粗さ測定器

4DTechnology干渉計 NanoCam sq 振動不感非接触3次元粗さ測定器 NanoCam sq 測定物の大きさや 環境・場所を選ばない 振動に強い３次元粗さ測定器！ 特徴 ・従来の据え置き型測定器と異なり、測定対象物の大きさ に制限が無いことが最大の特徴 ・独自の光学設計によって被測定物と安全な距離を保てる Working Distanceは業界最大(最長) ・また4DTechnology社の得意とする振動環境耐性を持ち、据え 置き型でも別途要求される除震台などを省略/簡略化出来る ・業界標準のソフトウェアMountain Viewとの完全互換可能 ・また他干渉計ソフトウェアや光学設計ソフトウェアとの 互換性も保持 ・可搬性を重視のため様々な姿勢や環境へ適応性が幅広い 用途 ・望遠鏡などの大型光学系の局所解析に(左写真) ・可搬型表面プロファイラとして、どこでも測定 ・研磨機への搭載で、即時フィードバック研磨に ・足を取り外してロボットアーム取付で、 大型光学系の端から中心まで幅広く測定可能 ・既存の加工機械、検査機械、測定ラインなどへの導入 ・小型光学系も、もちろん問題なく測定可能

表面解析ソフトMountainView互換 多様な対物レンズを用意 倍率 2.0X 5X 10X 20X NA 0.06 0.15 0.30 0.45 Working 9.5 23.5 17.3 4.5 Distance (mm) 分解能(um) 3.8 1.5 0.8 0.5 視野 (mm) 4.4 1.8 0.9 0.4 NanoCam sq仕様 概要 備考・補足 概要 非接触粗さ測定器 測定原理 瞬 時位相シフト干渉計測 Pix毎の位相シフトマスクに依る 光源 紫 外LED 460nm 測定許容反射率 1 -100% カメラ仕様 1 2ビット 1.4MPix可視カメラ PC要件 W indows 7 Pro以降 (32ビット機) CPU1.8GHz、メモリ2GB以上 ソフトウェア概要 測 定・制御用ソフトウェア『4Sight』 読込・書出し可能ファイル ― ISO 25178準拠 表面粗さ指示値 PV、Ra opd、map、dat、hdf、int、csv、txt 2Dプロファイル、3Dマップ表示 Mountain View互換機能内蔵 画像取得フレームレート 最大 14fps 最小露光時間 100usec以下 垂直方向最小ステップ 115nm RMS再現性 ＜0.005nm以下 RMS測定精度 ＜0.1nm 本体寸法 L 24 cm x W24cm x H8cm 脚と対物レンズを除く 本体重量 4.6kg以下 脚と対物レンズを除く 使用環境 20 +/-5℃、結露なきこと 保管環境 0～36℃、結露なきこと 株式会社アイ・アール・システム 〒206-0041 東京都多摩市愛宕4-6-20 電話 042-400-0373 FAX 042-400-0374 E-mail office@irsystem.com Homepage http://www.irsystem.com