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手軽で安全に生産にも使える大気圧プラズマ装置
◆主な用途
・ワイヤーボンディングの接着強化 ・CFRPの接着強化
・塗装前処理 ・ディスプレイやレンズの洗浄
◆低温プラズマ
手で触れる事可能な低温プラズマを大気圧下で生成可能で熱に弱い処理も処理可能です。
◆電気的ダメージフリー
処理対象物に電界がかからないリモート方式で電気に 弱い半導体基板にも処理可能です。
◆安価なランニングコスト
窒素ガスのみでプラズマの発生が可能でヘリウムやアルゴンといった高価なガスは不要です。
◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
このカタログについて
ドキュメント名 | 簡易型大気圧プラズマ装置 A1000 |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 702.1Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 株式会社魁半導体 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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A1000
手軽で安全に
生産にも使える
大気圧プラズマ
主な用途
・ワイヤーボンディングの接着強化
・CFRPの接着強化
・塗装前処理
・ディスプレイやレンズの洗浄
■ 低温プラズマ
手で触れる事可能な低温プラズマを大気圧下で生成
可能で熱に弱い処理も処理可能です。
■ 電気的ダメージフリー
処理対象物に電界がかからないリモート方式で電気に
弱い半導体基板にも処理可能です。
■ 安価なランニングコスト
窒素ガスのみでプラズマの発生が可能でヘリウムやア
ルゴンといった高価なガスは不要です。
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■ワイヤーボンディングの接着強化に!
IC
基 板
金パッド-金ワイヤーのワイヤーボンディングのピール試験結果
処理前 処理後
大気圧プラズマ処理(S5000-BM)によりワイヤーボンディングの引っ張り強度が3倍以上に上昇!
■各種金属・樹脂等の貼り合わせ強化に!
密着性強化実験 プラズマ処理により接着力が強化!
多様な材質で強化可能、短時間の処理でも十分な効果!
サンプル
プラズマ
処理
(N2)
サンプルの接着面をプラズマ処理
接着剤を塗布し固化
フォースゲージで接着力評価
2液型エポキシ系接着剤
(ベストンPM-4) 接着面:5mm×10mm
サンプル: SUS、PE、Al
PE SUS Al
150 150 150
接 接 接
着 100 着 100 着 100
力 力 力
N N N
50 50 50
0 0 0
処理時間(s) 処理時間(s) 処理時間(s)
装置名称 簡易型大気圧プラズマ装置
型式 A1000
外形寸法 W320mm, D255mm, H150mm
照射部寸法 W70mm, D20mm, H70mm
照射範囲 20mm×10mm
電源出力 45W(50Hz/60Hz)
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