 ■ Measurement data strorage in USB memory and ■ 持運びが簡単 ■ Easy carrying ■ PCと輪郭形状システムを用いた、 reading in external computer is available ■ 大型カラー液晶タッチパネルで操作も簡単 ■ Easy operation by large LCD touch panel 高度な解析も可能 (オプション) ■ Communicating with FGA51 is available ■ 小型ながら段差測定も可能 ■ Step height analysis is available with small size 仕　様　SPECIFICATION ■ より長い測定距離に対応 ■ Various combinations Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 30 mm ■ 豊富な拡張性 ■ Long measurement range is available X 最大測定距離 X Max measuring range 50 mm ■ USBメモリに測定条件、測定データが保存可能 ■ Measurement condition and data strorage in USB memory is Z 最小分解能 Z Min resolution available 0.25 µm 真直度 Straightness 3.5 µｍ/50 mm 仕　様　 検出器 Pick-up PU-FM15 Z 最大測定範囲 800 µm 触針 Stylus SB-1A R25 µm　14° X 最大測定距離 32 mm Z 最小分解能 6.4 nm 真直度 0.3 µm/32 mm 検出器 PU-A4 触針 AA2-60 R2 µm　60° Surfcorder SEF 表面粗さ・輪郭形状測定機 Surface Roughness・ Contour Measuring Instrument SEF580A-G18/D ■ タッチパネルとスイッチ操作を併用 ■ Touch panel and switch operation are available ■ コンパクトで高性能 ■ High specification in compact size. ■ 多彩なパラメータに対応し、複数規格を同時解析 ■ Capable of various parameters and simultaneous ■ タッチパネルとスイッチ操作を併用 ■ Touch panel and switch operation is available. ■ USBメモリによる外部コンピュータへのデータ受け渡しが可能 analysis to plural standards ■ 段差解析や切り欠き処理も可能 ■ Step height analysis and partial function is available. ■ PCと輪郭形状システムを用いた、高度な解析も可能 (オプション) ■ Measuring data can be transferred to an external ■ 豊富な拡張性 ■ Various combinations. computer using a USB memory ■ USBメモリに測定条件、測定データが保存可能 ■ Measurement condition and data strorage in USB memory is ■ Advanced analysis is also possible using a PC and available roughness analysis system (option) 仕　様　 仕　様　SPECIFICATION Z 最大測定範囲 800 µm Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 粗さ Roughness 600 µm/ 形状 Contour 50 mm X 最大測定距離 55 mm X 最大測定距離 X Max measuring range 100 mm Z 最小分解能 0.08 nm Z 最小分解能 Z Min resolution 0.08 nm/0.5 µm 真直度 0.3 µm/55 mm 真直度 Straightness 0.2 µｍ/100 mm　1.0 µm/100 mm 検出器 PU-A4 検出器 Pick-up PU-DJ2S-60/PU-FG25 触針 AA2-60 R2 µm　60° 触針 Stylus AA2-60/SB-609 R2 µm　60°/R25 µm　8° 05

スタンダードタイプ ラインナップ スタンダードタイプ ラインナップ 区 検 出 器 X 最大 検 出 器 X 最大 型　式 外　観 Pick-up 区 分 測定距離 コラムストローク 定盤サイズ 分 型　式 外　観 測定距離 コラムストローク 定盤サイズ Z 最大測定範囲 Z 最大測定範囲 Z Max measuring range X-Max Model Appearance measuring Column stroke Bed size Z 最小分解能 range Z 最小分解能 Z Min resolution PU-A6 粗 さ PU-DJ2S60 600(W) mm SE300 800 µm 25 100 250 × 6.4 nm mm 600 µm mm mm 0.08 nm 315(D) mm PU-A4 PU-FM15 800 µm 32 形 50 SE300-30 mm 30 mm 6.4 nm 　状 mm ０.２５ µｍ PU-A6 270 mm 500(W) mm PU-FM15 25 50 250 600(W) mm SE300-29 800 µm （ 最大高さ × ） 30 mm × 6.4 nm mm MAX HIGHT 215(D) mm mm mm ０.２５ µｍ 315(D) mm 303 mm PU-A4 PU-A4 240 mm 粗 500(W) mm 粗 さ 800 µｍ 粗 800 µm 32 × さ ０.08 nm 50 SE300-39 最大高さ mm（ MAX HIGHT）215(D) ・ 形 PU-FM15 　 mm さ 6.4 nm mm 308 mm 状 30 mm 形 ０.２５ µm 状 PU-A4 PU-A4 250 mm 600( ) 粗 W mm さ 800 µｍ 600(W) 32 mm 800 µm 0.08 nm 25 250 SE300-38 （ 最大高さ × × mm MAX HIGHT）315(D) 形 PU-FM15 6.4 nm mm mm mm 30 mm 315(D) mm 348 mm 状 ０.２５ µm 粗 PU-DJ2S-60 PU-A4 さ 600 µｍ 800 µm 55 0.08 nm 100 250 600(W) mm SE500A × 0.08 nm mm 形 PU-FG25 mm mm 50 mm 315(D) mm 状 ０.５ µm PU-A4 270 mm ＜ オプション対応について ＞ 500(W) mm 55 ・ X軸駆動距離……200 mm　ステージ駆動タイプ 対応可能 SE500A 800 µm 最大高さ × -59 mm（ ） ・ 上下動コラム……400 mm・ 700 mm　対応可能 MAX HIGHT 0.08 nm 215(D) mm 303 mm ・ 定盤サイズ………1000(W) mm × 450(D) mm、1250(W) mm × 500(D) mm / 材質 : 石または鋳鉄 PU-A4 250 mm 600(W) mm ＜ 増幅演算装置サイズ ＞ SE500A 800 µm 55 SE500A -58/D （ 最大高さMAX HIGHT 0.08 nm mm 320 mm） × EF550A 315(D) mm SEF580A シリーズ 06 Use Roughness

スタンダードタイプ ラインナップ スタンダードタイプ ラインナップ 区 検 出 器 X 最大 区 検 出 器 X 最大 分 型　式 外　観 測定距離 コラムストローク 定盤サイズ Pick-up 分 型　式 外　観 測定距離 コラムストローク 定盤サイズ Z 最大測定範囲 Z 最大測定範囲 Z Max measuring range X-Max Model Appearance Z 最小分解能 Z 最小分解能 measuring Column stroke Bed size range Z Min resolution PU-A6 粗 さ PU-DJ2S60 25 100 250 600(W) mm 800 µm SE500A mm 600 µm × 6.4 nm -18/D mm mm 0.08 nm 315(D) mm PU-A4 PU-FM15 800 µm 32 形 EF550A 50 30 mm 6.4 nm mm 　状 -M50 mm ０.２５ µｍ PU-A6 270 mm 500(W) mm PU-FM15 800 µm 25 600(W) mm × EF550A 50 250 6.4 nm mm（ 最大高さ） 30 mm × 215(D) mm -M58/D mm mm 303 mm ０.２５ µｍ 315(D) mm 240 mm 粗 PU-A4 PU-A4 500(W) mm 粗 さ 800 µｍ 粗 800 µm 32 × さ SEF580A ０.08 nm 50 最大高さ 　さ 6.4 nm mm（ ）215(D) ・ -M50 mm 形 PU-FM15 mm 308 mm 形 状 30 mm ０.２５ µm 250 mm 状 粗 PU-A4 PU-A4 600(W) mm さ 800 µｍ 32 600(W) mm 800 µm 最大高さ × SEF580A 0.08 nm 25 250 × -M58/D PU-FM15 6.4 nm mm（ 315(D) mm 形 mm mm 348 mm） 状 30 mm 315(D) mm ０.２５ µm 粗 PU-DJ2S-60 PU-A4 600 µｍ 800 µm 55 SEF580A さ 0.08 nm 100 250 600(W) mm -G18/D × PU-FG25 0.08 nm mm 形 mm mm 50 mm 315(D) mm 状 ０.５ µm PU-A4 270 mm ＜ オプション対応について Option ＞ 500(W) mm ・ X軸駆動距離……200 mm　ステージ駆動タイプ 対応可能 800 µm 55 × X-axis Drive Range Workpiece Drive Measurement Chooseable 最大高さ mm（ ） ・ 上下動コラム……400 mm・ 700 mm　対応可能 0.08 nm 215(D) mm Column Chooseable 303 mm ・ 定盤サイズ………1000(W) mm × 450(D) mm、1250(W) mm × 500(D) mm / 材質 : 石または鋳鉄 Bed Size Material: Granite or Casting Iron PU-A4 250 mm 600(W) mm ＜ 増幅演算装置サイズ Amplifier Size ＞ 55 × SE500A 800 µm 0.08 nm mm（ 最大高さ） EF550A 190 315(D) mm SEF580A シリーズ 320 mm SE500A EF550A SEF580A Series 405 240 07 Roughness Contour Roughness Contour Roughness Contour Use Roughness Contour Roughness + Contour

SE 表面粗さ測定機 Surfcorder 輪郭形状測定機 Surface Roughness Measuring Instrument Contour Measuring Instrument SE800 ■ 移動速度の向上 ■ Improved the positioning speed ■ 移動速度の向上　上下左右の移動速度を大幅にUP ■ Improved the positioning speed 上下左右の移動速度を大幅にUP Improvement ↑↓←→ Speed ■ 検出器過負荷停止機能標準装備 ■ Equipped with pick-up overload halt function ■ 移動量の拡大（コラム） ■ Expand Z stroke (Column) ■ カスタマイズ機能により、頻繁に使用する機能に as standard 上下の移動量を拡大、大きなワークにも対応可能 Comply large size workpiece ショートカット設定が可能 ■ Frequent use can be set by shortcut fanction ■ 検出器過負荷停止機能標準装備 ■ Equipped with pick-up overload halt function as standard ■ 自動保存機能により、万が一の状況でもデータ ■ Restarting in emergency case during measuring 自動バックアップで作業の途中から再開が可能 is possible with the auto-save function ■ 再測定機能により、簡単に再測定が可能、 ■ Easy re-measuring is possible without remaking 仕　様　SPECIFICATION 再測定時、新たなプログラム作成は不要 new program Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 600 µm X 最大測定距離 X Max measuring range 100 mm Z 最小分解能 Z Min resolution 0.04 nm 仕　様　 真直度 Straightness 0.2 µm/100 mm Z 最大測定範囲 50 mm 検出器 Pick-up PU-DJ2S-60 X 最大測定距離 100 mm 触針 Stylus R2 µm　60° Z 最小分解能 0.1 µm 設置寸法 Instellation size W1500 mm×D800 mm 真直度 1.0 µm/100 mm 検出器 PU-FG25 触針 SB-609 片刃形 Chisel type R25 µm 8° 設置寸法 W1500 mm×D800 mm SE800-C5W ■ 軟質材を傷を付けずに測定可能 ■ Possible to measure soft materials without damaging them ■ 移動速度の向上　上下左右の移動速度を大幅にUP ■ Improved the positioning speed ■ 高速で反り・うねりの測定可能 ■ Possible to measure warpage and waviness at high speed ■ 検出器過負荷停止機能標準装備 ■ Equipped with pick-up overload halt function ■ 移動速度の向上（当社比20倍） ■ mproved the positioning speed (x20) ■ カスタマイズ機能により、頻繁に使用する機能に as standard 上下左右の移動速度を大幅にUP Improvement ↑↓←→ Speed ショートカット設定が可能 ■ Frequent use can be set by shortcut fanction ■ 自動保存機能により、万が一の状況でもデータ ■ Restarting in emergency case during measuring 自動バックアップで作業の途中から再開が可能 is possible with the auto-save function 仕　様　SPECIFICATION ■ 再測定機能により、簡単に再測定が可能、 ■ Easy re-measuring is possible without remaking Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 500 µm 再測定時、新たなプログラム作成は不要 new program X 最大測定距離 X Max measuring range 100 mm Z 最小分解能 Z Min resolution 0.2 nm 仕　様　 真直度 Straightness 0. 2 µm/100 mm Z 最大測定範囲 検出器 Pick-up PU-OS501W 60 mm X 最大測定距離 レーザ波長 635 nm 100 mm Laser wavelength W1500 mm×D800 mm Z 最小分解能 設置寸法 0.025 µm Instellation size 真直度 1.0 µm/100 mm スポット径　Diameter of spot 約 Approx 1 µm※ 検出器 PU-FN30 ※Autofocusモード時　Autofocus mode 触針 SB-610 片刃形 Chisel type R25 µm　8° 設置寸法 W1500 mm×D800 mm 08

表面粗さ測定機 Formcorder EF 輪郭形状測定機 Surface Roughness Measuring Instrument Contour Measuring Instrument EF800-G ■ 移動速度の向上 ■ Improved the positioning speed ■ 移動速度の向上　上下左右の移動速度を大幅にUP ■ Improved the positioning speed 上下左右の移動速度を大幅にUP Improvement ↑↓←→ Speed ■ 検出器過負荷停止機能標準装備 ■ Equipped with pick-up overload halt function ■ 移動量の拡大（コラム） ■ Expand Z stroke (Column) ■ カスタマイズ機能により、頻繁に使用する機能に as standard 上下の移動量を拡大、大きなワークにも対応可能 Comply large size workpiece ショートカット設定が可能 ■ Frequent use can be set by shortcut fanction ■ 検出器過負荷停止機能標準装備 ■ Equipped with pick-up overload halt function as standard ■ 自動保存機能により、万が一の状況でもデータ ■ Restarting in emergency case during measuring 自動バックアップで作業の途中から再開が可能 is possible with the auto-save function ■ 再測定機能により、簡単に再測定が可能、 ■ Easy re-measuring is possible without remaking 仕　様　 再測定時、新たなプログラム作成は不要 new program Z 最大測定範囲 600 µm X 最大測定距離 100 mm Z 最小分解能 0.04 nm 仕　様　SPECIFICATION 真直度 0.2 µm/100 mm Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 50 mm 検出器 PU-DJ2S-60 X 最大測定距離 X Max measuring range 100 mm 触針 R2 µm　60° Z 最小分解能 Z Min resolution 0.1 µm 設置寸法 W1500 mm×D800 mm 真直度 Straightness 1.0 µm/100 mm 検出器 Pick-up PU-FG25 触針 Stylus SB-609 片刃形 Chisel type R25 µm 8° 設置寸法 Instellation size W1500 mm×D800 mm EF800-N ■ 軟質材を傷を付けずに測定可能 ■ Possible to measure soft materials without damaging them ■ 移動速度の向上　上下左右の移動速度を大幅にUP ■ Improved the positioning speed ■ 高速で反り・うねりの測定可能 ■ Possible to measure warpage and waviness at high speed ■ 検出器過負荷停止機能標準装備 ■ Equipped with pick-up overload halt function ■ 移動速度の向上（当社比20倍） ■ mproved the positioning speed (x20) ■ カスタマイズ機能により、頻繁に使用する機能に as standard 上下左右の移動速度を大幅にUP Improvement ↑↓←→ Speed ショートカット設定が可能 ■ Frequent use can be set by shortcut fanction ■ 自動保存機能により、万が一の状況でもデータ ■ Restarting in emergency case during measuring 自動バックアップで作業の途中から再開が可能 is possible with the auto-save function 仕　様　 ■ 再測定機能により、簡単に再測定が可能、 ■ Easy re-measuring is possible without remaking Z 最大測定範囲 500 µm 再測定時、新たなプログラム作成は不要 new program X 最大測定距離 100 mm Z 最小分解能 0.2 nm 仕　様　 真直度 SPECIFICATION 0. 2 µm/100 mm Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 検出器 PU-OS501W 60 mm X 最大測定距離 X Max measuring range レーザ波長 635 nm 100 mm W1500 mm×D800 mm Z 最小分解能 Z Min resolution 設置寸法 0.025 µm ※ 真直度 Straightness 1.0 µm/100 mm スポット径　 約 Approx 1 µm 検出器 Pick-up PU-FN30 ※Autofocusモード時　Autofocus mode 触針 Stylus SB-610 片刃形 Chisel type R25 µm　8° 設置寸法 Instellation size W1500 mm×D800 mm 09

SEF 表面粗さ・輪郭形状測定機 Surfcorder 表面粗さ・輪郭形状測定機 Surface Roughness・ Contour Measuring Instrument Surface Roughness・ Contour Measuring Instrument SEF800-G 仕　様　SPECIFICATION ■ 二次元表面粗さと輪郭形状の測定が、検出器を交換するだけで可能 ■ “ 輪郭形状”と “表面粗さ”をワンスキャンで同時測定が可能 ■ “Contour (form)” and “surface roughness” ■ より高度な解析機能、プラトー表面解析ソフトと接触点フィルタを 表面粗さ　Surface roughness ■ より高度な解析機能、プラトー表面解析ソフトと can be measured by one scaning 標準装備 Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 600 µm 接触点フィルタを標準装備 ■ With Plateau surface analyzing software ■ 移動速度の向上　上下左右の移動速度を大幅にUP X 最大測定距離 X Max measuring range 100 mm ■ 移動速度の向上　上下左右の移動速度を大幅にUP and Morphological contact-point filter ■ 検出器過負荷停止機能標準装備 Z 最小分解能 Z Min resolution 0.04 nm ■ 検出器過負荷停止機能標準装備 ■ Improved the positioning speed 真直度 Straightness 0.2 µm/100 mm ■ Equipped with pick-up overload halt ■ Measurement of “Two-dimensional surface roughness” 検出器 Pick-up PU-DJ2S-60 function as standard and “contour (form)” is possible only by exchanging 触針 Stylus R2 µm　60° 仕　様　 Pick-up Z 最大測定範囲 輪郭形状　Contour (form) ■ With Plateau surface analyzing 5 mm/8 mm SA-41/SA-32 software and Morphological Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 50 mm X 最大測定距離 100 mm contact-point filter X 最大測定距離 X Max measuring range 100 mm Z 最小分解能 7.5 nm/12 nm ■ Improved the positioning speed Z 最小分解能 Z Min resolution 0.1 µm 真直度 0.4 µm/100 mm ■ Equipped with pick-up overload 真直度 Straightness 1.0 µm/100 mm 検出器 PU-FK1A halt function as standard 検出器 Pick-up PU-FG25 触針 SA-41/SA-32 R2 µm　60°/R25 µm　25° 触針 Stylus SB-609 片刃形 Chisel type R25µm　8° 設置寸法 W1500 mm×D800 mm 設置寸法 Instellation size W1500 mm×D800 mm SEF800-N 仕　様　SPECIFICATION ■ 輪郭形状検出器にデジタルスケールを採用、高分解能、 表面粗さ　 ■ Surface roughness 変位検出にデジタルセンサを組み込み、“輪郭形状”と ■ “Contour(form)” and “Surface roughness” 高精度測定が可能 Z 最大測定範囲 600 µm “ 表面粗さ”をワンスキャンで同時測定が可能 can be measured by one scaning with ■ より高度な解析機能、プラトー表面解析ソフトと接触点フィルタを Z Max measuring range ■ より高度な解析機能、プラトー表面解析ソフトと the Digital sensor 標準装備 X 最大測定距離 X Max measuring range 100 mm 接触点フィルタを標準装備 ■ With Plateau surface analyzing software ■ 移動速度の向上　上下左右の移動速度を大幅にUP Z 最小分解能 Z Min resolution 0.04 nm ■ 移動速度の向上　上下左右の移動速度を大幅にUP and Morphological contact-point filter ■ 検出器過負荷停止機能標準装備 真直度 Straightness 0.2 µm/100 mm ■ 検出器過負荷停止機能標準装備 ■ Improved the positioning speed 検出器 Pick-up PU-DJ2S-60 ■ Equipped with pick-up overload halt ■ A digital scale is installed as a contour Pick-up element, 触針 Stylus R2 µm　60° function as standard and a high resolution and high accuracy measurement 輪郭形状　Contour (form) 仕　様　 are possible With Plateau surface analyzing Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 60 mm Z 最大測定範囲 ■ 12 mm/24 mm software and Morphological X 最大測定距離 X Max measuring range 100 mm SA-41/SA-32 contact-point filter Z 最小分解能 Z Min resolution 0.025 µm X 最大測定距離 100 mm ■ Improved the positioning speed 真直度 Straightness 1.0 µm/100 mm Z 最小分解能 0.75 nm/1.5 nm ■ Equipped with pick-up overload 検出器 Pick-up PU-FN30 真直度 0.4 µm/100 mm halt function as standard 触針 Stylus SB-610 片刃形 Chisel type R25µm　8° 検出器 PU-LA4 設置寸法 Instellation size W1500 mm×D800 mm 触針 SA-41/SA-32 R2 µm　60°/R25 µm　25° 設置寸法 W1500 mm×D800 mm 10

表面粗さ・輪郭形状測定機 Surfcorder SEF 表面粗さ・輪郭形状測定機 Surface Roughness・ Contour Measuring Instrument Surface Roughness・ Contour Measuring Instrument DSF-K800 仕　様　 ■ 二次元表面粗さと輪郭形状の測定が、検出器を交換するだけで可能 ■ “ 輪郭形状”と “表面粗さ”をワンスキャンで同時測定が可能 ■ “Contour (form)” and “surface roughness” ■ より高度な解析機能、プラトー表面解析ソフトと接触点フィルタを 表面粗さ　 ■ より高度な解析機能、プラトー表面解析ソフトと can be measured by one scaning 標準装備 Z 最大測定範囲 600 µm 接触点フィルタを標準装備 ■ With Plateau surface analyzing software ■ 移動速度の向上　上下左右の移動速度を大幅にUP X 最大測定距離 100 mm ■ 移動速度の向上　上下左右の移動速度を大幅にUP and Morphological contact-point filter ■ 検出器過負荷停止機能標準装備 Z 最小分解能 0.04 nm ■ 検出器過負荷停止機能標準装備 ■ Improved the positioning speed 真直度 0.2 µm/100 mm ■ Equipped with pick-up overload halt ■ Measurement of “Two-dimensional surface roughness” 検出器 PU-DJ2S-60 function as standard and “contour (form)” is possible only by exchanging 触針 R2 µm　60° 仕　様　SPECIFICATION Pick-up Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 輪郭形状　 ■ With Plateau surface analyzing 5 mm/8 mm SA-41/SA-32 software and Morphological Z 最大測定範囲 50 mm X 最大測定距離 X Max measuring range 100 mm contact-point filter X 最大測定距離 100 mm Z 最小分解能 Z Min resolution 7.5 nm/12 nm ■ Improved the positioning speed Z 最小分解能 0.1 µm 真直度 Straightness 0.4 µm/100 mm ■ Equipped with pick-up overload 真直度 1.0 µm/100 mm 検出器 Pick-up PU-FK1A halt function as standard 検出器 PU-FG25 触針 Stylus SA-41/SA-32 R2 µm　60°/R25 µm　25° 触針 SB-609 片刃形 Chisel type R25µm　8° 設置寸法 Instellation size W1500 mm×D800 mm 設置寸法 W1500 mm×D800 mm DSF-L800 仕　様　 ■ 輪郭形状検出器にデジタルスケールを採用、高分解能、 高精度測定が可能 表面粗さ　 ■ 変位検出にデジタルセンサを組み込み、“輪郭形状”と ■ “Contour(form)” and “Surface roughness” Z 最大測定範囲 600 µm “ 表面粗さ”をワンスキャンで同時測定が可能 can be measured by one scaning with ■ より高度な解析機能、プラトー表面解析ソフトと接触点フィルタを ■ X 最大測定距離 より高度な解析機能、プラトー表面解析ソフトと the Digital sensor 標準装備 100 mm 接触点フィルタを標準装備 ■ With Plateau surface analyzing software ■ 移動速度の向上　上下左右の移動速度を大幅にUP Z 最小分解能 0.04 nm ■ 移動速度の向上　上下左右の移動速度を大幅にUP and Morphological contact-point filter ■ 検出器過負荷停止機能標準装備 真直度 0.2 µm/100 mm ■ 検出器過負荷停止機能標準装備 ■ Improved the positioning speed 検出器 PU-DJ2S-60 ■ Equipped with pick-up overload halt ■ A digital scale is installed as a contour Pick-up element, 触針 R2 µm　60° function as standard and a high resolution and high accuracy measurement 輪郭形状　 仕　様　SPECIFICATION are possible ■ With Plateau surface analyzing Z 最大測定範囲 60 mm Z 最大測定範囲 Z Max measuring range 12 mm/24 mm software and Morphological X 最大測定距離 100 mm SA-41/SA-32 contact-point filter Z 最小分解能 0.025 µm X 最大測定距離 X Max measuring range 100 mm ■ Improved the positioning speed 真直度 1.0 µm/100 mm Z 最小分解能 Z Min resolution 0.75 nm/1.5 nm ■ Equipped with pick-up overload 検出器 PU-FN30 真直度 Straightness 0.4 µm/100 mm halt function as standard 触針 SB-610 片刃形 Chisel type R25µm　8° 検出器 Pick-up PU-LA4 設置寸法 W1500 mm×D800 mm 触針 Stylus SA-41/SA-32 R2 µm　60°/R25 µm　25° 設置寸法 Instellation size W1500 mm×D800 mm 11

ハイグレードタイプ ラインナップ 測定・ ステージ駆動タイプ 3D Measurement・Table Traverse Model 区 検 出 器 X 最大 型　式 外　観 Pick-up 分 測定距離 コラムストローク 定盤サイズ Z 最大測定範囲 3D測定 Z Max measuring range X-Max Model Appearance measuring Column stroke Bed size Z 最小分解能 range ■ Z Min resolution ハイスペックタイプに限り三次元表面粗さ測定拡張可能 ■ PU-OS501Wを組み合わせて高速三次元測定可能 PU-DJ2S-60 ■ 3D surface roughness measurement is available only 粗 　for high-end model SE800 600 µm ※ ※ ※ ■ High speed 3D measurement is possible combined 　さ 100 mm 300 mm 650(W) mm 　with PU-OS501W 0.04 nm × ３３５(D) mm 接 PU-DJ2S-60 600 µｍ SE800 触 電動載物台 (RAF-22D) 0.04 nm -C5W 1) ステージの大きさ 150×150 mm 非 PU-OS501W 接 500 µｍ 2) 傾斜調整範囲 1°（X,Y） 触 ０.2 nm 3) ステージ移動量 50 mm 4) 最小移動ステップ 1 µm PU-FG25 5) 最大積載質量 5 kg 形 6) 外形寸法・質量 EF800-G 50 mm W 312×D 150×H 70 mm ・ 約 8 kg 　状 0.1 µm XY MOTORIZED STAGE(RAF-22D) 200 mm 5００ mm 10００(W) mm 1) Stage size 150 x 150 mm × 2) Leveling range 1°(X,Y) 450(D) mm 3) Motion range of the stage 50 mm PU-FN30 4) Minimum stepping range 1 µm 5) Maximum load 5 kg EF800-N 60 mm 6) Dimensions/Weight W 312 × D 150 × H 70 mm / Approx 8 kg 0.025 µm 粗 PU-DJ2S-60 さ 600 µｍ 0.04 nm ステージ駆動タイプ SEF800-G 粗 形 PU-FG25 状 50 mm さ 0.1 µm ■ 高精度ステージ駆動タイプ 　X軸駆動範囲は100～300 mmまで選択できます ・ PU-DJ2S-60 ■ ( ) モニタによる測定位置決め・測定観察が可能 粗 形 600 µｍ 70０ mm 1250 W mm さ × ■ High accuracy workpiece drive measurement X axis 0.04 nm SEF800-N 500(D) mm drive range is choosable from 100/200/300 mm 状 PU-FN30 ■ Measurement positioning and measurement 形 60 mm observationpossible with a monitor 状 0.025 µm 粗 PU-FK1A さ 5 mm 7.5 nm 0.2 µm/100 mm DSF-K800 PU-FK1A ・真直度 /駆動距離 0.4 µm/200 mm 形 状 8 mm 0.6 µm/300 mm 12 nm 粗 PU-LA4 12 mm 0.2 µm / 100 mm or less さ 0.75 nm ・Straightness measuring 0.4 µm / 200 mm or less DSF-L800 形 PU-LA4 0.6 µm / 300 mm or less 状 24 mm 1.5 nm ※は標準組合せです ※Standard Combination 12 Contact Non-contact Roughness Contour Roughness Contour Roughness Contour Roughness Contour Use Roughness Contour Roughness + Contour

ハイグレードタイプ ラインナップ 3D測定・ ステージ駆動タイプ 3D Measurement・Table Traverse Model 区 検 出 器 X 最大 分 型　式 外　観 測定距離 コラムストローク 定盤サイズ Z 最大測定範囲 3D測定 Z 最小分解能 3D Measurement ■ ハイスペックタイプに限り三次元表面粗さ測定拡張可能 ■ PU-OS501Wを組み合わせて高速三次元測定可能 PU-DJ2S-60 ■ 3D surface roughness measurement is available only 粗 　for high-end model 600 µm ※ ※ ※ ■ High speed 3D measurement is possible combined 　さ 100 mm 300 mm 650(W) mm 　with PU-OS501W 0.04 nm × ３３５(D) mm 接 PU-DJ2S-60 600 µｍ 触 電動載物台 (RAF-22D) 0.04 nm 1) ステージの大きさ 150×150 mm 非 PU-OS501W 接 500 µｍ 2) 傾斜調整範囲 1°（X,Y） 触 ０.2 nm 3) ステージ移動量 50 mm 4) 最小移動ステップ 1 µm PU-FG25 5) 最大積載質量 5 kg 形 6) 外形寸法・質量 50 mm W 312×D 150×H 70 mm ・ 約 8 kg 　状 0.1 µm XY MOTORIZED STAGE(RAF-22D) 200 mm 5００ mm 10００(W) mm 1) Stage size 150 x 150 mm × 2) Leveling range 1°(X,Y) 3) Motion range of the stage 50 mm PU-FN30 450(D) mm 4) Minimum stepping range 1 µm 5) Maximum load 5 kg 60 mm 6) Dimensions/Weight W 312 × D 150 × H 70 mm / Approx 8 kg 0.025 µm 粗 PU-DJ2S-60 さ 600 µｍ 0.04 nm ステージ駆動タイプ 粗 形 PU-FG25 Table Traverse Model 状 50 mm 0.1 µm ■ 高精度ステージ駆動タイプ さ 　X軸駆動範囲は100～300 mmまで選択できます ・ 粗 PU-DJ2S-60 ■ モニタによる測定位置決め・測定観察が可能 形 さ 600 µｍ 70０ mm 1250(W) mm × ■ High accuracy workpiece drive measurement X axis 0.04 nm 500(D) mm drive range is choosable from 100/200/300 mm 状 PU-FN30 ■ Measurement positioning and measurement 形 60 mm observationpossible with a monitor 状 0.025 µm 粗 PU-FK1A さ 5 mm 7.5 nm 0.2 µm/100 mm PU-FK1A ・真直度 /駆動距離 0.4 µm/200 mm 形 状 8 mm 0.6 µm/300 mm 12 nm 粗 PU-LA4 12 mm 0.2 µm / 100 mm or less さ 0.75 nm ・Straightness measuring 0.4 µm / 200 mm or less 形 PU-LA4 0.6 µm / 300 mm or less 状 24 mm 1.5 nm ※は標準組合せです ※Standard Combination 13

非接触検出器 Surfcorder 非接触検出器 Non-Contact Detector Non-Contact Detector Crispy PU-OS501W ■ 非接触測定により、サンプルにダメージを与えない測定が可能 ■ It does not damage the sample by non-contact measurement ■ ■ 焦点位置からのズレ量を検出するため、形状に追従して動く ■ High speed measurement is possible, since there is no 円筒ワークなどR面に優れた非接触測定が可能 部分が無く、高速測定が可能 moving parts in the sensor ■ レーザを斜めから照射するため、透明体に強い ■ レーザの光量を20段階で変更可能なため、低反射率のワーク ■ It can measure low reflectivity sample, since laser ■ でも測定が可能 power can be changed in 20 steps. Excellent non-contact measurement on R ■ オートストップ機能により、検出器が焦点位置まで自動で移動 This sensor is not necessary to manually focus, since the ■ surface such as cylindrical work sensor is focused automatically by Auto-Stop function するので、焦点合わせが不要 ■ Since it illuminates the laser diagonally, suitable ■ Surface roughness measurement of the Inside of the ■ コンパクトな光学配置により、既存の非接触検出器では困難 for measuring the transparent objects pipe by a non-contact detector was difficult until now だった内径の表面性状測定が可能 But this sensor is able to measure it by compact optical design AFセンサ 仕　様　 モード Mode※1 Precision mode Wide range mode AF mode 測定範囲 30～500 µm 測定範囲 Measuring range 12 µm 30 µm 30～500 µm 分解能　 0.5 nm～ 分解能　Resolution 0.2 nm 0.5 nm 0.5 nm 測定範囲内スポット径 Approx. Approx. Approx. 結像レンズ 測定範囲内スポット径　 Approx3 µm The diameter of the spot in a measuring range 1～１0 µm 1～25 µm 1 µm 測定精度　 ※ 1 %＋0.1 µm～1 %＋0.8 µm 測定精度　Accuracy ※2 1 %+0.03 µm 1 %+0.2 µm 1 %+0.1 µm レーザダイオード ※ 繰返し性　Repeatability ※2 10 nm 20 nm 繰返し性　 20 nm 測定面の反射率　Reflectance 4 % or more 対物レンズ ± 50° 傾斜角※3 X-axis ± 25° ミラー 傾斜角　 Measurable angle Y-axis ± 5° ± 25° 差動距離　W.D. 1.5 mm 差動距離　 1.5 mm 最大出力 Maximum power 2 mW レーザ 波長 635 nm 最大出力　 2 mW Wavelength Laser クラス Class Class1（JIS C 6802:2011） レーザ　 波長　 635 nm 質量　Mass Approx. 250 g 測定物 クラス　 Class1 ※1 モード切替可能。 A change of the mode is possible. ※2 弊社基準段差標準片を測定した場合。 When Kosaka standard roughness specimen is measured. ※ 弊社基準段差標準片を測定した場合。 ※3 焦点付近で測定した場合の水平状態からの角度。 The angle of a measurement surface and a horizontal plane when it measures near a focus point. ■ 広範囲を高精度で測定 ■ 光沢、黒色など非接触では苦手とされるワークも ノースプレーでそのままスキャニング可能 ■ High-accuracy measurement over a wide range ■ Workpieces that are not good for non-contact measurement such as gloss and black also can be scanned without spray 揺動鏡 ポイントレーザー光 仕　様　 ラインCCD 型式 PU-OL100-SP レーザーの強さを 面の大きさで表現。 測定精度　 0.008 mm サイズ　 76（W）×106（D）×124.6（H）mm ビーム径　 Under φ0.183 mm 測定 Z幅　 60 mm スタンドオフ　 145～205 mm 視野長（幅）　 21.56～213.54 mm 暗色部 白色部 計測ライン数　 40～100 lines/second 光沢部 レーザークラス　 Class2 14

非接触検出器 非接触検出器 Non-Contact Detector Non-Contact Detector Trispy PU-OS600 ■ 非接触測定により、サンプルにダメージを与えない測定が可能 ■ It does not damage the sample by non-contact measurement ■ ■ 焦点位置からのズレ量を検出するため、形状に追従して動く ■ High speed measurement is possible, since there is no 円筒ワークなどR面に優れた非接触測定が可能 部分が無く、高速測定が可能 moving parts in the sensor ■ レーザを斜めから照射するため、透明体に強い ■ レーザの光量を20段階で変更可能なため、低反射率のワーク ■ It can measure low reflectivity sample, since laser でも測定が可能 power can be changed in 20 steps. ■ Excellent non-contact measurement on R ■ オートストップ機能により、検出器が焦点位置まで自動で移動 This sensor is not necessary to manually focus, since the ■ surface such as cylindrical work sensor is focused automatically by Auto-Stop function するので、焦点合わせが不要 ■ Since it illuminates the laser diagonally, suitable ■ Surface roughness measurement of the Inside of the ■ コンパクトな光学配置により、既存の非接触検出器では困難 for measuring the transparent objects pipe by a non-contact detector was difficult until now だった内径の表面性状測定が可能 But this sensor is able to measure it by compact optical design AFセンサ Autofocus Sensor 仕　様　SPECIFICATION モード ※1 Precision mode Wide range mode AF mode 測定範囲 Measuring range 30～500 µm 測定範囲 12 µm 30 µm 30～500 µm 分解能　Resolution 0.5 nm～ 分解能　 0.2 nm 0.5 nm 0.5 nm 測定範囲内スポット径 Approx. Approx. Approx. 測定範囲内スポット径　Spot diameter in measuring range 結像レンズ Approx3 µm 1～１0 µm 1～25 µm 1 µm Image-Forming Lens 測定精度　Accuracy ※ 1 %＋0.1 µm～1 %＋0.8 µm 測定精度　 ※2 1 %+0.03 µm 1 %+0.2 µm 1 %+0.1 µm レーザダイオード 繰返し性　 ※2 10 nm 20 nm Laser Diode 繰返し性　Repertability ※ 20 nm 測定面の反射率　 4 % or more ミラー 対物レンズ X-axis ± 50° 傾斜角※3 ± 25° 傾斜角　Measurable angle Mirror Object Lens ± 5° Y-axis ± 25° 差動距離　 1.5 mm 差動距離　Warking distance 1.5 mm 最大出力 2 mW レーザ 波長 最大出力　Maximum power 635 nm 2 mW クラス Class1（JIS C 6802:2011） レーザ　Laser 波長　Wavelength 635 nm 質量　 Approx. 250 g 測定物 クラス　Class Class1 ※1 モード切替可能。 Measuring ※2 弊社基準段差標準片を測定した場合。 Object ※ 弊社基準段差標準片を測定した場合。 ※3 焦点付近で測定した場合の水平状態からの角度。 When Kosaka standard roughness specimen is measured. ApiScan PU-OL100-SP ■ 広範囲を高精度で測定 ■ 光沢、黒色など非接触では苦手とされるワークも ノースプレーでそのままスキャニング可能 ■ High-accuracy measurement over a wide range ■ Workpieces that are not good for non-contact measurement such as gloss and black also can be scanned without spray 揺動鏡 Rocking Mirror ポイントレーザー光 Point Laser Beam 仕　様　SPECIFICATION ラインCCD Line CMOS 型式 Model PU-OL100-SP レーザーの強さを 面の大きさで表現。 測定精度　Accuracy 0.008 mm サイズ　Size 76（W）×106（D）×124.6（H）mm Laser strength indicated by size ビーム径　Laser beam diameter Under φ0.183 mm 測定 Z幅　Measuring range of Z axis 60 mm スタンドオフ　Stand off 145～205 mm 視野長（幅）　Laser W idth 21.56～213.54 mm 暗色部 白色部 計測ライン数　Number of measuring line 40～100 lines/second Dark Section 光沢部 White Section Glossy Section レーザークラス　Laser class Class2 15

自動化オプション 認定シンボル付校正証明書 FA alternatives JCSS proofreading certificate (Sample) 自動化オプション より正確な測定を目指して FA alternatives ご要望に合わせて 全機種で JCSS 校正証明書付きの粗さ標準片を付属可能。 　カスタマイズ可能 Available on request JCSSとは… … 計量法の規定により定められた制度で、 JCSS 認定 特　長 シンボル付校正証明書は、計量のトレーサビリティ ■ 測定ワーク自動供給により、測定検査工数の削減。 が国家計量標準から繋がっていることを公に証明し ■ 6軸ロボット採用、複雑な形状ワークにも対応。 ていることになります。 ■ 合否判定後、OK品・ NG品の仕分け可能。 ( 一般の校正証明書より、さらに確かな計量のトレー ■ ワークの姿勢変更も含め自動測定。測定者の負担を軽減。 ■ 全閉カバー内での自動運転により安全性を確保。 サビリティの証となります ) （ ■ 非接触検出器「Crispy」採用による高速測定を実現。 ） Features ■ Measuring inspection man-hours reduction by the automatic work-pieces supply. ■ 6-axixs robot adoption for measuring of complex shape work-pieces. ■ Sorting for OK / NG goods is possible after the admission decision. ■ Burden less for workers with a lot measurement. ■ Secure safety by auto-operation with the full cover. ■ High speed measurement with Non-contact detector “Crispy”. JCSS 認定シンボル付校正証明書 ( サンプル） 16

自動化オプション JCSS認定シンボル付校正証明書 FA alternatives JCSS proofreading certificate (Sample) 自動化オプション より正確な測定を目指して Aim at more exact measurement ご要望に合わせて 全機種で JCSS 校正証明書付きの粗さ標準片を付属可能。 　カスタマイズ可能 with JCSS proofreading certificate. Available on request JCSSとは… In JCSS… 計量法の規定により定められた制度で、 JCSS 認定 The system of having been set by regulation of the 特　長 シンボル付校正証明書は、計量のトレーサビリティ Measurement Law, the proofreading certificate with a ■ 測定ワーク自動供給により、測定検査工数の削減。 が国家計量標準から繋がっていることを公に証明し JCSS authorization symbol will prove publicity that ■ 6軸ロボット採用、複雑な形状ワークにも対応。 ていることになります。 the traceability of measurement is connected from the ■ 合否判定後、OK品・ NG品の仕分け可能。 ( 一般の校正証明書より、さらに確かな計量のトレー national measurement standard. ■ ワークの姿勢変更も含め自動測定。測定者の負担を軽減。 ■ 全閉カバー内での自動運転により安全性を確保。 サビリティの証となります ) （It becomes a proof of the traceability of measurement ■ 非接触検出器「Crispy」採用による高速測定を実現。 still clearer than a common proofreading certificate.） Features ■ Measuring inspection man-hours reduction by the automatic work-pieces supply. ■ 6-axixs robot adoption for measuring of complex shape work-pieces. ■ Sorting for OK / NG goods is possible after the admission decision. ■ Burden less for workers with a lot measurement. ■ Secure safety by auto-operation with the full cover. ■ High speed measurement with Non-contact detector “Crispy”. JCSS 認定シンボル付校正証明書 ( サンプル） JCSS proofreading certificate (Sample) 17

二次元表面粗さ解析システム SGA31 Surfcorder 二次元表面粗さ解析システム 2D Surface Roughness Analyzing System SGA31 2D Surface Roughness Analyzing System SGA31 ★標準適用機種 Standard Applied Model★ SE、SEF for PC Series、DSF Series ■ 特殊解析 豊富な解析機能を搭載し、装置コントロールとデータ解析を行う、多目的・多機能なシステムです。 「特殊解析設定」により、次の項目を選択できます。 Various analyzing function. Multi purpose systemfor both controlling the instruments and analyzing the data. ●「 BC」相対負荷曲線 ・ ●「 ADC」振幅分布曲線 ・ ・ 「測定条件設定」画面　 ●「 FFT」パワーヒストグラム “Set Meas. Condition” 「ダイレクトパネル」画面　“Direct Panel” ●「 RMotif」粗さモチーフ ・ ●「 WMotif」うねりモチーフ ・ ●「 SP」特殊粗さ曲線 ・ 相対負荷曲線（BC）/ 振幅分布曲線（ADC）/ パワーヒストグラム（FFT） 表示例 負荷曲線 振幅分布曲線 パワーヒストグラム 測定は、全ての測定条件に対応する通常測定と、簡便性を重視したダイレクト測定ができます。 The SGA31 provides two kinds of measurement methods: regular measurement responding to all the measurement conditions and direct measurement making much of simplicity. 解析項目-Analytical Items- ■ 形状解析 Differential Analysis 測定プロフィール上の任意点を指定し、 指定点間のピッチ（距離）や段差（高さ）を 簡単に求められます。 An optional point can be specified on a measuring profile to easily obtain a pitch (distance) or a step (height) between the specified points. ■ 切欠処理 測定形状中のキズなどを避けた演算領域を指定し、表面粗さの解析が 切欠処理例 段差解析例 できます。 Step Analysis 基準線（基準高さ） Reference Line (Reference Height) 複数箇所の切欠き、抜出し指定が連続的に指定可能です。 評価点 10.0mm 5.0mm Evaluation Point 基準点 切欠部の表示設定により、切欠き後の形状表示を変えられます。 Reference Point 30000.000um 段差（基準線に対する差） Step (Difference from Reference Line) 測定パラメータ JIS1982 Ra,Rmax,Rz JIS2000 AR,R,Rx,Rke,Rpke,Rvke JIS1994 Ra,Ry,Rz,S,Sm,tp JIS2002 Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2 ピッチ解析例 評価点2-3間の距離 Distance bet.Evaluation JIS1987 WcA,WcM,Wem,Wea ISO1996 AR,R,Rx,Rke,Rpke,Rvke JIS2013 Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,Pa,Pq,Psk,Pku,PSm,PΔq,Pmr(c),Pδc,Pmr,PPc ASME1995 Ra,Rq,Rt,Rp,Rv,Sm,Pc,Rsk,Rku,tp,HSC,Htp,Δq,Δa,Rmax,Rz, Pitch Analysis Points 2 and 3 (ISO1997) Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,RΔq,Rmr(c),Rδc,Rmr,RPc Rpm,λa,λq,Wt,Wa,Wq,Wp,Wv,Wm（r c） 0.200mm Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku,WSm,WΔq,Wmr(c),Wδc,Wmr,WPc 0.198mm 0.194mm 補助機能 評価点 2 ■ 2断面重ね表示 Evaluation Point 2 2本のプロフィールを同時に表示することで、 変形や摩耗などの形状変化を評価できます。 Evaluation Point 1 評価点1 ■ 打切り測定 評価点 1-2間の距離 0.206mm Distance bet. Evaluation Points 1 and 2 任意のレベルで測定を打切ることができ、小さな測定物でも測定できます。 0.203mm 評価点 3 5.00um 200.00um 0.198mm ■ 感度校正 Evaluation Point 3 表面粗さを測定する場合、機器の校正は重要です。 18

二次元表面粗さ解析システム Surfcorder 二次元表面粗さ解析システム SGA31 2D Surface Roughness Analyzing System SGA31 2D Surface Roughness Analyzing System SGA31 ★標準適用機種 Standard Applied Model★ SE、SEF for PC Series、DSF Series ■ 特殊解析 Special Analysis 豊富な解析機能を搭載し、装置コントロールとデータ解析を行う、多目的・多機能なシステムです。 「特殊解析設定」により、次の項目を選択できます。 Selecting “Special Analysis Setting” allowsyou to add the following items: ●「 BC」相対負荷曲線 ・“BC” Relative Bearing Ratio Curve ●「 ADC」振幅分布曲線 ・“ADC” Amplitude Distribution Curve ・“FFT” Power Histogram 「測定条件設定」画面　 「ダイレクトパネル」画面　 ●「 FFT」パワーヒストグラム ●「 RMotif」粗さモチーフ ・“RMotif” Roughness Motif ●「 WMotif」うねりモチーフ ・“WMotif” Waviness Motif “SP” Special Roughness Profile ●「 SP」特殊粗さ曲線 ・ 相対負荷曲線（BC）/ 振幅分布曲線（ADC）/ パワーヒストグラム（FFT） 表示例 Relative Bearing Ratio Curve / Amplitude Distribution Curve / Power Histogram 負荷曲線 振幅分布曲線 パワーヒストグラム Bearing Ratio Curve Amplitude Distribution Curve Power Histogram 測定は、全ての測定条件に対応する通常測定と、簡便性を重視したダイレクト測定ができます。 解析項目 ■ 形状解析 測定プロフィール上の任意点を指定し、 指定点間のピッチ（距離）や段差（高さ）を 簡単に求められます。 ■ 切欠処理 Partial Analysis 測定形状中のキズなどを避けた演算領域を指定し、表面粗さの解析が 切欠処理例 Partial Analysis (Sample) 段差解析例 できます。 基準線（基準高さ） Capable of specifying an calculation area avoiding the scratches of the measured profile to analyze surface roughness. 複数箇所の切欠き、抜出し指定が連続的に指定可能です。 Multiple points can be continuously specified as the removing or extracting area. 評価点 基準点 10.0mm 5.0mm 切欠部の表示設定により、切欠き後の形状表示を変えられます。 A post-remove profile display can be changed by “Set Scale:Partial Settings.” 30000.000um 段差（基準線に対する差） 測定パラメータ Measurement Parameters JIS1982 Ra,Rmax,Rz JIS2000 AR,R,Rx,Rke,Rpke,Rvke JIS1994 Ra,Ry,Rz,S,Sm,tp JIS2002 Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2 ピッチ解析例 評価点2-3間の距離 JIS1987 WcA,WcM,Wem,Wea ISO1996 AR,R,Rx,Rke,Rpke,Rvke JIS2013 Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,Pa,Pq,Psk,Pku,PSm,PΔq,Pmr(c),Pδc,Pmr,PPc ASME1995 Ra,Rq,Rt,Rp,Rv,Sm,Pc,Rsk,Rku,tp,HSC,Htp,Δq,Δa,Rmax,Rz, (ISO1997) Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,RΔq,Rmr(c),Rδc,Rmr,RPc Rpm,λa,λq,Wt,Wa,Wq,Wp,Wv,Wm（r c） 0.200mm Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku,WSm,WΔq,Wmr(c),Wδc,Wmr,WPc 0.198mm 0.194mm 補助機能-Assist Items- 評価点 2 ■ 2断面重ね表示 Overlay Display 2本のプロフィールを同時に表示することで、 変形や摩耗などの形状変化を評価できます。 Capable of evaluating a profile change such as deformation, wear, etc. by simultaneously displaying two profiles. 評価点1 0.206mm ■ 打切り測定 Discontinued Measurement 評価点 1-2間の距離 任意のレベルで測定を打切ることができ、小さな測定物でも測定できます。 0.203mm Capable of discontinuing measurement at an optional level, allowing measurement of a small measured object. 評価点 3 5.00um 200.00um 0.198mm ■ 感度校正 Sensitivity Calibration 表面粗さを測定する場合、機器の校正は重要です。 Calibration of Instrument is essential surface roughness measurement. 19

プラトー表面解析ソフト Surfcorder 接触点フィルタ Plateau Surface Analyzing Software Morphological Contact-Point Filter プラトー表面解析ソフト Plateau Surface Analyzing Software 接触点フィルタ ISO 13565-3 / JIS B 0671-3 粗さのプロファイルに大きな谷などがあった場合、 ISO13565-1/JIS B 0671-1 の位相補償型フィルタでは プラトー表面のうねり成分が除去できず、ゆがみが生じます。 プラトー表面とは-PLATEAU SURFACE- この新フィルタを用いることで、ゆがみを除去することが可能 となります。 ■摩擦特性を向上させる表面 ■ The surface which improve the friction characteristic. ■過酷な条件下で使用される油潤滑された部品等に非常に有効 ■ Very effective in the slide part which is used under severe 接触点フィルタ処理前 接触点フィルタ処理後 conditions and by which oil lubricating was carried out. 測定条件 測定条件 どのような部品（部分）の評価に適しているのか カットオフ値 λc 0.25 mm カットオフ値 λc 0.25 mm 規格番号 JIS’ 01/ISO’ 97（粗さ）（ ） 規格番号 JIS’ 01/ISO’ 97（粗さ）（ ） -IS IT SUITABLE FOR EVALUATION OF WHAT KIND OF PART（PORTION）- 測定倍率 x50,000 測定倍率 x50,000 ■エンジンのシリンダーブロックボア内面の評価 ■ Evaluati on of an engine cylinder block boa inside. フィルタ特性 ガウス フィルタ特性 転がり円 （R8.000 mm） ■工作機械のすべり面の評価 ■ Evaluati on of the sliding surface of a machine tool. 測定速度 0.1 mm/s 測定速度 0.1 mm/s ■ ■ 評価長さ 評価長さ 1.250 mm ベアリングのオイルポッド、超仕上げ面の評価 1.250 mm Oilpod of a bearing, evaluation of a super finishing surface. 基準長さ 0.250 mm 基準長さ 0.250 mm ■風車用ベアリングの表面管理　等 ■ Surface management of the bearing for windmills. etc. レベリング処理 直線（全域） （ ） レベリング処理 直線（全域） （ ） 解 析機 能は -ANALYSIS FUNCTION- 断面曲線 ■プラトー率の解析が可能 ■ The analysis of the rate of a plateau is possible. ■プラトー部分と油だまり部分の表面粗さを分離して解析可能 ■ A p lateau por tion and the surface ro ughness of an oil maintenance part are separated, and analysis is possible. ■多孔質部品、焼結体等の精密加工部のみを粗さ解析可能 ■ Roughness analysis of only precision processing parts, such as porosity parts and a sintered body, is possible. 大きな谷などがあると… プラトーと谷の比率：Rmq プラトーの滑らかさ：Rpq 粗さ曲線 粗さ曲線 The ratio of a plateau and a valley Smoothness of a plateau 通常のフィルタではゆがみが発生 このフィルタを用いることでゆがみが除去されます 負荷曲線（正規確率紙表示） 負荷曲線（正規確率紙表示） パラメータ パラメータ 谷部（油溜まり） ISO13565-1,-2,-3 ISO13565-1,-2,-3 Valley part（ Oil maintenance part） （ ） 0.055 （ ） 0.055 （ ） 0.535 （ ） 0.822 谷の粗さ：Rvq プラトー部（低摩擦） 0.34 1.04 Roughness of a valley Plateau part（ Low friction） 20