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常圧環境下で チューブの内部にプラズマ処理
◆主な用途
・カテーテル同士の貼りあわせ強化 ・チューブ内面のコーティング前処理 ・配管内の高速脱気処理に!
◆チューブ内部をプラズマ処理!
大気圧プラズマ技術を応用することで、 チューブの内部にプラズマを通すことに成功!
◆安定したプラズマで長距離を処理!
内径1mmのチューブを10m処理可能!
◆電気的ダメージフリー
処理対象物に電界がかからないリモート方式で電気に弱い半導体基板にも処理可能です。
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このカタログについて
ドキュメント名 | ワイヤーボンディングの接着強化に! チューブプラズマ装置 S5000-T |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 724.2Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 株式会社魁半導体 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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S5000-T
常圧環境下で
チューブの内部に
プラズマ処理
主な用途
・カテーテル同士の貼りあわせ強化
・チューブ内面のコーティング前処理
・配管内の高速脱気処理に!
■ チューブ内部をプラズマ処理!
大気圧プラズマ技術を応用することで、
チューブの内部にプラズマを通すことに成功!
■ 安定したプラズマで長距離を処理!
内径1mmのチューブを10m処理可能!
■ 電気的ダメージフリー
処理対象物に電界がかからないリモート方式で電気に
弱い半導体基板にも処理可能です。
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■ワイヤーボンディングの接着強化に!
チューブプラズマの応用例 : 配管内の脱気処理システム
配管内ガス 水分
プラズマ 真空排気・水分除去
・配管内の脱ガスを促すことにより、真空到達の時間を早くします。
・窒素プラズマによって水分を効率的に除去し、配管の真空保持性を高めます。
■各種金属・樹脂等の貼り合わせ強化に!
密着性強化実験 プラズマ処理により接着力が強化!
多様な材質で強化可能、短時間の処理でも十分な効果!
サンプル
プラズマ
処理
(N2)
サンプルの接着面をプラズマ処理
接着剤を塗布し固化
フォースゲージで接着力評価
2液型エポキシ系接着剤
(ベストンPM-4) 接着面:5mm×10mm
サンプル: SUS、PE、Al
PE SUS Al
150 150 150
接 接 接
着 100 着 100 着 100
力 力 力
N N N
50 50 50
0 0 0
処理時間(s) 処理時間(s) 処理時間(s)
装置名称 チューブプラズマ装置
型式 S5000-T
外形寸法 W320mm, D430mm, H200mm
照射部寸法 W70mm, D20mm, H40mm
照射範囲 20mm×10mm
電源出力 170W(50Hz/60Hz)
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