ケーブルベヤTKR28H52-EXのご紹介

クリ&ーン ▶クリーンルームの長ストローク搬送 長ストローク 剛性材と柔軟材との一体成形で高剛性と柔軟性 たわみ部も一体構造 を両立。さらに独自の構造により長ストローク かつ低騒音を実現。 剛性材 柔軟材 長ストローク ケーフルベヤ® TKR28H52-EX 大口径化する ロボット／スライダの ケーブル・ホース支持・案内装置 ウエハ 長ストローク搬送 ▶クリーンなモノづくり 低発塵 カタログに関するお問い合わせは、お客様問い合わせ窓口をご利用ください。 大型化する液晶 屈曲部は柔軟性のあるたわみ構造とし、リンク構造のようなピンと穴の摺動摩耗が TEL（0120）251-664 なく低発塵。 ■発塵特性比較 ストローク 1 当社テスト条件 ● 設置条件：標準設置（床面あり） ● 移動速度：120m/min 東 京 支 社 〒108-0075東京都港区港南2-16-2（太陽生命品川ビル） TEL（03）6703-8405 FAX（03）6703-8411 5.94m 半導体業界など、クリーンルームでの ● 加速度：4m/s2 ※ 発 ● ケーブル・チューブなし 塵 70%レス 長ストローク搬送に最適 量 ※発塵量は1立方フィート中の0.1µm以上の粒子個数 大宮営業所 〒330-0846さいたま市大宮区大門町3-42-5（太陽生命大宮ビル） TEL（048）648-1700 FAX（048）648-2020 0.3 を計測し他社製を1としたときの比率を表す 名古屋支社 〒450-0003名古屋市中村区名駅南1-21-19（名駅サウスサイドスクエア） TEL（052）571-8187 FAX（052）571-0915 TKR-EX 他社低発塵タイプ 大 阪 支 社 〒530-0005大阪市北区中之島3-3-3（中之島三井ビルディング） TEL（06）6441-0309 FAX（06）6441-0314 ▶長持ちでメンテナンスが容易 長寿命 広島営業所 〒732-0052広島市東区光町1-12-20（もみじ広島光町ビル） TEL（082）568-0808 FAX（082）568-0814 新形状の柔軟材は、直線部でも屈曲部でもたわみ変形が少なく高耐久。また、剛性材が、 寿命の要因となるフリースパン部のたわみ量の進行を抑制して長寿命化。交換の負担を 九州営業所 〒812-0013福岡市博多区博多駅東3-12-24（博多駅東QRビル） TEL（092）451-8881 FAX（092）451-8882 軽減します。 ■寿命比較 大口径ウエハ搬送ロボット 洗浄装置 本 社 〒530-0005大阪市北区中之島3-3-3（中之島三井ビルディング） つばきホームページアドレス ※ た1 他社 低発塵タイプ 1 TKR-EX 2.5倍 たわみ変形が少ない 工 場 京田辺・埼玉・長岡京・兵庫・岡山 https://www.tsubakimoto.jp わ み 直線時 屈曲時 つばきエコリンクⓇは、つばきグループが設定した 量 エコ評価基準をクリアした商品に付加されるマークです。 の 進 行 度 往復回数※2 ■お願い このカタログに記載の仕様・寸法等は改良のため変更する場合がありますので、設計される前に念のためお問い合わせください。 当社テスト条件 Ⓒ本書に集録したものはすべて当社に著作権があります。無断の複製は固くお断りします。 ● お困りごと お困りごと 移動ストローク：5.78m（フリースパン長さ：2.95m） ● ケーブル・チューブ質量：0.3kg/m ● 移動速度：300m/min 販売店 ウエハの大口径化に伴い、搬送ロボットの 全自動洗浄装置において、歩留まり改善のため ● 加速度：2G 低発塵 長寿命 ストロークも長くなる 搬送距離が長くなる ※1たわみ量はフリースパン長さが最も長い状態で測定 ※2往復回数は、他社製を1としたときの比率を表す ▶解決提案 ▶解決提案 ロボットの長距離移動でも、最大移動ストローク ウエハ洗浄の長い工程間搬送でも1本のTKR-EXで ▶取付け後も長さ調整が可能 切継可能 5.94mでクリーンかつ長寿命にケーブルを保護。 ケーブルを保護。 このカタログはSI 単位｛重力単位｝で リンクが独立したスナップフィット構造のため、 記載しています。｛　　｝値は参考値です。 歩留まり改善・交換工数削減に貢献。 切継ぎ方法を掲載した 従来のプラシリーズ同様、切継ぎが可能です。 取扱説明書はコチラ▶ 価格は販売店が独自に定めていますので、 詳しくは各販売店にお尋ねください。 2024年10月1日発行　Ⓒ株式会社 椿本チエイン　Bulletin No.24160

クリ&ーン ▶クリーンルームの長ストローク搬送 長ストローク 剛性材と柔軟材との一体成形で高剛性と柔軟性 たわみ部も一体構造 を両立。さらに独自の構造により長ストローク 長ストローク かつ低騒音を実現。 剛性材 柔軟材 大口径化する ロボット／スライダの ウエハ 長ストローク搬送 ▶クリーンなモノづくり 低発塵 大型化する液晶 屈曲部は柔軟性のあるたわみ構造とし、リンク構造のようなピンと穴の摺動摩耗が なく低発塵。 ■発塵特性比較 1 当社テスト条件 ● 設置条件：標準設置（床面あり） ● 移動速度：120m/min 半導体業界など、クリーンルームでの ● 加速度：4m/s2 ※ 発 ● ケーブル・チューブなし 塵 70%レス 長ストローク搬送に最適 量 ※発塵量は1立方フィート中の0.1µm以上の粒子個数 0.3 を計測し他社製を1としたときの比率を表す TKR-EX 他社低発塵タイプ ▶長持ちでメンテナンスが容易 長寿命 新形状の柔軟材は、直線部でも屈曲部でもたわみ変形が少なく高耐久。また、剛性材が、 寿命の要因となるフリースパン部のたわみ量の進行を抑制して長寿命化。交換の負担を 軽減します。 ■寿命比較 大口径ウエハ搬送ロボット 洗浄装置 ※ た1 他社 低発塵タイプ 1 TKR-EX 2.5倍 たわみ変形が少ない わ み 直線時 屈曲時 量 の 進 行 度 往復回数※2 当社テスト条件 ● お困りごと お困りごと 移動ストローク：5.78m（フリースパン長さ：2.95m） ● ケーブル・チューブ質量：0.3kg/m ● 移動速度：300m/min ウエハの大口径化に伴い、搬送ロボットの 全自動洗浄装置において、歩留まり改善のため ● 加速度：2G ストロークも長くなる 搬送距離が長くなる ※1たわみ量はフリースパン長さが最も長い状態で測定 ※2往復回数は、他社製を1としたときの比率を表す ▶解決提案 ▶解決提案 ロボットの長距離移動でも、最大移動ストローク ウエハ洗浄の長い工程間搬送でも1本のTKR-EXで ▶取付け後も長さ調整が可能 切継可能 5.94mでクリーンかつ長寿命にケーブルを保護。 ケーブルを保護。 リンクが独立したスナップフィット構造のため、 歩留まり改善・交換工数削減に貢献。 切継ぎ方法を掲載した 従来のプラシリーズ同様、切継ぎが可能です。 取扱説明書はコチラ▶

クリ&ーン ▶クリーンルームの長ストローク搬送 長ストローク 剛性材と柔軟材との一体成形で高剛性と柔軟性 たわみ部も一体構造 を両立。さらに独自の構造により長ストローク かつ低騒音を実現。 剛性材 柔軟材 長ストローク ケーフルベヤ® TKR28H52-EX 大口径化する ロボット／スライダの ケーブル・ホース支持・案内装置 ウエハ 長ストローク搬送 ▶クリーンなモノづくり 低発塵 カタログに関するお問い合わせは、お客様問い合わせ窓口をご利用ください。 大型化する液晶 屈曲部は柔軟性のあるたわみ構造とし、リンク構造のようなピンと穴の摺動摩耗が TEL（0120）251-664 なく低発塵。 ■発塵特性比較 ストローク 1 当社テスト条件 ● 設置条件：標準設置（床面あり） ● 移動速度：120m/min 東 京 支 社 〒108-0075東京都港区港南2-16-2（太陽生命品川ビル） TEL（03）6703-8405 FAX（03）6703-8411 5.94m 半導体業界など、クリーンルームでの ● 加速度：4m/s2 ※ 発 ● ケーブル・チューブなし 塵 70%レス 長ストローク搬送に最適 量 ※発塵量は1立方フィート中の0.1µm以上の粒子個数 大宮営業所 〒330-0846さいたま市大宮区大門町3-42-5（太陽生命大宮ビル） TEL（048）648-1700 FAX（048）648-2020 0.3 を計測し他社製を1としたときの比率を表す 名古屋支社 〒450-0003名古屋市中村区名駅南1-21-19（名駅サウスサイドスクエア） TEL（052）571-8187 FAX（052）571-0915 TKR-EX 他社低発塵タイプ 大 阪 支 社 〒530-0005大阪市北区中之島3-3-3（中之島三井ビルディング） TEL（06）6441-0309 FAX（06）6441-0314 ▶長持ちでメンテナンスが容易 長寿命 広島営業所 〒732-0052広島市東区光町1-12-20（もみじ広島光町ビル） TEL（082）568-0808 FAX（082）568-0814 新形状の柔軟材は、直線部でも屈曲部でもたわみ変形が少なく高耐久。また、剛性材が、 寿命の要因となるフリースパン部のたわみ量の進行を抑制して長寿命化。交換の負担を 九州営業所 〒812-0013福岡市博多区博多駅東3-12-24（博多駅東QRビル） TEL（092）451-8881 FAX（092）451-8882 軽減します。 ■寿命比較 大口径ウエハ搬送ロボット 洗浄装置 本 社 〒530-0005大阪市北区中之島3-3-3（中之島三井ビルディング） つばきホームページアドレス ※ た1 他社 低発塵タイプ 1 TKR-EX 2.5倍 たわみ変形が少ない 工 場 京田辺・埼玉・長岡京・兵庫・岡山 https://www.tsubakimoto.jp わ み 直線時 屈曲時 つばきエコリンクⓇは、つばきグループが設定した 量 エコ評価基準をクリアした商品に付加されるマークです。 の 進 行 度 往復回数※2 ■お願い このカタログに記載の仕様・寸法等は改良のため変更する場合がありますので、設計される前に念のためお問い合わせください。 当社テスト条件 Ⓒ本書に集録したものはすべて当社に著作権があります。無断の複製は固くお断りします。 ● お困りごと お困りごと 移動ストローク：5.78m（フリースパン長さ：2.95m） ● ケーブル・チューブ質量：0.3kg/m ● 移動速度：300m/min 販売店 ウエハの大口径化に伴い、搬送ロボットの 全自動洗浄装置において、歩留まり改善のため ● 加速度：2G 低発塵 長寿命 ストロークも長くなる 搬送距離が長くなる ※1たわみ量はフリースパン長さが最も長い状態で測定 ※2往復回数は、他社製を1としたときの比率を表す ▶解決提案 ▶解決提案 ロボットの長距離移動でも、最大移動ストローク ウエハ洗浄の長い工程間搬送でも1本のTKR-EXで ▶取付け後も長さ調整が可能 切継可能 5.94mでクリーンかつ長寿命にケーブルを保護。 ケーブルを保護。 このカタログはSI 単位｛重力単位｝で リンクが独立したスナップフィット構造のため、 記載しています。｛　　｝値は参考値です。 歩留まり改善・交換工数削減に貢献。 切継ぎ方法を掲載した 従来のプラシリーズ同様、切継ぎが可能です。 取扱説明書はコチラ▶ 価格は販売店が独自に定めていますので、 詳しくは各販売店にお尋ねください。 2024年10月1日発行　Ⓒ株式会社 椿本チエイン　Bulletin No.24160

（旧T：TKKRR02820）8H52-EX 〔特許登録〕 クリ&ーン 構造 ＭＡＸ４６ ▶クリーンルＭＡーＸ４６ム断の面寸長法ストローＭＡクＸ４６搬送 ※ア長ームのス向きトを変ロ更すーることクで 基本仕様 能力線図 　アームの開く方向を変更できます。 F フリースパン長さ m 剛性材と柔軟材との一体成形で高剛性と柔軟性 最大移動速度 m/min 4 300注1 0 1 4 1.35 2 2.5 3 たわみ部も一体構造 12 S 移動端プラブラケット 最大移動速度 m/min 300 注）1 3 F フリースパン長さ ｍ 3 F フリースパン長さ ｍ 2.9 F フリースパン長さ ＋πR ＋2K エンドアダプをタ付両立。さらに独自の構造により長ストローク 使用温度範囲　℃ MAX47※ - 40～80 10 ケ 8 リンク数 ＝ 2 ｍ 2.7 2.85 1.2 0 1 2 3 2 2.2 2.4 2.6 2.8 3.0 2 2.3 2.5 2.8 3.0 アーム 6 横仕切板 最大加速度 G 本体2 2 ー P 12 ブ 2 2 2 2.0kg/m 10 8 1.3kg/m 長ストローク かつ低縦騒仕音切板を実現。 剛性材 柔軟材 ル 4 W=50 （STBSあるいはSTBL）W=75 W=100 プラブラケット エンプラ 6 注）固定端がストロークの中央の場合 ・ 3 1.3 使用温度範囲 ℃ − 40 ～ 80 1.1kg/m 1 ケ 1.1 （旧：TKR0280） 80 105 130 （黒色ー） 4 ホ 2 1 0.9 0.9kg/m 小数点以下は、わずかでも0.切7kg上/mげて整数とします。 TKR28H52W50 TKR28H52W75 TKR28H52W100 本体 材質 縦仕切板 ブ 3 ー 2 0.6kg/m 0.7 ル ス ブラケット エンプラ ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ DS（A黒タイ色プ用）（ＨS） ・ アルミニウム 質 1 0.6 チ 1 量 K 移動 ュ 0ス.ト4ロークS 0.4kg/m 横仕切板 縦仕切板 横仕切板 フリースパンF ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ ※アームの向きを変更することで DSBタイプ用（ＥＨＳ） エンプラ+ア ールミニウム kg/m 材質 ブ 0.3kg/m DSA タイプ用 R 縦仕切板 W ※ W　＝アー5ム0の開く場方向合をは変更できます。 （HS） アルミニウム （0黒.3色） 質 0.3 0.3 0.3 0.3 F S： 移動ストローク mm 量0.3 0フリース 1パン長 さ2 m 3 4 5 6 ※1 R： 屈曲半径 mm （STASあるいはSTAL） W+30 MAX45 横仕切板 最大移動速度 m/min 300注1 kg/m 0 1 1.35 2 2.5 3 ※2 移動端 DSB タイ定プ尺用長さエ　ンリプンラク+ アルミニウム 100 0 2 4 6 8 10 12 * 固定端 P： ピッチ＝28mm 12 S W S 移動ストローク　ｍ ＋πR ＋S2K K： 余裕長さ＝56mm以上 ＝ 50、62、75、87、100、125、150、200 使（用EH温S注）度1範）支囲持　（ ロ ℃黒ーラ色設）置の場合- 14500～m/8m0 10 in 0.1ケ 8 リンク リンク数 ＝ 2 注2）最大 0 1 2 3 4 5 6 ※1 本加体速度についてはお問合せください。 ー 6 *印の寸法は余裕長さを見込んでいます。 余裕長さK P 2 ロックステイ 定尺長さ リンク 100 0.1 2.2 ブ W=125 W=150 A−AW矢=2視00 注3）酸性・アルカリ性雰囲気では使用できません。 ル 4 固定端プラブラケッWト=50 W=75 W=100 注4）ケ ーブルベヤ質量については ※1：支持ローラなしの時 注）固定端がストロー※ク支の持ロ中ー央ラ設の置場の合・ 3 場合の余裕長さKは84mm以上に設定ください。 155 180 230 （旧：TKR0280） 80 105 130 注） 1. 支持ローラ設置の　場プ　『合ラ商1ブ品5ラ0コmケット エンプラ 0 0 12 4 6 8 10 12 0.1 0.1 * 4.4 2 30※.1 02 4 1 4.2 4.6 52 5.6 5. 9 43※1 3.8 4.4 4.8 5 5.2 5.5 5.94※1 ー/ドm・in形。番一覧（』黒を色ご参）照 く だ0さい。ホ 22 S 移動ストロ ー4※ク2ｍ：支持ロ ー 6ラ 設 0置の時 2 小数 点4 以下5.4は、わ 　 6ず支持かロでーもラの切設上置げ間て隔は整9数00とmmし以ま下すにし。てください。 大口径化する ロボット／スライダの TKR28H52W125 TKR28H52W150 5.4 TKR28H52W50 TKR28H52W75 TKR28H52TWK1R0208H52W200 2. 酸性・アルカ材リ質性雰囲縦気仕で切は板ご使用できません。 ＊*印ースの寸法は余裕長さを見込んで * S 移動ストロークｍ 仕切寸法 Ａ-A 3. 低湿度環境下でご使用の ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ DSA場タイ合プに用（ＨはS）、 アルミニウム 　い質ます 1。 S 移動ストロークｍ 8 8.4K 9.2 10移動1ス0ト.8ロー1ク1.8S8※2 7.6 8.8 9.6 10.4 11 11.88※2 ウエハ 長ストローク搬送 ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ ※アームの向きを変更することで 　特形対応としてド横ラ仕切イ板環境仕様がございます 量 ※kg1/：m支持ロー フリースパンF ▶クリーンなモノづくり 例ラな）しTのK時R28H52W5S 0移R動7ス5ト　ロ2ー0クリｍンク×11１.2組、縦S仕 移切動板ス２トリローンククｍ毎に10１.8個の場合 低発塵 　のでご相談ください。 DSBタイプ用（ＥＨＳ） エンプラ+アルミニウム　アームの開く方向を変更できます。 F フリースパン長さ m ※2：支持ローラ設置の時 R S： 移動ストローク mm ※1 ① 縦仕切板のみ使用 ② 全体を上下多段に仕切る方式（DSAタイプ） ③ 一部を上下多段に仕切る方式（DSBタイプ） 最大移動速度 m/min 300注1 0 （黒 色1 ） 0.3 1.35 商 品 2コー 2ド.5 3 0 形 式 1 内2高さ 3内幅 4屈曲半 径 5 6 12 S 0 2 4 6 8 10 12 数量 単位 移注動）端１. 仕切R板： 、屈ケ曲ー半ブ径ル mクmランプクシ歯形、クランプレールは部品 定尺長さ　リンク 100 * ＋πR ＋※2 K 使用温度範囲　℃ -40～80 10 P： ピッチ＝28mm 縦仕切板 縦仕切板 横仕切板 縦仕切板 ケ 8 リンク数 ＝ 2 固定端 S 移動ストローク にて納入いたします。 本 体 　ｍ S （STASあるいはSTAL） 本体 ー 6 E190075 TKR28 H52 W50 R75 P 20 【L（リンク）】 K： 余裕長さ＝56mm以上 （STBS） （EHS△△） （STBSあるいはSTBL） 注1）支持ローラ設置ブの場合 150m/min ２. ブラケットは組込んで納入いたします。 大型化する液晶 縦仕切板 屈曲部は柔軟性のあるたわみ構造とし、リンク構造のようなピンと穴の摺動摩耗が 6 D C 形番 注2）最大固加定速度端にブつルいラて 4 *印の寸法は余裕長さを見込んでいます。 余裕長さK 2 W=50 W=75 W=100 プラブラケット エンプラ ・ 3ケはおッ問ト合せくださいE。195113 TK注R）固2定8 端Hが5ス2ト Wロー5ク0 の- F中U央CのL場合 1 【K（個）】 ３. 縦仕切板の必要数量について（通常2リンク毎に取付け） C W=125 なく低発塵。 W=150 W=200 注3）酸性・アルカリ性雰囲気では使用できません。 B 注4）ケ ーブ移ルベ動ヤ端質ブ量にラつケいてッは 縦仕切板を取付けるリンク数N＝ B （STASあるいはSTAL） C 横仕切板 80 B 105 130 （黒色） ホ 2 小数点以下は、わずかでも切上げて整数とします※。支持ローラ設置の場合の余裕長さKは84mm以上に設定ください。 TKR28H52W50 TKR28（HH52SW○7○5）『○○＝W』 ト TKR28H52W100 材質 縦仕切板 ー E195112 T※K1：R支2持8ロ ーHラ5な2し Wの時155 180 230 　　『商品コード・ス形番一覧』をご参照ください。 ※2：支持ローラ設置の時50 - MUCL 1 【K（　個支）持】ローラの設置間隔は900mm以下にし　（てく総だリさンい。ク数+1）÷2　N:整数（小数点以下切り捨て） TKR28H52W125 ■発塵特性TK比R2較8H52W150 TKR28H52W200 縦 仕質 1 ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ DSAタイプ用（ＨS） アルミニウム 量 切 板 ※ E198015 TKK R28 移H動5スト2ロ -ー SクS TKR28H52W ① R ② EX + ③ LTA -S ④ 1-0 【⑤K（個 ） 】■ 本体 縦仕切板必要数量＝ Ａ-A 横仕切板 フリースパンF 6 DSBタイプ用（ＥＨＳ） エンプラ+アルミニウム kg/m 編 成 （20L + FR （黒色） 0.3 UCL + MUCL）× 1 　N×n　n:リンク1ヵ所あたりに取付ける縦仕切板数量 2.4 1 当社テスト条件 S： 組 移動ストローク mm 形番 内幅W 屈曲半径R 質量kg/m 0 1 2 3 4 5 例 6）※12.4 ● 設置条件：標準設置（床面あり） その他のパーツ TKR28H52W50R7移5ケーブルクランプクシ歯形 TKR28 H52 W○○ - 動C端　L -2 U0 Rリ： 屈ン曲半ク径 ×mm 【K（１個組）、】○縦○仕=本切体板W寸２法リンク毎に１個の場合定尺長さ　リンク 100 0 2 4 6 8 10 12 ※2 * 固定端 P： ピッチ＝28mm TKR28H52W50R75EX DSA75タイプ S 移動ストローク　ｍ S K： 余裕長さ＝56mm以上 （W＝50,75,100.125,150） ① 縦仕切板のみ使用 ② 全体を上下多段に仕切る方式（DSAタイプ） ③ 一部を上下多● 段移に動仕速切度る：方12式（0mD/SmBタinイ プ） 注1）支持ローラ設置の場合 150m/min ①内幅 商品コー②ド屈曲半径 形式 ③内リ高さンク内幅数 屈曲半径 ④固数定量端 単位⑤移動端 T注KR2）１8H. 5仕2W切5板0R、1ケ00ーEブX ルクランプクシ歯形、クラ1ン0プ0レールは部品 注2）最大加速度についてはお問合せください。 *印の寸法は余裕長さを見込んでいます。 余裕長さK 2 半導体業界など、クリーンルームでの 縦仕切板 クランプレール TKR28 H52 W○○ - CRA 【K（個）】TKR28H52 50R150EX 50 150 2.1 ※縦仕切板は ○○=本体W寸法 縦仕切板 ● 加速横仕度切：板4m/s2 縦仕切板 にて納入いたします。 2個以上 W=125 W=150 W=200 注3）酸性・アルカリ性雰囲気では使用で本きません。 体50 注 E190075 75 TKR28 H52 W50 R75 FU 20 【L（リンMクU）】 TKR2 A P A A ※ 発 P （STASあるいAはSTAL） （STBSD）+9 （EHS△△） （STBSあるいはSTBL） 4）ケ ーブルベヤ質量については ※仕切板 ※1：支持ローラなしの時 ※支持ローラ設置の場合の余裕長さKは84mm以上に設定ください。 ２8H. ブ52ラWケ50ッRト2は00組EX込んで納入いたします。200 縦仕切板155 180 230 6 ●D ケーブ PルC・チューブ A 62 100 FUCL注）4 MUCL注）4 　必要です なし 　　『商品コード・形番一覧』をご参照く固だ定さい端。ブラケット ※2：支E持1ロ9ーラ5設1置1の3時 TKR28 H52 W　5支0持 ロ-ー FラUのC設置L間隔は9100mm【以下Kに（して個くだ）さ】い。 TKR2３8H. 5縦2W仕6切2R板75のEX必要数量について（通常2リン7ク5毎に取付け） W C TKR28H52W125 TKCR28H52W150 横仕切板 縦仕切板 横仕切板 TKR28H52W20W0 仕切方式 種類 形番 構成部品 単位 B （STASあるいはSTAL） 塵 W B 70%レス 『△△＝CあるいはD寸法』 75 150 FUCR MUCR TKR28H52W62R100EX 100 （HＡS○-A○）『○○＝W』 B 縦仕切板を取付けるリンク数N＝ 移動端ブラケット 縦仕切E板19ス5ラ11イ2ドタイプ　TSKTRA2S8 HT5K2R 2W85H05 -2 -MSUTCASL 1 【K（個）】縦 仕 切 板 1個TKR28K（H5　個2（W）62R150EX 62 150W 2.2 総リンク数+1）÷2　N:整数（小数点以下切り捨て） 長ストローク搬送に最適 87 200 縦仕切板（固定方法）内幅W mm A mm B mm P mm 量C mm D mm 補足 ※発塵量突は起1立方フィート中の0.1µm以上突の起粒子個数 縦 仕 切 例板）TK※R28H52W 0R75　20リンク×１組、縦仕切板２リンク毎に１個の場合 縦仕切板必要数量＝ 0.3 DSAタイプ ロックタイプ　 STAL TKR28H52-STAL 縦 仕 切 板 1個TKR28K（H5個2W）62R200EX DS2B00タイプ STAS（スライド取付） 全W共通 4　~65 2.8~63.8 8　~130 5.6~127.6 A : 縦仕切板の中心とリンク端面の距離 を計測し他社製を1としたときの比率を表す 100 E198015 TKR28 H52 - STAS 10 【K（個）】 注）1. 仕切板、ケーブルクランプクシ歯形、クランプレールは部品にて納入します。 TKR28H5 ① 縦仕切板のみ使用 ② 全体を上下多段に仕切る方B式 （: 縦D仕S切Aタ板イとリプン）クのスキマ③ 一部を上下多段に仕切る方式（DSB6タイプ） 商品編コード 形式成 内高さ 内幅 屈 曲横半径仕2. 切ブ板 TKR28H52-HS（W寸法） W1 2.4 ラ数ケ量ッ（トは20組単L込 位ん+ でF納U入CしWLま＝ +す5 。0M・7U注5・C）１1L. 00）仕・×切板12 1 　2WN×75nR　75nE:リXンク1ヵ所あたりに取付ける7縦5仕切板数量 50 6　~38 4.8~36.8 8~ 40 5.6~ 37.6 、組ケーブルクランプクシ歯形、クランプレールは部品125 縦仕切板 5・150・200 横 仕 切 板 1個TKR28K（H5個2W）75R100EX 75 100 TKR28H52W75R150EX 150 2.3 ※縦仕切板は 62 8 ~48 6.8~46.8 8~ 48 5.6~ 45.6 2.4 P : 縦仕切板同士の中心間の距離 縦仕切板 横仕切板 縦仕切板 にて納入いたします。 本 体 （STASあるCい : は縦S仕TA切L） E19そ00の75他のパTKーR2ツ8 H52 W 75 6.5~62.5 5.3~61.3 8~ 64 5.6~ 61.6 板同士のスキマ 150 ケ5ー0ブ R スル7クラ5ライ3ン. ドプ縦クタ仕シイ切2歯0プ形板の　【T必LS（K要TリRB数ン2S量8クに H）つT】5Kい2Rて （2W8通○H常5○22リ- -ンS CクTL毎B S-に U取付け） （STBS） （EHS△△） （STBSあるいはSTBL） ２. ブラケットは組込【んでK（納入個いた）し】○○=本体W寸法 ま縦す。仕 切 板 1個 K（個） DSAタイプ （W＝50,75,100.125,150）TKR28H52W75R200EX 200 2個 87 4.5~64.5 ４ 縦仕切板 D : 縦仕切板をサイドに取付けた場合の6 D C 固定端ブラケット E195113 TKR28 H縦5仕2 W切5板0 - FUC L 縦仕切1板を【取K（付個け）る】リンク数N＝（総リン３ク. 数縦仕+1切）板÷の2　必N要:数整量数に（つ小い数て（点通以常下2リ切ン捨ク毎てに）取付け） C 3.3~63.3 ４8~ 80 ４5.6~ 77.6 ４ C 横仕切板 STA（L ロック取付） B mm （STASあmるmいはSTAL） mm mm B 200 クランプレール TKR28 H52 W○○ CRA 【K（個）】 ※縦仕切板は 縦仕切板を取付けるリンク数N＝ B 縦仕切板同士のスキマ DSBタイプ ロックタイプ　 STBL TKR28H52--STBL ○縦○=仕本体切W寸板法 1個 K（個） 　必要です （HS○○）『○○＝W』 移動端ブラケット E195112 TKR28 H52 W50 - MUC L 縦仕切板必要数量＝N×n　n:リンク1 ヵ所あたりに取付け 縦仕切板数量 TKR28H52W87R75EX 75 100 7 ~63 毎5.8~61.8 毎8~ 88 毎5.6~ 85.6 仕 切2個板以上 縦仕切板 A P A A 毎 PTKR-EX A 他社低発塵タイプ D+9 P 丸穴1ヶ所A ※仕切板 エンドア ダプ4タ. W付=横621仕、8切7 【、板2 K（00個用は）】固定T端KFRU2C8LH、5移2動--端EMHUS　C（（L総をWリごン1ク使寸数用法+1で））÷き2ま　せN:ん整数。（小横数点仕以下切切り板捨て1）個TKR28H52W87R100EX 横 100 TKR28H52W87R150EX 87 　必1要5で0す 2.4 125 7.5~63.5 6.3~62.3 8~112 5.6~109.6 注）ケーブル・ホースと仕切板あるいは 縦 仕■切 仕板 ※ 切 板E198015 TKR28 H52 - STAS 10 【K（個）】 W1＝「仕切寸法縦仕」の切板C必あ要る数い量は＝仕切方式 種類 形番 D寸法 　 エンドアダプタ2個 K（個） W 150 8 ~64 W 6.8~62.8 8~124 5.6~121.6 W 　　リンクとのスキマ（右図d）は2mm以上 N×n　n:リンク1構ヵ所成あ部たり品に取付ける単縦仕位切板数量 縦仕切板 横仕切板 丸穴1ヶ所 6 W 丸穴2ヶ所 『△△＝CあるいはD寸法』 2.4 丸穴2ヶ所 編 成 （20L + FUCL + MUCL）× 1組 TKR28H52W87R200EX 200 200 5 ~65 3.8~62.3 8~124 5.6~121.6 2.4 　　またはケーブル・ホース外径×0.1倍の STAS STAL STBS STBL TKR28H52W100R75EX 75 STBS（スライド取付） 全W共通 min4 min1 26~（W-6） 20~（W-12） 20~（W-12） 　　大きい方補とし足てください。 （スライド取付）（ロック突取起付） （スライド取付）（ロ突ッ起ク取付） その他のパーツ ケーブルクランプクシ歯形 T縦K仕R切28板 スライドタイプ　STAS TKR28H52-STAS 縦 仕 切 板 1個 K（個） W 仕切方式 種類 H52 W○○形 -番 CL - U 【K（個）構】○成○=部本体品W寸法 単位 DSAタイプ （W＝50,75,100.125,150） TKR28H52W100R100EX 100 50 min6 min3 − − 20 ~ 36 クランプDSレAータルイプ ロックタイプ　 STAL TKR28H52-STAL 縦 仕 切 板 1個 K（個） DSBタイプ A : 縦仕切板の中心とリンク端面の距離 縦仕切板 縦仕切板 W1 B : 縦仕切板とリンクのスキマ 横仕切板 TKR28H52-HS（W寸法） DSA 縦仕切板 スライド取付TKTRK2R82 H8H525 2WE○X-S○TA - SCRA 【K（個縦）仕】切板１個 K（個） ※縦仕切板は ○○=本体W寸法 TKR28H52W100R150EX 100 150 2.5 62 min8 min5 − − 22 ~ 46 2個以上 A P A A P A D+9 P A ※仕切板 ロック取付 TKR28H52EX-STAL W＝縦5仕0・切7板5・１1個00・125・K（15個0・）200 横 仕 切 板 1個 K（個） 　必要です TKR28H52W100R200EX 200 75 min6.5 min ※縦仕切板は 3.5 28~ 40 ▶22~ 3長4 持20.5~ 6ち0.5 でメP : 縦ン仕切板同テ士の中心 TKR28H52W125R75EX 75 87 min4.5 ４ min1.5 ４ STBL 28~ 52 ４22~ 46 ４22.5~ 74.5 ４ ナ間の距離C : 縦仕切板同士のスキマ D : 縦仕切板をサイドに取付けた場ン合の スが容易 長寿命 タイプ スライドタイプ　STBS TKR28H52--STBS 縦 仕 切 板 1個 K（個） 2個 横仕切板 縦仕TK切R板28H52EX-HS（W 寸法） 縦仕切板 横仕切板 W W W 『△△＝CあるいはD寸法』 仕切方式 種類 形番 構成部品 単位 補足 突起 突起 縦仕切板 スライドタイプ　STAS TKR28H52-STAS 縦 仕 切 板 1個 K（ ） W （ロック取付） mm mm mm mm mm TKR28H52W125R100EX 100 100 min7 min 毎 4 毎28~ 64 毎22~ 58 毎21 ~ 85 DSBタイプ 　 W＝5ロ0・ッ6ク2・タ7イ5・プ87　・1 0 0S・T12B5L・150T・K20R028横H仕5切2板--S１T個BL K（個） 縦 仕 切 板 1個 K（個） 　必要です 縦仕切板同士のスキマ 横仕切板 エンドアダプタ付横仕切板 d DSAタイプ ロックタイプ　 STAL TKR28H52-STAL 縦 仕 切 板 1個 K（個） DSBタイプ TKR28H52W125R150EX 125 150 2.7 毎 125 min7.5 min4.5 28~ 88 22~ 82 21.5~109.5 A : 縦仕切板の中心とリンク端面の距離 （HS○○） 丸穴1ヶ所 （EHS△△） 注）ケーブル・ホースと仕切板あるいは 縦仕切板 スライド取付 TKR28H52EX-STBS 縦仕切板１個 K（個） B : 縦仕切板とリンクのスキマ 横仕切板 TKR28H52-HS（W寸法） TKR28H52--EHS（W1寸法） 仕切板 縦仕切板 エンドアダプタ付横仕切板 横W1仕 切 板 1個 横 新形状の柔軟材は、直線　部　リでンクとものス屈キマ（曲右図部d）はで2mmも以上た丸わ穴1みヶ所変形が少なく丸高穴2ヶ耐所久。また、剛性材丸穴2が DSB W＝50・75・100・125・150・200 横 仕 切W板1＝「1個仕切K（寸個法）」のCあるいはD寸法 エンドアダプタ2個 K（個） TKR28H52W125R200EX W 200 150 min8 min5 28~112 22~106 22 ~134 ※縦仕切板は TKR28H52W150R75EX 75 200 min5 min2 28~164 22~158 23 ~187 P : 縦仕切板同士の中心間の距離 ロック取付 TKR28H52EX-STBL 縦仕切板１個 K（個） ヶ所 C : 縦仕切板同士のスキマ 、 　　またはケーブル・ホース外径×0.1倍の STAS STAL STBS STBL タイプ スライドタイプ　STBS TKR28H52--STBS 縦 仕 切 板 1個 K（個） 2個 寿命の要因となるフリD ー: 縦仕　ス切　板大をパきサいイド方ンにと取し部付てけくただの場さ合いの 縦仕切板 た。 わみ量の進（行スライをド取抑付）（制ロッしク取て付）長寿命（スラ化イド。取付交）（換ロッのク取付負） DSBタイプ エンロドッアクタダイププタ　付 S横TB仕L切板TKRT2K8HR2528--HS5T2BLEX-EHS△△ 縦 仕 切 板横仕1個切板１K（個個） 　必要です TKR28H52W150R100EX 100 注）A、B、P、C それぞれの最大値は横仕切板がある場合に適用します。 △△＝「仕切寸法」のCあるいはD寸法 エンドアダプタ２個 K（個） TKR28H52W150R150EX 150 150 2.9 縦仕切板同士のスキマ 仕切板 縦仕切板 縦丸仕穴1切ヶ所板 注）縦3 仕切板 担を MU 移動端ブラケットMUCL 移動端ブラケット MUCR エンドアダプタ付横仕切板 TKR28H52--EHS（W1寸法） 横 仕 切 板 1個 横 注）ケーブル・ホースと仕切板あるいは W1＝「仕切寸法」のCあるいはD寸法 軽減します。 エンドアダプタ2個 K（個） W TKR28H52W150R200EX 200 　　リンクとのスキマ（右図d）は2mm以上 TKR28H52W200R75EX 75 移動端ブラケ丸穴ッ1トヶ所 丸穴（2ヶケ所ーブルクランプクシ歯形丸1個穴2付ヶ所）（クランプレール1個付） 　　またはケーブル・ホース外径×0.1倍の STAS STAL STBS STBL 　　大きい方としてください。 （スライド取付）（ロック取付） （スライド取付）（ロック取付） ■ 縦仕切板 ■ 横仕切板 TKR28H52W200R100EX 100 リンク数の計算 寸法図■・寿ブ命ラ比ケ較ット寸法 37.5 ケーブルクランプクシ歯形 クランプレール 形番 適用ケーブルベヤ本体 質量 TKR28H52W200R150EX 200 150 3.4 22.5 15縦仕切板 横仕切板 縦仕切板 エンドアダプタ付横仕切板 d （クシ歯数：nz／片側） 形番 適用ケーブルベヤ本体 質量 g/個 g/個 大口径ウエハ搬送ロボット 洗浄装置 （HS○○） （EHS△△） TKR28H52W200R200EX 200 TKR28H52EX-STAS 4 TKR28H52EX-HS50 TKR28H52W50R**EX 3 ※ 4-φ7 TKR28H52EX-STAL 4 TKR28H52EX-HS62 TKR28H52W62R**EX 4 た1 他社 横仕切板 エンドアダプタ付横仕切板 d （HS○○） （ TKR28H52W W a b c ケーブルクランプクシ歯形 屈曲半径 R 設置高さ H' EHS△△） TKR28H52EX-STBS **R**EX 7 TKR28H52EX-HS75 TKR28H52W75R**EX 5 ■ ブラケット（クランプレール1個付） S 2 +πR +2K mm mm mm mm nz（クシ歯形低）発塵タイプ 1 TKR-EX 2.5倍 たわみ変形が少ない わ mm mm MU 移動端ブラケットMUCL 注）3移動端ブラケット MUCR TKR28H52EX-STBL 7 TKR28H52EX-HS87 TKR28H52W87R**EX 6 形番 適用ケーブルベヤ本体 質量 g/個 リンク数= 50 66 80 33 3 75 252~272 移動端ブラケット （ケーブルクランプクシ歯形1個付）（クランプレール1個付） TKR28H52EX-HS100 TKR28H52W100R 62 78 92 − み 直線時 屈曲時 **EX 7 　　　 P TKR28H52EX-HS125 TKR28H52W125R TKR28H52W50EX-MUCR ■ エンドアダプタ付横仕切板 **EX 9 TKR28H52W50R**EX 110 − 100 302~322 MU 移動端ブラケットMUCL 注）3移動端ブラケット MUCR 移動端ブラケット 37.5 ケーブルクランプクシ歯形 クランプレール 量 全長=28×リンク数 （ケーブルクランプクシ歯形1個付）（クランプレール1個付） TKR28H52EX-HS150 TKR28H52W150R**EX 11 TKR28H52W50EX-FUCR 116 注）固 定端がストロークの中央の場合 75 91 105 58 5 150 402~422 6202.5 6 15 （クシ歯数：nz／片側） TKR28H52EX-HS200 TKR28H52W200R TKR28H52W62EX-MUCR TKR28H52W62R**EX 119 形番 **EX 15 TKR28H52W62EX-FUCR 125 小数点以下は、わずかでも切上 87 103 117 − の − 2A 4-φ7 00 502~522 37.5 ケーブルクランプクシ歯形 クランプレール 22.5 15 （クシ歯数：nz／片側） 4-φ7 100 116 130 83 7 げて整数とします。 4-φ7 125 141 155 108 進 TKR28H52EX-EHS △△ ■ ブラケット（ケーブルクランプクシ歯形1個付） TKR28H52W75EX-MUCR TKR28H52W75R**EX 128 行 9 TKR28H52W75EX-FUCR 134 150 166 180 133 11 △△：20～188 未満 ※最小0.5mm毎 形番 適用ケーブルベヤ本体 質量 g/個 TKR28H52W87EX-MUCR TKR28H52W87R**EX 137 TKR28H52W87EX-FUCR 143 K 移動ストロークS 200 216 230 − 度 − 往復回数※2 7 28 28 a 7 TKR28H52W50EX-MUCL フリースパンF R ■ ブラケット TKR28H52W50R**EX 92 TKR28H52W100EX-MUCR TKR28H52W50EX-FUCL 98 TKR28H52W100R**EX 147 A 全長=全28長×リ=ン2ク8×数リンク数ピッチ 移動端 (W+16) 60 60 6 6 TKR28H52W100EX-FUCR 153 A A 4-φ7 4-φ7 当社テスト条件R =75・100・150・200 注） 設置高さH’寸法 TKR28H52W75EX-MUCL 形番 適用ケーブルベヤ本体 質量 g/個 TKR28H52W75R**EX 101 TKR28H52W125EX-MUCR R 移動端 TKR28H52W75EX-FUCL 107 TKR28H52W125R**EX 166 ● 固定端 4-φ7 　　にて設計、設置 TKR28H52W125EX-FUCR 172 お困りごと お困りごと 固定端 移動ストローク：5.78m（フリースパン長さ：2.95m） TKR28H52W50EX-MU TKR28H52W100EX-MUCL TKR28H52W50R**EX 83 TKR28H52W100R**EX 111 TKR28H52W150EX-MUCR ● ケーブル・チューブ質量：0.3kg/m 7 　　ください。 TKR28H52W50EX-FU 89 TKR28H52W100EX-FUCL 117 TKR28H52W150R**EX 184 S TKR28H52W150EX-FUCR 190 余裕長さK 2 28 28 a 7 R ● 移動速度：300m/min A ピッチ 移動端 (W+16) 7 28 28 a 7 TKR28H52W62EX-MU TKR28H52W125EX-MUCL TKR28H52W62R**EX 85 TKR28H52W125R**EX 122 TKR28H52W200EX-MUCR R R =75・100・150・2A00 ピッチ 移動端 注(W）+1 設6)置高さH’寸法 TKR28H52W62EX-FU 91 TKR28H52W125EX-FUCL 128 TKR28H52W200R**EX 222 TKR28H52W200EX-FUCR 228 ウエハの大口径化に伴い、搬送ロボットの 全自動洗浄装置において、歩留まり改善のため TKR28H52W75EX-MU TKR28H52W150EX-MUCL S：移動ストローク mm ● 加速度：2G R =75・10固0・定15端0・200 6 4-φ7 　　にて設計、設置注） 設置高さH’寸法 80 7 a 7 TKR28H52W75R**EX 88 TKR28H52W150R**EX 131 TKR28H52W75EX-FU 94 TKR28H52W150EX-FUCL 137 R：屈曲半径 mm 固定端 (W　+　14く6-φ)だ7さい。 　　にて設計、設置 ストロークも長くなる 搬送距離が長くなる ※1たわみ量はフリースパン長さが最も長い状態で測定 TKR28H52W87EX-MU ■ クランプレール（スチール製） P：ピッチ＝ 28mm ※2往復回数は、他社製を1としたときの比率を表す 　　ください。 TKR28H52W87R**EX 90 TKR28H52W87EX-FU 96 ■ ケーブルクランプクシ歯形（プラスチック製） 形番 適用ブラケット 質量 g/個 K：余裕長さ＝ 56mm 以上 6 80 4-φ7 7 a 7 TKR28H52W100EX-MU TKR28H52W100R**EX 94 形番 適用ブラケット 質量 TKR28H52W50EX-CRA TKR28H52W50EX-MU/FU 27 (W+16) TKR28H52W100EX-FU 100 g/個 TKR28H52W50EX-CL-U TKR28H52W50EX-MU/FU 9 TKR28H52W62EX-CRA TKR28H52W62EX-MU/FU 34 6 ▶解決提案 ▶解決提案 48-φ07 7 a 7 TKR28H52W125EX-MU TKR28H52W125R**EX 101 TKR28H52W75EX-CRA TKR28H52W75EX-MU/FU 40 (W+16) TKR28H52W125EX-FU 107 TKR28H52W75EX-CL-U TKR28H52W75EX-MU/FU 13 ※支持ローラ設置の場合の余裕長さ TKR28H52W100EX-CL-U TKR28H52W100EX-MU/FU 17 TKR28H52W87EX-CRA TKR28H52W87EX-MU/FU 47 TKR28H52W150EX-MU Kは84mm以 上 に 設 定 く だ さ い。 注）1. ケ ーブルクランプクシ歯形および TKR28H52W150R**EX 106 TKR28H52W100EX-CRA TKR28H52W100EX-MU/FU 53 ロボットの長距離移動でも、最大移動ストローク ウエハ洗浄の長い工程間搬送でも1本のTKR-EXで ▶取付け後22.5も長15 4-φ TKR28H52W150EX-FU 112 TKR28H52W125EX-CL-U TKR28H52W125EX-MU/FU 21 7 TKR28H52W150EX-CL-U TKR28H52W150EX-MU/FU 25 TKR28H52W125EX-CRA TKR28H52W125EX-MU/FU 65 支持ローラの設置間隔は900mm以下 クランプレールは内周側・外周側 37.5 さ調整が可ケーブ能ルクランプクシ切歯形継可能クランプレール 22.5 15 どちらでも取付けできます。 37.5 ケーブルクラン（プククシシ歯歯形数：nz／片側） TKR28H52W200EX-MU にしてください。 クランプレール TKR28H52W200R 5.94mでクリーンかつ長寿命にケーブルを保護。 ケーブルを保護。 （クシ歯数：nz／片側） **EX 118 TKR28H52W150EX-CRA TKR28H52W150EX-MU/FU 78 TKR28H52W200EX-FU 124 注） W62、87、200用はありません。 TKR28H52W200EX-CRA TKR28H52W200EX-MU/FU 104 2. ブ ラケットMU、FUにはケーブル 注）3 クランプクシ歯形リおンよクびがクラ独ン立プした 固ス定端固ナブ定端ッラケブラプットケッフトィFッFUUト構造固の定た固端ブラめ定端ケッ、ブラケット FUCL 固定端ブラケット FUCR ト FUCL 注）3 固定端ブラケット FUCR （ケーブルクランプクシ歯形1個付） （クランプレール1個付） 歩留まり改善・交換工数削減に貢献。 22.5 15 （ケーブルクランプクシ歯形1個付） （切クラ継ンプぎレー方ル法1個付を）掲載した レールの追加取従付け来はのできプまラせんシリーズ同様、切37.5継ぎが可能です。 ケーブルクランプクシ歯形 取扱説明書はコチクララン▶プレールのでご注意ください。 （クシ歯数：nz／片側） 本リーフレットに記載の「ケーブルベヤ」「ケーブルベア」「CABLEVEYOR」含むロゴマークおよび商品名は 3. W=50、75、100、125、150の場合のみ。 固定端ブラケット FU 固定端ブラケット FUCL 注）3 固定端ブラケット FUCR 株式会社椿本チエインまたはグループ会社の日本および他の国における商標または登録商標です。 （ケーブルクランプクシ歯形1個付） （クランプレール1個付） 52 66 MIN 6.4 H’=2R+72 （9mm毎） 52 52 66 6.7 52 6.7 66 MIN 6.4 66 H’=2R+72 MIN 6.4 （9mm毎） 52 H’=2R+72 （9mm毎） 52 66 6.7 6.7 66 6.7 6.7 2.6 2.6 2.6 8 8 52 8 8 52 6 6 6 6 52 66 52 66 15 15 W W15 15 MIN MIN 36 30 36 30 9 9 7 7 a a7 66 7 （9mm毎） 8 8 52 66 (W+16) 6 66 b 6 （9mm毎）(W+16) 66 52 66 15 W (W+1350) b MIN 36 30 9 7 a 7 (W+30) 66 （9mm毎） (W+16) 66 MIN b 5 (W+30) d （9mm毎） MIN 5 6 d 6 MIN （9mm毎） 6 6 5 30 36 15 W 15 d （9mm毎） 6 6 66 7 a 7 4 6 (W+16) 12.5 8 設置高さH’ 6 6 6 c b 30 36 15 W 15 (Wー17) 6 6 (W+30) 30 36 15 6W6 15 7 a 7 4 52 66 7 a 7 (W+16) 12.5 8 設置高さH’ 4 66 12.5 8 c 設置高さH’ (W+16) b c (Wー17) b (W+30) (Wー17) (W+30) 52 52 66 22 22 22 22 22 22 8 812.5 8 66 c MIN 9 (Wー17) （9mm毎） 52 66 52 66 22 22 22 22 22 2222 22 22 22 22 22 8 8 8 812.5 8 12.5 8 c c MIN 9 MIN (Wー17) 9 (Wー17) （9mm毎） （9mm毎） 52 52 66 66 W62 W87 W12 5 0 W20 WW5500 W75 W10 0 W15 0

（旧T：TKKRR02820）8H52-EX 〔特許登録〕 クリ&ーン 構造 ＭＡＸ４６ ▶クリーンルＭＡーＸ４６ム断の面寸長法ストローＭＡクＸ４６搬送 ※ア長ームのス向きトを変ロ更すーることクで 基本仕様 能力線図 　アームの開く方向を変更できます。 F フリースパン長さ m 剛性材と柔軟材との一体成形で高剛性と柔軟性 最大移動速度 m/min 4 300注1 0 1 4 1.35 2 2.5 3 たわみ部も一体構造 12 S 移動端プラブラケット 最大移動速度 m/min 300 注）1 3 F フリースパン長さ ｍ 3 F フリースパン長さ ｍ 2.9 F フリースパン長さ ＋πR ＋2K エンドアダプをタ付両立。さらに独自の構造により長ストローク 使用温度範囲　℃ MAX47※ - 40～80 10 ケ 8 リンク数 ＝ 2 ｍ 2.7 2.85 1.2 0 1 2 3 2 2.2 2.4 2.6 2.8 3.0 2 2.3 2.5 2.8 3.0 アーム 6 横仕切板 最大加速度 G 本体2 2 ー P 12 ブ 2 2 2 2.0kg/m 10 8 1.3kg/m 長ストローク かつ低縦騒仕音切板を実現。 剛性材 柔軟材 ル 4 W=50 （STBSあるいはSTBL）W=75 W=100 プラブラケット エンプラ 6 注）固定端がストロークの中央の場合 ・ 3 1.3 使用温度範囲 ℃ − 40 ～ 80 1.1kg/m 1 ケ 1.1 （旧：TKR0280） 80 105 130 （黒色ー） 4 ホ 2 1 0.9 0.9kg/m 小数点以下は、わずかでも0.切7kg上/mげて整数とします。 TKR28H52W50 TKR28H52W75 TKR28H52W100 本体 材質 縦仕切板 ブ 3 ー 2 0.6kg/m 0.7 ル ス ブラケット エンプラ ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ DS（A黒タイ色プ用）（ＨS） ・ アルミニウム 質 1 0.6 チ 1 量 K 移動 ュ 0ス.ト4ロークS 0.4kg/m 横仕切板 縦仕切板 横仕切板 フリースパンF ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ ※アームの向きを変更することで DSBタイプ用（ＥＨＳ） エンプラ+ア ールミニウム kg/m 材質 ブ 0.3kg/m DSA タイプ用 R 縦仕切板 W ※ W　＝アー5ム0の開く場方向合をは変更できます。 （HS） アルミニウム （0黒.3色） 質 0.3 0.3 0.3 0.3 F S： 移動ストローク mm 量0.3 0フリース 1パン長 さ2 m 3 4 5 6 ※1 R： 屈曲半径 mm （STASあるいはSTAL） W+30 MAX45 横仕切板 最大移動速度 m/min 300注1 kg/m 0 1 1.35 2 2.5 3 ※2 移動端 DSB タイ定プ尺用長さエ　ンリプンラク+ アルミニウム 100 0 2 4 6 8 10 12 * 固定端 P： ピッチ＝28mm 12 S W S 移動ストローク　ｍ ＋πR ＋S2K K： 余裕長さ＝56mm以上 ＝ 50、62、75、87、100、125、150、200 使（用EH温S注）度1範）支囲持　（ ロ ℃黒ーラ色設）置の場合- 14500～m/8m0 10 in 0.1ケ 8 リンク リンク数 ＝ 2 注2）最大 0 1 2 3 4 5 6 ※1 本加体速度についてはお問合せください。 ー 6 *印の寸法は余裕長さを見込んでいます。 余裕長さK P 2 ロックステイ 定尺長さ リンク 100 0.1 2.2 ブ W=125 W=150 A−AW矢=2視00 注3）酸性・アルカリ性雰囲気では使用できません。 ル 4 固定端プラブラケッWト=50 W=75 W=100 注4）ケ ーブルベヤ質量については ※1：支持ローラなしの時 注）固定端がストロー※ク支の持ロ中ー央ラ設の置場の合・ 3 場合の余裕長さKは84mm以上に設定ください。 155 180 230 （旧：TKR0280） 80 105 130 注） 1. 支持ローラ設置の　場プ　『合ラ商1ブ品5ラ0コmケット エンプラ 0 0 12 4 6 8 10 12 0.1 0.1 * 4.4 2 30※.1 02 4 1 4.2 4.6 52 5.6 5. 9 43※1 3.8 4.4 4.8 5 5.2 5.5 5.94※1 ー/ドm・in形。番一覧（』黒を色ご参）照 く だ0さい。ホ 22 S 移動ストロ ー4※ク2ｍ：支持ロ ー 6ラ 設 0置の時 2 小数 点4 以下5.4は、わ 　 6ず支持かロでーもラの切設上置げ間て隔は整9数00とmmし以ま下すにし。てください。 大口径化する ロボット／スライダの TKR28H52W125 TKR28H52W150 5.4 TKR28H52W50 TKR28H52W75 TKR28H52TWK1R0208H52W200 2. 酸性・アルカ材リ質性雰囲縦気仕で切は板ご使用できません。 ＊*印ースの寸法は余裕長さを見込んで * S 移動ストロークｍ 仕切寸法 Ａ-A 3. 低湿度環境下でご使用の ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ DSA場タイ合プに用（ＨはS）、 アルミニウム 　い質ます 1。 S 移動ストロークｍ 8 8.4K 9.2 10移動1ス0ト.8ロー1ク1.8S8※2 7.6 8.8 9.6 10.4 11 11.88※2 ウエハ 長ストローク搬送 ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ ※アームの向きを変更することで 　特形対応としてド横ラ仕切イ板環境仕様がございます 量 ※kg1/：m支持ロー フリースパンF ▶クリーンなモノづくり 例ラな）しTのK時R28H52W5S 0移R動7ス5ト　ロ2ー0クリｍンク×11１.2組、縦S仕 移切動板ス２トリローンククｍ毎に10１.8個の場合 低発塵 　のでご相談ください。 DSBタイプ用（ＥＨＳ） エンプラ+アルミニウム　アームの開く方向を変更できます。 F フリースパン長さ m ※2：支持ローラ設置の時 R S： 移動ストローク mm ※1 ① 縦仕切板のみ使用 ② 全体を上下多段に仕切る方式（DSAタイプ） ③ 一部を上下多段に仕切る方式（DSBタイプ） 最大移動速度 m/min 300注1 0 （黒 色1 ） 0.3 1.35 商 品 2コー 2ド.5 3 0 形 式 1 内2高さ 3内幅 4屈曲半 径 5 6 12 S 0 2 4 6 8 10 12 数量 単位 移注動）端１. 仕切R板： 、屈ケ曲ー半ブ径ル mクmランプクシ歯形、クランプレールは部品 定尺長さ　リンク 100 * ＋πR ＋※2 K 使用温度範囲　℃ -40～80 10 P： ピッチ＝28mm 縦仕切板 縦仕切板 横仕切板 縦仕切板 ケ 8 リンク数 ＝ 2 固定端 S 移動ストローク にて納入いたします。 本 体 　ｍ S （STASあるいはSTAL） 本体 ー 6 E190075 TKR28 H52 W50 R75 P 20 【L（リンク）】 K： 余裕長さ＝56mm以上 （STBS） （EHS△△） （STBSあるいはSTBL） 注1）支持ローラ設置ブの場合 150m/min ２. ブラケットは組込んで納入いたします。 大型化する液晶 縦仕切板 屈曲部は柔軟性のあるたわみ構造とし、リンク構造のようなピンと穴の摺動摩耗が 6 D C 形番 注2）最大固加定速度端にブつルいラて 4 *印の寸法は余裕長さを見込んでいます。 余裕長さK 2 W=50 W=75 W=100 プラブラケット エンプラ ・ 3ケはおッ問ト合せくださいE。195113 TK注R）固2定8 端Hが5ス2ト Wロー5ク0 の- F中U央CのL場合 1 【K（個）】 ３. 縦仕切板の必要数量について（通常2リンク毎に取付け） C W=125 なく低発塵。 W=150 W=200 注3）酸性・アルカリ性雰囲気では使用できません。 B 注4）ケ ーブ移ルベ動ヤ端質ブ量にラつケいてッは 縦仕切板を取付けるリンク数N＝ B （STASあるいはSTAL） C 横仕切板 80 B 105 130 （黒色） ホ 2 小数点以下は、わずかでも切上げて整数とします※。支持ローラ設置の場合の余裕長さKは84mm以上に設定ください。 TKR28H52W50 TKR28（HH52SW○7○5）『○○＝W』 ト TKR28H52W100 材質 縦仕切板 ー E195112 T※K1：R支2持8ロ ーHラ5な2し Wの時155 180 230 　　『商品コード・ス形番一覧』をご参照ください。 ※2：支持ローラ設置の時50 - MUCL 1 【K（　個支）持】ローラの設置間隔は900mm以下にし　（てく総だリさンい。ク数+1）÷2　N:整数（小数点以下切り捨て） TKR28H52W125 ■発塵特性TK比R2較8H52W150 TKR28H52W200 縦 仕質 1 ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ ＭＡＸ４６ DSAタイプ用（ＨS） アルミニウム 量 切 板 ※ E198015 TKK R28 移H動5スト2ロ -ー SクS TKR28H52W ① R ② EX + ③ LTA -S ④ 1-0 【⑤K（個 ） 】■ 本体 縦仕切板必要数量＝ Ａ-A 横仕切板 フリースパンF 6 DSBタイプ用（ＥＨＳ） エンプラ+アルミニウム kg/m 編 成 （20L + FR （黒色） 0.3 UCL + MUCL）× 1 　N×n　n:リンク1ヵ所あたりに取付ける縦仕切板数量 2.4 1 当社テスト条件 S： 組 移動ストローク mm 形番 内幅W 屈曲半径R 質量kg/m 0 1 2 3 4 5 例 6）※12.4 ● 設置条件：標準設置（床面あり） その他のパーツ TKR28H52W50R7移5ケーブルクランプクシ歯形 TKR28 H52 W○○ - 動C端　L -2 U0 Rリ： 屈ン曲半ク径 ×mm 【K（１個組）、】○縦○仕=本切体板W寸２法リンク毎に１個の場合定尺長さ　リンク 100 0 2 4 6 8 10 12 ※2 * 固定端 P： ピッチ＝28mm TKR28H52W50R75EX DSA75タイプ S 移動ストローク　ｍ S K： 余裕長さ＝56mm以上 （W＝50,75,100.125,150） ① 縦仕切板のみ使用 ② 全体を上下多段に仕切る方式（DSAタイプ） ③ 一部を上下多● 段移に動仕速切度る：方12式（0mD/SmBタinイ プ） 注1）支持ローラ設置の場合 150m/min ①内幅 商品コー②ド屈曲半径 形式 ③内リ高さンク内幅数 屈曲半径 ④固数定量端 単位⑤移動端 T注KR2）１8H. 5仕2W切5板0R、1ケ00ーEブX ルクランプクシ歯形、クラ1ン0プ0レールは部品 注2）最大加速度についてはお問合せください。 *印の寸法は余裕長さを見込んでいます。 余裕長さK 2 半導体業界など、クリーンルームでの 縦仕切板 クランプレール TKR28 H52 W○○ - CRA 【K（個）】TKR28H52 50R150EX 50 150 2.1 ※縦仕切板は ○○=本体W寸法 縦仕切板 ● 加速横仕度切：板4m/s2 縦仕切板 にて納入いたします。 2個以上 W=125 W=150 W=200 注3）酸性・アルカリ性雰囲気では使用で本きません。 体50 注 E190075 75 TKR28 H52 W50 R75 FU 20 【L（リンMクU）】 TKR2 A P A A ※ 発 P （STASあるいAはSTAL） （STBSD）+9 （EHS△△） （STBSあるいはSTBL） 4）ケ ーブルベヤ質量については ※仕切板 ※1：支持ローラなしの時 ※支持ローラ設置の場合の余裕長さKは84mm以上に設定ください。 ２8H. ブ52ラWケ50ッRト2は00組EX込んで納入いたします。200 縦仕切板155 180 230 6 ●D ケーブ PルC・チューブ A 62 100 FUCL注）4 MUCL注）4 　必要です なし 　　『商品コード・形番一覧』をご参照く固だ定さい端。ブラケット ※2：支E持1ロ9ーラ5設1置1の3時 TKR28 H52 W　5支0持 ロ-ー FラUのC設置L間隔は9100mm【以下Kに（して個くだ）さ】い。 TKR2３8H. 5縦2W仕6切2R板75のEX必要数量について（通常2リン7ク5毎に取付け） W C TKR28H52W125 TKCR28H52W150 横仕切板 縦仕切板 横仕切板 TKR28H52W20W0 仕切方式 種類 形番 構成部品 単位 B （STASあるいはSTAL） 塵 W B 70%レス 『△△＝CあるいはD寸法』 75 150 FUCR MUCR TKR28H52W62R100EX 100 （HＡS○-A○）『○○＝W』 B 縦仕切板を取付けるリンク数N＝ 移動端ブラケット 縦仕切E板19ス5ラ11イ2ドタイプ　TSKTRA2S8 HT5K2R 2W85H05 -2 -MSUTCASL 1 【K（個）】縦 仕 切 板 1個TKR28K（H5　個2（W）62R150EX 62 150W 2.2 総リンク数+1）÷2　N:整数（小数点以下切り捨て） 長ストローク搬送に最適 87 200 縦仕切板（固定方法）内幅W mm A mm B mm P mm 量C mm D mm 補足 ※発塵量突は起1立方フィート中の0.1µm以上突の起粒子個数 縦 仕 切 例板）TK※R28H52W 0R75　20リンク×１組、縦仕切板２リンク毎に１個の場合 縦仕切板必要数量＝ 0.3 DSAタイプ ロックタイプ　 STAL TKR28H52-STAL 縦 仕 切 板 1個TKR28K（H5個2W）62R200EX DS2B00タイプ STAS（スライド取付） 全W共通 4　~65 2.8~63.8 8　~130 5.6~127.6 A : 縦仕切板の中心とリンク端面の距離 を計測し他社製を1としたときの比率を表す 100 E198015 TKR28 H52 - STAS 10 【K（個）】 注）1. 仕切板、ケーブルクランプクシ歯形、クランプレールは部品にて納入します。 TKR28H5 ① 縦仕切板のみ使用 ② 全体を上下多段に仕切る方B式 （: 縦D仕S切Aタ板イとリプン）クのスキマ③ 一部を上下多段に仕切る方式（DSB6タイプ） 商品編コード 形式成 内高さ 内幅 屈 曲横半径仕2. 切ブ板 TKR28H52-HS（W寸法） W1 2.4 ラ数ケ量ッ（トは20組単L込 位ん+ でF納U入CしWLま＝ +す5 。0M・7U注5・C）１1L. 00）仕・×切板12 1 　2WN×75nR　75nE:リXンク1ヵ所あたりに取付ける7縦5仕切板数量 50 6　~38 4.8~36.8 8~ 40 5.6~ 37.6 、組ケーブルクランプクシ歯形、クランプレールは部品125 縦仕切板 5・150・200 横 仕 切 板 1個TKR28K（H5個2W）75R100EX 75 100 TKR28H52W75R150EX 150 2.3 ※縦仕切板は 62 8 ~48 6.8~46.8 8~ 48 5.6~ 45.6 2.4 P : 縦仕切板同士の中心間の距離 縦仕切板 横仕切板 縦仕切板 にて納入いたします。 本 体 （STASあるCい : は縦S仕TA切L） E19そ00の75他のパTKーR2ツ8 H52 W 75 6.5~62.5 5.3~61.3 8~ 64 5.6~ 61.6 板同士のスキマ 150 ケ5ー0ブ R スル7クラ5ライ3ン. ドプ縦クタ仕シイ切2歯0プ形板の　【T必LS（K要TリRB数ン2S量8クに H）つT】5Kい2Rて （2W8通○H常5○22リ- -ンS CクTL毎B S-に U取付け） （STBS） （EHS△△） （STBSあるいはSTBL） ２. ブラケットは組込【んでK（納入個いた）し】○○=本体W寸法 ま縦す。仕 切 板 1個 K（個） DSAタイプ （W＝50,75,100.125,150）TKR28H52W75R200EX 200 2個 87 4.5~64.5 ４ 縦仕切板 D : 縦仕切板をサイドに取付けた場合の6 D C 固定端ブラケット E195113 TKR28 H縦5仕2 W切5板0 - FUC L 縦仕切1板を【取K（付個け）る】リンク数N＝（総リン３ク. 数縦仕+1切）板÷の2　必N要:数整量数に（つ小い数て（点通以常下2リ切ン捨ク毎てに）取付け） C 3.3~63.3 ４8~ 80 ４5.6~ 77.6 ４ C 横仕切板 STA（L ロック取付） B mm （STASあmるmいはSTAL） mm mm B 200 クランプレール TKR28 H52 W○○ CRA 【K（個）】 ※縦仕切板は 縦仕切板を取付けるリンク数N＝ B 縦仕切板同士のスキマ DSBタイプ ロックタイプ　 STBL TKR28H52--STBL ○縦○=仕本体切W寸板法 1個 K（個） 　必要です （HS○○）『○○＝W』 移動端ブラケット E195112 TKR28 H52 W50 - MUC L 縦仕切板必要数量＝N×n　n:リンク1 ヵ所あたりに取付け 縦仕切板数量 TKR28H52W87R75EX 75 100 7 ~63 毎5.8~61.8 毎8~ 88 毎5.6~ 85.6 仕 切2個板以上 縦仕切板 A P A A 毎 PTKR-EX A 他社低発塵タイプ D+9 P 丸穴1ヶ所A ※仕切板 エンドア ダプ4タ. W付=横621仕、8切7 【、板2 K（00個用は）】固定T端KFRU2C8LH、5移2動--端EMHUS　C（（L総をWリごン1ク使寸数用法+1で））÷き2ま　せN:ん整数。（小横数点仕以下切切り板捨て1）個TKR28H52W87R100EX 横 100 TKR28H52W87R150EX 87 　必1要5で0す 2.4 125 7.5~63.5 6.3~62.3 8~112 5.6~109.6 注）ケーブル・ホースと仕切板あるいは 縦 仕■切 仕板 ※ 切 板E198015 TKR28 H52 - STAS 10 【K（個）】 W1＝「仕切寸法縦仕」の切板C必あ要る数い量は＝仕切方式 種類 形番 D寸法 　 エンドアダプタ2個 K（個） W 150 8 ~64 W 6.8~62.8 8~124 5.6~121.6 W 　　リンクとのスキマ（右図d）は2mm以上 N×n　n:リンク1構ヵ所成あ部たり品に取付ける単縦仕位切板数量 縦仕切板 横仕切板 丸穴1ヶ所 6 W 丸穴2ヶ所 『△△＝CあるいはD寸法』 2.4 丸穴2ヶ所 編 成 （20L + FUCL + MUCL）× 1組 TKR28H52W87R200EX 200 200 5 ~65 3.8~62.3 8~124 5.6~121.6 2.4 　　またはケーブル・ホース外径×0.1倍の STAS STAL STBS STBL TKR28H52W100R75EX 75 STBS（スライド取付） 全W共通 min4 min1 26~（W-6） 20~（W-12） 20~（W-12） 　　大きい方補とし足てください。 （スライド取付）（ロック突取起付） （スライド取付）（ロ突ッ起ク取付） その他のパーツ ケーブルクランプクシ歯形 T縦K仕R切28板 スライドタイプ　STAS TKR28H52-STAS 縦 仕 切 板 1個 K（個） W 仕切方式 種類 H52 W○○形 -番 CL - U 【K（個）構】○成○=部本体品W寸法 単位 DSAタイプ （W＝50,75,100.125,150） TKR28H52W100R100EX 100 50 min6 min3 − − 20 ~ 36 クランプDSレAータルイプ ロックタイプ　 STAL TKR28H52-STAL 縦 仕 切 板 1個 K（個） DSBタイプ A : 縦仕切板の中心とリンク端面の距離 縦仕切板 縦仕切板 W1 B : 縦仕切板とリンクのスキマ 横仕切板 TKR28H52-HS（W寸法） DSA 縦仕切板 スライド取付TKTRK2R82 H8H525 2WE○X-S○TA - SCRA 【K（個縦）仕】切板１個 K（個） ※縦仕切板は ○○=本体W寸法 TKR28H52W100R150EX 100 150 2.5 62 min8 min5 − − 22 ~ 46 2個以上 A P A A P A D+9 P A ※仕切板 ロック取付 TKR28H52EX-STAL W＝縦5仕0・切7板5・１1個00・125・K（15個0・）200 横 仕 切 板 1個 K（個） 　必要です TKR28H52W100R200EX 200 75 min6.5 min ※縦仕切板は 3.5 28~ 40 ▶22~ 3長4 持20.5~ 6ち0.5 でメP : 縦ン仕切板同テ士の中心 TKR28H52W125R75EX 75 87 min4.5 ４ min1.5 ４ STBL 28~ 52 ４22~ 46 ４22.5~ 74.5 ４ ナ間の距離C : 縦仕切板同士のスキマ D : 縦仕切板をサイドに取付けた場ン合の スが容易 長寿命 タイプ スライドタイプ　STBS TKR28H52--STBS 縦 仕 切 板 1個 K（個） 2個 横仕切板 縦仕TK切R板28H52EX-HS（W 寸法） 縦仕切板 横仕切板 W W W 『△△＝CあるいはD寸法』 仕切方式 種類 形番 構成部品 単位 補足 突起 突起 縦仕切板 スライドタイプ　STAS TKR28H52-STAS 縦 仕 切 板 1個 K（ ） W （ロック取付） mm mm mm mm mm TKR28H52W125R100EX 100 100 min7 min 毎 4 毎28~ 64 毎22~ 58 毎21 ~ 85 DSBタイプ 　 W＝5ロ0・ッ6ク2・タ7イ5・プ87　・1 0 0S・T12B5L・150T・K20R028横H仕5切2板--S１T個BL K（個） 縦 仕 切 板 1個 K（個） 　必要です 縦仕切板同士のスキマ 横仕切板 エンドアダプタ付横仕切板 d DSAタイプ ロックタイプ　 STAL TKR28H52-STAL 縦 仕 切 板 1個 K（個） DSBタイプ TKR28H52W125R150EX 125 150 2.7 毎 125 min7.5 min4.5 28~ 88 22~ 82 21.5~109.5 A : 縦仕切板の中心とリンク端面の距離 （HS○○） 丸穴1ヶ所 （EHS△△） 注）ケーブル・ホースと仕切板あるいは 縦仕切板 スライド取付 TKR28H52EX-STBS 縦仕切板１個 K（個） B : 縦仕切板とリンクのスキマ 横仕切板 TKR28H52-HS（W寸法） TKR28H52--EHS（W1寸法） 仕切板 縦仕切板 エンドアダプタ付横仕切板 横W1仕 切 板 1個 横 新形状の柔軟材は、直線　部　リでンクとものス屈キマ（曲右図部d）はで2mmも以上た丸わ穴1みヶ所変形が少なく丸高穴2ヶ耐所久。また、剛性材丸穴2が DSB W＝50・75・100・125・150・200 横 仕 切W板1＝「1個仕切K（寸個法）」のCあるいはD寸法 エンドアダプタ2個 K（個） TKR28H52W125R200EX W 200 150 min8 min5 28~112 22~106 22 ~134 ※縦仕切板は TKR28H52W150R75EX 75 200 min5 min2 28~164 22~158 23 ~187 P : 縦仕切板同士の中心間の距離 ロック取付 TKR28H52EX-STBL 縦仕切板１個 K（個） ヶ所 C : 縦仕切板同士のスキマ 、 　　またはケーブル・ホース外径×0.1倍の STAS STAL STBS STBL タイプ スライドタイプ　STBS TKR28H52--STBS 縦 仕 切 板 1個 K（個） 2個 寿命の要因となるフリD ー: 縦仕　ス切　板大をパきサいイド方ンにと取し部付てけくただの場さ合いの 縦仕切板 た。 わみ量の進（行スライをド取抑付）（制ロッしク取て付）長寿命（スラ化イド。取付交）（換ロッのク取付負） DSBタイプ エンロドッアクタダイププタ　付 S横TB仕L切板TKRT2K8HR2528--HS5T2BLEX-EHS△△ 縦 仕 切 板横仕1個切板１K（個個） 　必要です TKR28H52W150R100EX 100 注）A、B、P、C それぞれの最大値は横仕切板がある場合に適用します。 △△＝「仕切寸法」のCあるいはD寸法 エンドアダプタ２個 K（個） TKR28H52W150R150EX 150 150 2.9 縦仕切板同士のスキマ 仕切板 縦仕切板 縦丸仕穴1切ヶ所板 注）縦3 仕切板 担を MU 移動端ブラケットMUCL 移動端ブラケット MUCR エンドアダプタ付横仕切板 TKR28H52--EHS（W1寸法） 横 仕 切 板 1個 横 注）ケーブル・ホースと仕切板あるいは W1＝「仕切寸法」のCあるいはD寸法 軽減します。 エンドアダプタ2個 K（個） W TKR28H52W150R200EX 200 　　リンクとのスキマ（右図d）は2mm以上 TKR28H52W200R75EX 75 移動端ブラケ丸穴ッ1トヶ所 丸穴（2ヶケ所ーブルクランプクシ歯形丸1個穴2付ヶ所）（クランプレール1個付） 　　またはケーブル・ホース外径×0.1倍の STAS STAL STBS STBL 　　大きい方としてください。 （スライド取付）（ロック取付） （スライド取付）（ロック取付） ■ 縦仕切板 ■ 横仕切板 TKR28H52W200R100EX 100 リンク数の計算 寸法図■・寿ブ命ラ比ケ較ット寸法 37.5 ケーブルクランプクシ歯形 クランプレール 形番 適用ケーブルベヤ本体 質量 TKR28H52W200R150EX 200 150 3.4 22.5 15縦仕切板 横仕切板 縦仕切板 エンドアダプタ付横仕切板 d （クシ歯数：nz／片側） 形番 適用ケーブルベヤ本体 質量 g/個 g/個 大口径ウエハ搬送ロボット 洗浄装置 （HS○○） （EHS△△） TKR28H52W200R200EX 200 TKR28H52EX-STAS 4 TKR28H52EX-HS50 TKR28H52W50R**EX 3 ※ 4-φ7 TKR28H52EX-STAL 4 TKR28H52EX-HS62 TKR28H52W62R**EX 4 た1 他社 横仕切板 エンドアダプタ付横仕切板 d （HS○○） （ TKR28H52W W a b c ケーブルクランプクシ歯形 屈曲半径 R 設置高さ H' EHS△△） TKR28H52EX-STBS **R**EX 7 TKR28H52EX-HS75 TKR28H52W75R**EX 5 ■ ブラケット（クランプレール1個付） S 2 +πR +2K mm mm mm mm nz（クシ歯形低）発塵タイプ 1 TKR-EX 2.5倍 たわみ変形が少ない わ mm mm MU 移動端ブラケットMUCL 注）3移動端ブラケット MUCR TKR28H52EX-STBL 7 TKR28H52EX-HS87 TKR28H52W87R**EX 6 形番 適用ケーブルベヤ本体 質量 g/個 リンク数= 50 66 80 33 3 75 252~272 移動端ブラケット （ケーブルクランプクシ歯形1個付）（クランプレール1個付） TKR28H52EX-HS100 TKR28H52W100R 62 78 92 − み 直線時 屈曲時 **EX 7 　　　 P TKR28H52EX-HS125 TKR28H52W125R TKR28H52W50EX-MUCR ■ エンドアダプタ付横仕切板 **EX 9 TKR28H52W50R**EX 110 − 100 302~322 MU 移動端ブラケットMUCL 注）3移動端ブラケット MUCR 移動端ブラケット 37.5 ケーブルクランプクシ歯形 クランプレール 量 全長=28×リンク数 （ケーブルクランプクシ歯形1個付）（クランプレール1個付） TKR28H52EX-HS150 TKR28H52W150R**EX 11 TKR28H52W50EX-FUCR 116 注）固 定端がストロークの中央の場合 75 91 105 58 5 150 402~422 6202.5 6 15 （クシ歯数：nz／片側） TKR28H52EX-HS200 TKR28H52W200R TKR28H52W62EX-MUCR TKR28H52W62R**EX 119 形番 **EX 15 TKR28H52W62EX-FUCR 125 小数点以下は、わずかでも切上 87 103 117 − の − 2A 4-φ7 00 502~522 37.5 ケーブルクランプクシ歯形 クランプレール 22.5 15 （クシ歯数：nz／片側） 4-φ7 100 116 130 83 7 げて整数とします。 4-φ7 125 141 155 108 進 TKR28H52EX-EHS △△ ■ ブラケット（ケーブルクランプクシ歯形1個付） TKR28H52W75EX-MUCR TKR28H52W75R**EX 128 行 9 TKR28H52W75EX-FUCR 134 150 166 180 133 11 △△：20～188 未満 ※最小0.5mm毎 形番 適用ケーブルベヤ本体 質量 g/個 TKR28H52W87EX-MUCR TKR28H52W87R**EX 137 TKR28H52W87EX-FUCR 143 K 移動ストロークS 200 216 230 − 度 − 往復回数※2 7 28 28 a 7 TKR28H52W50EX-MUCL フリースパンF R ■ ブラケット TKR28H52W50R**EX 92 TKR28H52W100EX-MUCR TKR28H52W50EX-FUCL 98 TKR28H52W100R**EX 147 A 全長=全28長×リ=ン2ク8×数リンク数ピッチ 移動端 (W+16) 60 60 6 6 TKR28H52W100EX-FUCR 153 A A 4-φ7 4-φ7 当社テスト条件R =75・100・150・200 注） 設置高さH’寸法 TKR28H52W75EX-MUCL 形番 適用ケーブルベヤ本体 質量 g/個 TKR28H52W75R**EX 101 TKR28H52W125EX-MUCR R 移動端 TKR28H52W75EX-FUCL 107 TKR28H52W125R**EX 166 ● 固定端 4-φ7 　　にて設計、設置 TKR28H52W125EX-FUCR 172 お困りごと お困りごと 固定端 移動ストローク：5.78m（フリースパン長さ：2.95m） TKR28H52W50EX-MU TKR28H52W100EX-MUCL TKR28H52W50R**EX 83 TKR28H52W100R**EX 111 TKR28H52W150EX-MUCR ● ケーブル・チューブ質量：0.3kg/m 7 　　ください。 TKR28H52W50EX-FU 89 TKR28H52W100EX-FUCL 117 TKR28H52W150R**EX 184 S TKR28H52W150EX-FUCR 190 余裕長さK 2 28 28 a 7 R ● 移動速度：300m/min A ピッチ 移動端 (W+16) 7 28 28 a 7 TKR28H52W62EX-MU TKR28H52W125EX-MUCL TKR28H52W62R**EX 85 TKR28H52W125R**EX 122 TKR28H52W200EX-MUCR R R =75・100・150・2A00 ピッチ 移動端 注(W）+1 設6)置高さH’寸法 TKR28H52W62EX-FU 91 TKR28H52W125EX-FUCL 128 TKR28H52W200R**EX 222 TKR28H52W200EX-FUCR 228 ウエハの大口径化に伴い、搬送ロボットの 全自動洗浄装置において、歩留まり改善のため TKR28H52W75EX-MU TKR28H52W150EX-MUCL S：移動ストローク mm ● 加速度：2G R =75・10固0・定15端0・200 6 4-φ7 　　にて設計、設置注） 設置高さH’寸法 80 7 a 7 TKR28H52W75R**EX 88 TKR28H52W150R**EX 131 TKR28H52W75EX-FU 94 TKR28H52W150EX-FUCL 137 R：屈曲半径 mm 固定端 (W　+　14く6-φ)だ7さい。 　　にて設計、設置 ストロークも長くなる 搬送距離が長くなる ※1たわみ量はフリースパン長さが最も長い状態で測定 TKR28H52W87EX-MU ■ クランプレール（スチール製） P：ピッチ＝ 28mm ※2往復回数は、他社製を1としたときの比率を表す 　　ください。 TKR28H52W87R**EX 90 TKR28H52W87EX-FU 96 ■ ケーブルクランプクシ歯形（プラスチック製） 形番 適用ブラケット 質量 g/個 K：余裕長さ＝ 56mm 以上 6 80 4-φ7 7 a 7 TKR28H52W100EX-MU TKR28H52W100R**EX 94 形番 適用ブラケット 質量 TKR28H52W50EX-CRA TKR28H52W50EX-MU/FU 27 (W+16) TKR28H52W100EX-FU 100 g/個 TKR28H52W50EX-CL-U TKR28H52W50EX-MU/FU 9 TKR28H52W62EX-CRA TKR28H52W62EX-MU/FU 34 6 ▶解決提案 ▶解決提案 48-φ07 7 a 7 TKR28H52W125EX-MU TKR28H52W125R**EX 101 TKR28H52W75EX-CRA TKR28H52W75EX-MU/FU 40 (W+16) TKR28H52W125EX-FU 107 TKR28H52W75EX-CL-U TKR28H52W75EX-MU/FU 13 ※支持ローラ設置の場合の余裕長さ TKR28H52W100EX-CL-U TKR28H52W100EX-MU/FU 17 TKR28H52W87EX-CRA TKR28H52W87EX-MU/FU 47 TKR28H52W150EX-MU Kは84mm以 上 に 設 定 く だ さ い。 注）1. ケ ーブルクランプクシ歯形および TKR28H52W150R**EX 106 TKR28H52W100EX-CRA TKR28H52W100EX-MU/FU 53 ロボットの長距離移動でも、最大移動ストローク ウエハ洗浄の長い工程間搬送でも1本のTKR-EXで ▶取付け後22.5も長15 4-φ TKR28H52W150EX-FU 112 TKR28H52W125EX-CL-U TKR28H52W125EX-MU/FU 21 7 TKR28H52W150EX-CL-U TKR28H52W150EX-MU/FU 25 TKR28H52W125EX-CRA TKR28H52W125EX-MU/FU 65 支持ローラの設置間隔は900mm以下 クランプレールは内周側・外周側 37.5 さ調整が可ケーブ能ルクランプクシ切歯形継可能クランプレール 22.5 15 どちらでも取付けできます。 37.5 ケーブルクラン（プククシシ歯歯形数：nz／片側） TKR28H52W200EX-MU にしてください。 クランプレール TKR28H52W200R 5.94mでクリーンかつ長寿命にケーブルを保護。 ケーブルを保護。 （クシ歯数：nz／片側） **EX 118 TKR28H52W150EX-CRA TKR28H52W150EX-MU/FU 78 TKR28H52W200EX-FU 124 注） W62、87、200用はありません。 TKR28H52W200EX-CRA TKR28H52W200EX-MU/FU 104 2. ブ ラケットMU、FUにはケーブル 注）3 クランプクシ歯形リおンよクびがクラ独ン立プした 固ス定端固ナブ定端ッラケブラプットケッフトィFッFUUト構造固の定た固端ブラめ定端ケッ、ブラケット FUCL 固定端ブラケット FUCR ト FUCL 注）3 固定端ブラケット FUCR （ケーブルクランプクシ歯形1個付） （クランプレール1個付） 歩留まり改善・交換工数削減に貢献。 22.5 15 （ケーブルクランプクシ歯形1個付） （切クラ継ンプぎレー方ル法1個付を）掲載した レールの追加取従付け来はのできプまラせんシリーズ同様、切37.5継ぎが可能です。 ケーブルクランプクシ歯形 取扱説明書はコチクララン▶プレールのでご注意ください。 （クシ歯数：nz／片側） 本リーフレットに記載の「ケーブルベヤ」「ケーブルベア」「CABLEVEYOR」含むロゴマークおよび商品名は 3. W=50、75、100、125、150の場合のみ。 固定端ブラケット FU 固定端ブラケット FUCL 注）3 固定端ブラケット FUCR 株式会社椿本チエインまたはグループ会社の日本および他の国における商標または登録商標です。 （ケーブルクランプクシ歯形1個付） （クランプレール1個付） 52 66 MIN 6.4 H’=2R+72 （9mm毎） 52 52 66 6.7 52 6.7 66 MIN 6.4 66 H’=2R+72 MIN 6.4 （9mm毎） 52 H’=2R+72 （9mm毎） 52 66 6.7 6.7 66 6.7 6.7 2.6 2.6 2.6 8 8 52 8 8 52 6 6 6 6 52 66 52 66 15 15 W W15 15 MIN MIN 36 30 36 30 9 9 7 7 a a7 66 7 （9mm毎） 8 8 52 66 (W+16) 6 66 b 6 （9mm毎）(W+16) 66 52 66 15 W (W+1350) b MIN 36 30 9 7 a 7 (W+30) 66 （9mm毎） (W+16) 66 MIN b 5 (W+30) d （9mm毎） MIN 5 6 d 6 MIN （9mm毎） 6 6 5 30 36 15 W 15 d （9mm毎） 6 6 66 7 a 7 4 6 (W+16) 12.5 8 設置高さH’ 6 6 6 c b 30 36 15 W 15 (Wー17) 6 6 (W+30) 30 36 15 6W6 15 7 a 7 4 52 66 7 a 7 (W+16) 12.5 8 設置高さH’ 4 66 12.5 8 c 設置高さH’ (W+16) b c (Wー17) b (W+30) (Wー17) (W+30) 52 52 66 22 22 22 22 22 22 8 812.5 8 66 c MIN 9 (Wー17) （9mm毎） 52 66 52 66 22 22 22 22 22 2222 22 22 22 22 22 8 8 8 812.5 8 12.5 8 c c MIN 9 MIN (Wー17) 9 (Wー17) （9mm毎） （9mm毎） 52 52 66 66 W62 W87 W12 5 0 W20 WW5500 W75 W10 0 W15 0

クリ&ーン ▶クリーンルームの長ストローク搬送 長ストローク 剛性材と柔軟材との一体成形で高剛性と柔軟性 たわみ部も一体構造 を両立。さらに独自の構造により長ストローク かつ低騒音を実現。 剛性材 柔軟材 長ストローク ケーフルベヤ® TKR28H52-EX 大口径化する ロボット／スライダの ケーブル・ホース支持・案内装置 ウエハ 長ストローク搬送 ▶クリーンなモノづくり 低発塵 カタログに関するお問い合わせは、お客様問い合わせ窓口をご利用ください。 大型化する液晶 屈曲部は柔軟性のあるたわみ構造とし、リンク構造のようなピンと穴の摺動摩耗が TEL（0120）251-664 なく低発塵。 ■発塵特性比較 ストローク 1 当社テスト条件 ● 設置条件：標準設置（床面あり） ● 移動速度：120m/min 東 京 支 社 〒108-0075東京都港区港南2-16-2（太陽生命品川ビル） TEL（03）6703-8405 FAX（03）6703-8411 5.94m 半導体業界など、クリーンルームでの ● 加速度：4m/s2 ※ 発 ● ケーブル・チューブなし 塵 70%レス 長ストローク搬送に最適 量 ※発塵量は1立方フィート中の0.1µm以上の粒子個数 大宮営業所 〒330-0846さいたま市大宮区大門町3-42-5（太陽生命大宮ビル） TEL（048）648-1700 FAX（048）648-2020 0.3 を計測し他社製を1としたときの比率を表す 名古屋支社 〒450-0003名古屋市中村区名駅南1-21-19（名駅サウスサイドスクエア） TEL（052）571-8187 FAX（052）571-0915 TKR-EX 他社低発塵タイプ 大 阪 支 社 〒530-0005大阪市北区中之島3-3-3（中之島三井ビルディング） TEL（06）6441-0309 FAX（06）6441-0314 ▶長持ちでメンテナンスが容易 長寿命 広島営業所 〒732-0052広島市東区光町1-12-20（もみじ広島光町ビル） TEL（082）568-0808 FAX（082）568-0814 新形状の柔軟材は、直線部でも屈曲部でもたわみ変形が少なく高耐久。また、剛性材が、 寿命の要因となるフリースパン部のたわみ量の進行を抑制して長寿命化。交換の負担を 九州営業所 〒812-0013福岡市博多区博多駅東3-12-24（博多駅東QRビル） TEL（092）451-8881 FAX（092）451-8882 軽減します。 ■寿命比較 大口径ウエハ搬送ロボット 洗浄装置 本 社 〒530-0005大阪市北区中之島3-3-3（中之島三井ビルディング） つばきホームページアドレス ※ た1 他社 低発塵タイプ 1 TKR-EX 2.5倍 たわみ変形が少ない 工 場 京田辺・埼玉・長岡京・兵庫・岡山 https://www.tsubakimoto.jp わ み 直線時 屈曲時 つばきエコリンクⓇは、つばきグループが設定した 量 エコ評価基準をクリアした商品に付加されるマークです。 の 進 行 度 往復回数※2 ■お願い このカタログに記載の仕様・寸法等は改良のため変更する場合がありますので、設計される前に念のためお問い合わせください。 当社テスト条件 Ⓒ本書に集録したものはすべて当社に著作権があります。無断の複製は固くお断りします。 ● お困りごと お困りごと 移動ストローク：5.78m（フリースパン長さ：2.95m） ● ケーブル・チューブ質量：0.3kg/m ● 移動速度：300m/min 販売店 ウエハの大口径化に伴い、搬送ロボットの 全自動洗浄装置において、歩留まり改善のため ● 加速度：2G 低発塵 長寿命 ストロークも長くなる 搬送距離が長くなる ※1たわみ量はフリースパン長さが最も長い状態で測定 ※2往復回数は、他社製を1としたときの比率を表す ▶解決提案 ▶解決提案 ロボットの長距離移動でも、最大移動ストローク ウエハ洗浄の長い工程間搬送でも1本のTKR-EXで ▶取付け後も長さ調整が可能 切継可能 5.94mでクリーンかつ長寿命にケーブルを保護。 ケーブルを保護。 このカタログはSI 単位｛重力単位｝で リンクが独立したスナップフィット構造のため、 記載しています。｛　　｝値は参考値です。 歩留まり改善・交換工数削減に貢献。 切継ぎ方法を掲載した 従来のプラシリーズ同様、切継ぎが可能です。 取扱説明書はコチラ▶ 価格は販売店が独自に定めていますので、 詳しくは各販売店にお尋ねください。 2024年10月1日発行　Ⓒ株式会社 椿本チエイン　Bulletin No.24160