ヒータ 総合カタログ

HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG ヒータ総合カタログ 相模原事業所 相模原第二工場 技術研究所 相模原事業所 相模原第二工場 技術研究所 甲府営業所 仙台事業所 九州営業所 本社 本 社 〒 141-0031 東京都品川区西五反田 7-18-2（ワッティー本社ビル） TEL.03-3779-1001　FAX.03-3495-2525 相模原事業所 〒 252-0331 神奈川県相模原市南区大野台 4-1-71（Sia 神奈川 内） TEL.042-704-5360　FAX.042-704-5354 相模原第二工場 〒 252-0331 神奈川県相模原市南区大野台 4-1-77（Sia 神奈川 内） TEL.042-704-5360　FAX.042-704-5354 技 術 研 究 所 〒 252-0331 神奈川県相模原市南区大野台 4-1-82（Sia 神奈川 内） TEL.042-704-5350 仙 台 事 業 所 〒 983-0035 宮城県仙台市宮城野区日の出町 3-7-63 TEL.022-788-3501　FAX.022-788-3502 甲 府 営 業 所 〒 400-0047 山梨県甲府市徳行 3-9-30（太田ビル 103 号） TEL.055-228-2577　FAX.055-228-2578 九 州 営 業 所 〒 810-0044 福岡県福岡市中央区六本松 4-9-38（六本松ハナマンビル 402 号） TEL.092-720-1800　FAX.092-720-1801 ワッティー ホームページ

熱システム事業部：ヒータ、コントローラ　特殊ガス配管　設計 製造 販売 Corporate Philosophy 　　　 の社名は製造部門の柱である熱システム事業部（主に半導体・ 熱に関するトータルソリューションを FPD製造装置ほか各種精密機器に使われるヒータユニットの開発、製造、 販売）でなじみの深い電力単位のワット（watt）ともう一本の柱であるセンサ ご提供します。 事業部（主に液面レベルセンサ開発、製造、販売）でセンシングする液体の 多業種向け産業用ヒータ・ヒータユニット・コントローラの設計製造 代表格、水（water）を、それぞれイメージできる名前としてネーミングされており と半導体・LCD製造装置向け、クリーンルーム仕様特殊ガス配管の ます。 設計製造を柱に事業展開しています。 「わたしたちは企業活動を通じて社内外から 環境分野に関わる太陽電池、燃料電池製造装置向け製品も多数手がけております。 評価されるDelight Provider-デライトプロバイダー - また、併設の技術研究所において、新素材・新構造のヒータ開発への を目指します」 取り組みにも注力しております。「挑戦するヒータメーカー」をテーマに常にお客様に満点をいただけ を企業理念に据え数ある会社の中から当社を選んでくださるお客様の今後 るようもの作りに取り組んでまいります。 加熱･冷却、温度分布、温度制御、取付け、ユニット化など、熱に関す ますます多様化するニーズと期待に応え信頼関係を築きお客様と共に発展 るあらゆるご相談に素早く対応致します。 していけることを願っております。創業時より継承してまいりました提案型技術 また、当カタログ掲載のヒータ以外でのご提案も可能ですので、何な 商社としての機動力を活かしつつこれからも〝一品入魂〟の精神でものづくり りとお申し付けください。 の道を勇往邁進いたします。 取締役社長 相模原事業所 相模原第二工場 熱システム事業部 神奈川県相模原市大野台　Sia神奈川 内 神奈川県相模原市大野台　Sia神奈川 内 延べ床面積　2,900㎡ 延べ床面積　1,010㎡ Heat system 特機事業部 division Special machine division センサ事業部 技術研究所 仙台事業所神奈川県相模原市大野台　Sia神奈川 内 宮城県仙台市宮城野区日の出町 Sensor division 延べ床面積　999㎡ 延べ床面積　2,016㎡ 甲府営業所　山梨県甲府市徳行　　　　　　　　　　九州営業所　福岡県福岡市中央区六本松 HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG 3 Delight Provider

HEATING SYSTEM φ58 Hi-Watty 昇温特性 20mm角AℓNヒータ立ち上がり温度特性 窒化アルミ（AℓN）ヒータ （2kW） （1kW） Hi-Watty® Series Aluminum nitride (AℓN) heater φ58Hi-Watty　表面温度分布 （400℃） 20mm角AℓNヒータ 430.0 ℃ 407.5 385.0 362.5 340.0 317.5 295.0 272.5 250.0 仕 様 特　徴 加熱対象 最高使用温度　Maximum temperature 600℃ 熱膨張係数　Coefficient of thermal expansion 4.6ｘ10 -6／℃（30～800℃） フレキシブル 面状 真空対応 配管・容器 金属 液体 気体 発熱体　Heating element タングステン 体積抵抗率　Volume resistivity 10 13Ω・cm以上 × 〇 〇 〇 〇 × 〇 熱伝導率　Thermal conductivity rate 180W/m・K以上 製作可能寸法　Available dimensions 130×130㎜　または　Φ130㎜以下温度［℃］200 300 400 500 600 700 800 600℃以上の仕様については、弊社営業までお問い合わせください。 5秒で600℃　純日本製高性能ヒータ 加 工 例 High-performance heater made in Japan that heats up to 600℃ in 5 seconds 新製品の窒化アルミ（AℓN）ヒータは、高速昇温・高速冷却が可能です。 純アルミに近い伝導率を持つため、業界最速、わずか5秒で600℃までの到達を実現いたし ました。 特 徴 1. 高速昇温、高速冷却可能 1. Fast temperature ramp up, rapid cool-down available 2. 金属アルミに近い熱伝導率 2. A thermal conductivity rate close to that of metallic aluminum 3. 熱膨張率が小さい 3. Low thermal expansion rate 4. 電気絶縁性が高い 4. High electrical insulation 背景製版時修正 背景製版時修正 5. 優れた耐食性 5. Excellent corrosion resistance 4 HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG 5

HEATING SYSTEM 窒化アルミ（AℓN）ヒータ（標準品） 急速昇降温ユニット Hi-Watty® Light Aluminum nitride (AℓN) heater (standard product) Hi-Watty® Series Rapid temperature ramp-up and cool-down unit 純日本製　汎用窒化アルミヒータ 窒化アルミ（AℓN）ヒータ+専用 （標準品） 制御ユニット General-purpose aluminum nitride Aluminum nitride (AℓN) heater + heater made in Japan (standard dedicated control unit product) 特　徴 加熱対象 特　徴 加熱対象 フレキシブル 面状 真空対応 配管・容器 金属 液体 気体 フレキシブル 面状 真空対応 配管・容器 金属 液体 気体 × 〇 〇 〇 〇 × 〇 × 〇 × 〇 〇 × × 温度［℃］200 300 400 500 600 700 800 温度［℃］200 300 400 500 600 700 800 特 徴 H i - W a t t y 急 速 昇 降 温 ユ ニ ット　 5 大 特 長 1. 高速昇降温可能 1. Rapid temperature ramp up and cool down available 1. 急速昇降温が可能 1. Offers rapid temperature ramp-up and cool-down 2. 低コスト 2. Low cost 昇温速度：約10sec/100℃（無負荷時） Ramp-up speed: 100℃/approx. 10 sec. (with no load) 降温速度：約40sec/100℃（無負荷時、200℃以上） Cool-down speed: 100℃/approx. 40 sec. (with no load, over 200℃) 3. 短納期 3. Short lead time 2. 最高使用温度600℃ 2. Maximum temperature: 600℃ 3. 卓上にも設置できるコンパクト設計 3. Compact design enables tabletop mounting as well 本体：W220×D240×H173 Main unit: W220 X D240 X H173 ヒータ構造： ヒータ内に空気層が残らないよう、当社独自の生産工法による一体焼結を行っています。 専用制御ユニット：W200×D300×H235 Dedicated control unit: W200 X D300 X H235 これにより、小型でも発熱量の大きなヒータを実現しました。 4. 空冷方式を採用 4. Employs an air cooling system 冷却水を準備する必要はありません。 Unnecessary to prepare chilling water 高 速 昇 温： 高融点発熱体と一体焼結の組み合わせにより高速昇温可能なヒータを提供します。 5. 面倒な配線の接続は不要 5. No need for troublesome wiring connections 耐熱衝撃性： 一般的なセラミックヒータであるアルミナに比べ耐熱衝撃に優れています。 本体と専用制御ユニットは付属の専用ケーブルで接 The only connection needed is with the proprietary cable (included), 温 度 分 布： 窒化アルミ（AℓN）の高い熱伝導性と当社ノウハウによるヒータパターン設計が融合することで、 続するのみ。 which connects the main unit to the dedicated control unit.設備側で電源を用意頂ければ準備完了。 It is available only by preparation of power supply. 均一な温度特性を実現可能です。 温度分布例 昇降温特性 使 用 上 の 注 意 本製品は短時間で急速に昇温します。ヒータが短寿命になるだけでな く火傷、感電、火災等の重大な事故を引き起こす可能性がありますので、 以下の点をしっかり守ってお使いください ◎定格 ・使用電圧、使用温度など、決められた仕様の範囲内でお使いください。 電圧（V） 電力（W） 電力密度 抵抗値 電圧（V） 電力（W） 電力密度 抵抗値 備考 ・発熱体の表面やリード線部にキズ等つけないようご注意ください。 （W/cm2） （室温時） （W/cm2） （室温時） ・急激な温度変化による被加熱物の反り、変形には十分ご注意ください。 □ 5 12 9 36 16 100 150 24 67 ・長時間お使いになる際は、周囲に耐熱性の低いものなどを置かぬよう、 □ 25 表面温度 測定例 200 600 96 67 100V 共通 十分にご注意ください。 24 60 42 9.6 48 240 167 9.6 100 200 12.5 50 □ 12 □ 40 100 45 30 222 200 800 50 50 100V 共通 仕 様 200 100 70 400 100 400 16 25 型式　Model HWH100 型式　Model HWC100 □ 50 100 70 23 143 200 1600 64 25 100V 共通 ヒータ定格　Heater rating 5kW 電源　Power source 200V　30A □ 9×34 200 70 23 571 最高使用温度　Maximum temperature 600℃ ①プログラム機能：自由な昇降温サイクル ヒートステージサイズ　Heat stage size 110mm 100 100 25 100 制御機能　Control function の繰り返し ②勾配機能：設定温度到達までの時間 □ 20 専用サセプター　Proprietary susceptor 110mm2×2t 200 100 25 400 指定 昇温速度　Temperature ramp-up speed 約10sec/100℃（無負荷時） ①本体/制御ユニット接続用専用ケー 仕 様 降温速度　Temperature cool-down speed 約40sec/100℃（200℃以上、無負荷時） 付属品　Accessories ブル 冷却方式　Cooling system 内蔵ファンによる空冷 ②設定用PCソフト 最高使用温度　Maximum temperature 500℃ 熱膨張係数　Coefficient of thermal expansion 熱膨張係数　4.8ｘ10-6／℃ 外装温度　External temperature 50℃以下 外形　Exterior dimensions W200×D300×H235 発熱体　Heating element タングステン 体積抵抗率　Volume resistivity 体積抵抗率　2.6×1014乗Ω・cm（25℃） 外形　Exterior dimensions W220×D240×H173mm 重量　Weight 7.7kg 熱伝導率　Thermal conductivity rate 180W/m・K以上 製作可能寸法　Available dimensions 130×130㎜　または　Φ130㎜以下 重量　Weight 5.2kg 6 HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG 7

HEATING SYSTEM プロキュア® シリーズはUL認定品の製作が可能になりました。 File NO, E478998 プロキュア®シリーズ プロキュア®S Pro-Qer S プロキュア®M Pro-Qer M プロキュア®P Pro-Qer P シリコンラバーヒータ マイカヒータ ポリイミドヒータ 特 徴 Silicone rubber heater Mica heater Polyimide heater 1. 厚さ200μmの極薄ヒータ 2. 応答性が抜群 3. 加熱効率の向上に伴い、小（省）電力化を実現 4. 形状・寸法及び任意の温度分布の設計が可能注） 1. Ultra-thin heater with a thickness of 200μm 2. Outstanding responsiveness 3. Low (economical) power consumption realized by raising heating efficiency 4. Possible to design configuration, dimensions, and discretionary heat distribution 特　徴 加熱対象 フレキシブル 面状 真空対応 配管・容器 金属 液体 気体 特 徴 特 徴 〇 〇 〇 〇 〇 × 〇 1. 独自の生産技術により受注後2週間の短納期に対応可能 1. 面状発熱体の中で最も高温の600℃対応 2. 1枚からの製作が可能 2. 優れた絶縁特性 3. 形状･寸法及び任意の温度分布の設計が可能注） 3. 形状・寸法及び任意の温度分布で設計が可能注） 温度［℃］200 300 400 500 600 700 800 注） ご使用の環境により制約がかかる可能性がございます。 事前に弊社営業までお問合せください。 1. Proprietary production technology enables 1. Capable of 600℃, the highest temperature short lead times, with delivery two weeks in the sheet heating element 物 質 の 熱 特 性 表 【技術資料】 after order is received. 2. Excellent insulating characteristics 密度 体積低効率μΩ・ｃｍ 比熱kJ/（ｋｇ.Ｋ） 熱伝導率 線膨張率 最高使用温度（※1）金　属 単位 3 -6 2. Production from a single item is available 3. Possible to design configuration, dimensions, ｇ/cm 300Ｋ 500Ｋ 300Ｋ 500Ｋ Ｗ/（ｍ.Ｋ） 1×10 /Ｋ 空気中℃ 真空中℃ A1050（純アルミ） 2.70 3.00 0.904 230.0 23.6 500 500 3. Possible to design configuration, dimensions and discretionary heat distribution アルミニウム A5052 2.68 5.40 0.900 140.0 23.9 450 400 and discretionary heat distribution Aluminium A6061 2.70 3.70 0.896 180.0 23.6 450 400 特　徴 加熱対象 特　徴 加熱対象 A7075（超ジュラルミン） 2.80 5.70 0.847 130.0 23.5 400 400 フレキシブル 面状 真空対応 配管・容器 金属 液体 気体 フレキシブル 面状 真空対応 配管・容器 金属 液体 気体 ステンレス SUS304/304S 7.92 70.60 86.30 0.499 0.534 16.0 17.3 760 800 Stainless 〇 〇 × 〇 〇 × 〇 〇 〇 〇 〇 〇 × 〇 SUS316/316L 7.92 72.60 88.70 0.499 0.534 16.0 15.9 760 800 NCF600（インコネル600） 8.42 103.00 0.444 14.8 13.3 980 1100 NCF800（インコネル800） 7.95 93.00 0.502 11.5 14.2 930 1050 VNi※※（Ni99%以上） 8.90 7.60 19.40 0.447 0.542 90.5 13.7 1100 1100 温度［℃］200 300 400 500 600 700 800 温度［℃］200 300 400 500 600 700 800 その他 TP270（純チタン） 4.52 48.20 82.30 0.528 0.587 21.9 7.6 550 850 Others AC4C（アルミ鋳物） 2.68 4.20 0.880 151.0 21.5 400 400 性 能 表 NCH-1（ニクロム1種） 8.41 108.00 109.15 0.444 12.6 17.6 1100 1100 シリコンラバーヒータ マイカヒータ ポリイミドヒータ 窒化アルミヒータ CNWC（銅ニッケル） 8.89 49.00 50.60 22.2 14.8 400 400 製品名 プロキュア®SW プロキュア®SE　 プロキュア®M プロキュア®P Hi-Watty S（i 金属シリコン） 2.33 1.4×106 0.713 0.806 148.0 2.6 耐熱温度　Heat resistance temperature limit 200℃ 600℃ 250℃ 600℃ ※1 密度 体積抵抗率Ω・ｃｍ 比熱 熱衝撃 熱伝導率 線膨張率 最高使用温度（※1） 許容ワット密度　Acceptable watt density 1.2W/㎝2 ※1 3.0W/㎝2 ※1 17.0W／㎝2 ※1 3.0W／㎝2 ※1 500W／㎝2 □16 ヒータ 非 金 属 単位 ｇ/cm3 300Ｋ 500Ｋ kJ/（ｋｇ・ △℃ Ｗ/（ｍ.Ｋ） 1×10-6 K） /Ｋ 空気中℃ 真空中℃ 製作可能寸法　Available production dimensions 700×1000mm 600×900mm 1000×1100mm 460×1000mm Φ220㎜以下 ※2 ※2 ※2 アルミナ（Al2 O3） 3.90 ＞1014 1×1010 0.800 200 29.0 7.7 1600 厚み　Thickness 1.6ｍｍ 0.8mm 0.2ｍｍ 2.0㎜～ 自由設計可能※4 ジルコニア 6.00 ＞1012 － - - 3.0 6.9 1000 絶縁抵抗　Insulation resistance DC500Vメガーにて100MΩ以上 セラミックス Ceramic 窒化アルミ 3.30 ＞1014 400 180.0 4.5 1000 絶縁耐圧（漏洩電流10ｍA以下） 16 Insulation pressure resistance (leakage current below 10mA) AC1500V/1min マコール（快削性セラミック） 2.50 ＞10 0.800 1.4 9.3 1000 800 絶縁構成　Insulation composition ガラスクロス入り耐熱シリコンシート 軟質マイカ ポリイミドフィルム 窒化アルミ 石英（単結晶） 2.66 0.745 6.2 ガラス 17 10 発熱体　Heating element SUS304※3 SUS304※3 タングステン Glass 石英ガラス 2.19 ＞10 1×10 0.740 1.4 3.2 950 990 ※1 お客様のご使用条件によって異なります。 ※3 使用温度・ワッテージにより、SUS以外の発熱体も使用します。　 ネオセラム11（白色） 2.50 ＞1015 1×105 0.800 600 1.7 0.8 800 ※2 発熱体厚みにより前後します。 ※4 使用条件により制約の掛かる場合があります。 ※ 各物質表値は測定方法により異なる場合があります。　※ 最高使用温度は参考値になります。 8 HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG 9

HEATING SYSTEM 出 口 温 度 特 性 例 　 使 用 例 　 ヒートエクスチェンジャー 例： ＷＥＸ－Ｍタイプ バブリング用キャリアーガス加熱 Heat exchangers 参 考 外 形 図（ S - T y p e ） 型 式 表 示 方 法 仕 様 Ｓタイプ Ｍタイプ Ｌタイプ タイプ ＷＥＸ－Ｓ＊-2＊ ＷＥＸ－Ｓ＊-3＊ ＷＥＸ－Ｍ＊-2＊ ＷＥＸ－Ｍ＊-3＊ ＷＥＸ－Ｌ＊-3＊ 特　徴 加熱対象 加熱可能流体　Heat-able fluid 不活性ガス フレキシブル 面状 真空対応 配管・容器 金属 液体 気体 最高使用温度　Maximum temperature 200℃ 300℃ 200℃ 300℃ 300℃ × × × 〇 × × 〇 定格流量　Rated flow ～10ℓ/min ～50ℓ/min ～100ℓ/min温度［℃］200 300 400 500 600 700 800 定格容量　Wattage（W） 130W 190W 400Ｗ 560Ｗ 1300Ｗ 最大動作圧力　Maximum operating pressure 0.5Mpa 標準継手　Standard ports UJR"1/4メス UJR"3/8メス ガス加熱用高効率ヒータ 接ガス部材質　Gas contact part material ＳＵＳ316Ｌ（ＷＥＰ仕様）リークレート　Leakage rate 1×10-10Ｐａ・ｍ3/sec以下 High efficiency heater for inert gas heating 電源　Voltage（V） ＡＣ100又はＡＣ200 熱電対　Thermocouple Ｋタイプ　クラス2 特 徴 サーモスタット　Thermostat ディスク型 ブロック型 ディスク型 ブロック型 ブロック型 本体外形寸法（Ｈ×Ｗ×Ｄ） 1. WEP菅のみ使用したクリーンな構造 1. Clean construction that uses only WEP piping Main unit exterior dimensions (H×W×D) 75×75×98 96×102×128 125.5×100×115 155.5×130×145 178×150×165 本体重量　Main unit weight 約1ｋｇ 約1.2ｋｇ 約2ｋｇ 約2.3ｋｇ 約4ｋｇ 2. 小型・軽量で高効率 2. High efficiency rate being compact and lightweight コネクタ リード線 コネクタ リード線 コネクタ 3. 熱電対、サーモスタットを標準装備 3. Standard equipped with thermocouple, thermostat 結線方法　Connections 取出し 2ｍ 取出し 2ｍ 取出し 4. IN/OUTの継手は変更可能 4. IN/OUT ports are interchangeable 標準付属品　Standard accessories ※1 ※4 ※2 ※5 ※3 ※1　サーモ・電源用コネクタ×1　Ｋ熱電対用コネクタ×1　取付金具×1　　　　　　　　　※4　取付金具×1　外装パンチングメタルタイプ ※2　サーモ・電源用コネクタ×1　Ｋ熱電対用コネクタ×1　取付金具×2　　　　　　　　　※5　取付金具×2　外装パンチングメタルタイプ ※3　サーモ用コネクタ×1　電源用コネクタ×1　Ｋ熱電対用コネクタ×1　取付金具×2 ●上記以外の仕様についてもお気軽にお問合せください（電源電圧、継手仕様など）。 ※予告無く仕様変更する事がございますので、お問い合せください。 10 HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG 11

HEATING SYSTEM マントルヒータ イージートレースヒータ Mantle heater Easy trace heater 配管部品の均一加熱を実現 細径配管の加熱に最適な断熱材 CVDエッチング・アッシング装置に最適 付きヒータ Realizes uniform heat application on An insulation-integrated-type heater pipe components ideal for heating small-diameter Ideal for CVD etching, ashing systems pipes 特　徴 加熱対象 特　徴 加熱対象 フレキシブル 面状 真空対応 配管・容器 金属 液体 気体 フレキシブル 面状 真空対応 配管・容器 金属 液体 気体 〇 × × 〇 〇 × × 〇 × × 〇 〇 × × 温度［℃］200 300 400 500 600 700 800 温度［℃］200 300 400 500 600 700 800 特 徴 特 徴 1. 最高使用温度400℃（高温用は別途ご相談） 1. Maximum temperature: 400℃ (Contact us 1. 施工性 1. Workability 2. 被加熱物との良好な密着性を確保 regarding high-temperature use) わずらわしい施工をスムーズに行うことができる簡便 A simple design enables troublesome tasks 3. 発熱線を高密度に実装し、温度均一性を向上 2. Ensures proper contact with object to be to be undertaken smoothly. heated なデザイン。 2. Heat uniformity 4. クリーンルームでの使用にも対応 3. Implements heating wires in high density, 2. 均熱性 SUS fiber heating elements are installed 5. 立体形状のヒータが製作可能 raises temperature uniformity SUSファイバー発熱体を狭ピッチで配置し、バランス at a narrow pitch, and demonstrate a 6. 断熱材と一体型のヒータで省エネに貢献 4. Usage is also available in clean rooms の良い温度分布性能を発揮します。また、これまでの good balance of temperature distribution 7. メンテナンス性を考慮した脱着可能な構造 5. Production of three-dimensional　shape テープヒータでは出来なかった「継手やバルブ」など characteristics. In addition, for parts such heaters is possible as couplings and valves, additions can be 6. Contributes to energy conservation with も、局所的にパーツを追加することで、均一に加熱可 made in a localized manner, something that insulation-integrated-type heater 能。 tape heaters had been unable to achieve, 7. Detachable construction in consideration of 3. 断熱性 making uniform heating possible. ease of maintenance ヒータ内蔵のEガラス断熱材により、これまでのテー 3. Heat insulation properties 使 用 例 そ の 他 取 扱 い 上 の 注 意 プヒータには無い「断熱」効果も望まれます。 The E glass insulation material in the heater’s interior portion provides the desired heat 真空装置ベーキング用：チャンバー、フランジ、バルブ、継手加熱 ・400℃以上でお使いになりたい場合は、ご相談ください。 insulation effect that previous tape heaters 理化学研究・実験用：ビーカ、フラスコ加熱 ・本製品は水を始めとする液体中では使用できません。 did not offer. 寒冷地向け施設設備：凍結防止、保温 ・脱着可能な製品ですが、頻繁に行うとヒータの短命化 各種産業用　　　 ：ドラム缶、ペール缶加熱 を招きます。 使 用 例 取 扱 い 上 の 注 意 　　　　　　　　　 ホッパー、タンク、ポンプ、 ・脱着を行う際は、摺れ、引っかけに充分ご注意ください。 　　　　　　　　　 金型加熱　etc. また、事前に弊社にご相談頂くことをお奨めします。 ・細径配管の加熱、保温 ・本品の最高使用温度は、200℃です。 ・バルブ、継手など配管部品の加熱、保温 ・必ず温調器、または電圧調整器と併せてご使用ください。 ・サーモスタット、ヒューズ等の過昇温防止素子、及び熱電対、Ptセンサ等の温度制御素子取り付けなど、オプションで承ります。 ・発熱体を使用しない断熱材、保温材の設計、製作も承ります。 ・寒冷地屋内設備の凍結防止、保温など ・ヒータが被加熱物に密着するよう、施工しお使いくだ さい。 仕 様 主なクロスの材質 配管用ヒータの外径例 クロス材質　Type of fabric 耐熱温度（℃） 特徴・用途 配管径　Pipe diameter ヒータ外径　Heater exterior diameter 仕 様 シルバーコートクロス　Silver coated cloth 200 コーティング材がシリコンのため、200℃以下で使用 Φ1/4 Φ45mm程度 配管用ヒータ外径例 PTFEコートクロス　PTFE coated cloth クリーンルーム内で使用可能 Φ3/8 Φ55mm程度 260 配管径　Pipe diameter ヒータ外径　Heater exterior diameter PTFEフィルム　PTFE film コストパフォーマンスに優れる Φ1/2 Φ55mm程度 Φ1/4 Φ25 焼成済みガラスクロス　Sintered glass cloth 400 中温域用 注:上記はオプションのAℓブロックを使用した場合の目 Φ3/8 Φ30 ハーフシリカクロス　Half silica cloth 600 ガラスクロス+シリカクロス 安です。ご要望や使用環境によっては、変更となる場 Φ1/2 Φ35 シリカクロス　Silica cloth 800 高温用途向け 合があります。 ※1 電力密度は0.2～0.3W/cm2程度です。 アルミナクロス　Alumina cloth 1000 超高温用途向け ※2 熱電対、Ptセンサ、サーモスタットの取付け等、オプションで承ります。 12 HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG 13

HEATING SYSTEM PTFEテープヒータ シリコンベルトヒータ PTFE tape heater Silicone belt heater 細径配管の加熱に最適な 配管・タンクの加熱、凍結防止用 薄型フレキシブルヒータ Pipe, tank heating, and for anti- The thin-type flexible heater, ideal freezing heating of small-diameter pipes 特　徴 加熱対象 特　徴 加熱対象 フレキシブル 面状 真空対応 配管・容器 金属 液体 気体 フレキシブル 面状 真空対応 配管・容器 金属 液体 気体 〇 × × 〇 〇 × × 〇 × × 〇 〇 × × 温度［℃］200 300 400 500 600 700 800 温度［℃］200 300 400 500 600 700 800 特 徴 特 徴 1. 無孔質PTFEフィルムにより高絶縁性を確保 1. Non-porous PTFE film ensures a high-degree of 1. 最高使用温度200℃ 1. Maximum temperature: 200℃ 2. 細径配管に取り付けやすい薄型形状 insulation 2. 屈曲可能で簡単施工 2. Shaping capability makes for easy working2. Thin-type form that is easy to wind around small- 3. Production possible from a short size (1m) to long 3. 最高使用温度200℃ diameter pipes 3. 短尺（1m）から長尺（20m）まで製作可能 size (20m) 4. 外装材は100％PTFEでクリーン仕上げ 3. Maximum temperature: 200℃ 4. モールド加工により絶縁性、耐湿性を実現 4. Mold processing enables insulation characteristics 5. 柔軟性に優れたSUSファイバー仕様もあり 4. A clean finish with external material that is 100% PTFE 5. 巻き付けピッチの調整で配管を均一に加熱 and humidity resistance 5. Uniformity in pipe heating by making adjustments 6. 金属/樹脂配管のいずれにも使用可能 5. SUS fiber specif ication also avai lable for to winding pitch exceptional flexibility 6. Use is possible with either metallic or resin pipes 使 用 例 使 用 例 取 扱 い 上 の 注 意 ・給水管、水道管などの凍結防止 ・細径配管の加熱、保温 ・本品の最高使用温度は200℃です。 ・水、オイルなど各種タンクの保温と凍結防止 ・バルブ、継手など配管部品の加熱、保温 ・必ず温調器、または電圧調整器と併せてご使用ください。 ・各種装置の凍結防止、予熱 ・寒冷地屋内設備の凍結防止、保温など ・ヒータが被加熱物に密着するよう、耐熱性のタイラッ ※参考： プなどで必ず製品を固定してお使いください。 保温に必要な熱量 ・施工要領等についてご不明の点がある場合は、弊社ま でお問い合わせください。 仕 様 ※1 標準品は白色です　※2 特注品です 仕 様 型式 電圧（V） 容量（W） 長さL（m） WBH-01-015-01 100 15 1 配管径 幅W（mm） 長さL（mm） 電圧（V） WBH-01-025-02 100 25 2 500 100 WBH-01-035-02 100 35 2 1,000 100/200 WBH-01-045-03 100 45 3 Φ1/4 25 1,500 100/200 WBH-01-070-05 100 70 5 2,000 100/200 WBH-01-140-10 100 140 10 500 100 WBH-02-015-01 200 15 1 1,000 100/200 WBH-02-035-02 200 35 2 Φ3/8 30 1,500 100/200 WBH-02-045-03 200 45 3 2,000 100/200 WBH-02-070-05 200 70 5 500 100 WBH-02-140-10 200 140 10 1,000 100/200 WBH-02-200-10 200 200 10 Φ1/2 35 1,500 100/200 ※2 WBH-02-200-15 200 200 15 外観図 2,000 100/200 ※2 WBH-02-2250-20 200 250 20外系図 ※1 電力密度は0.2～0.3W/cm2程度です。 耐電圧：100V用1.200V1分間、200V用1.500V1分間 ※2 熱電対、Ptセンサ、サーモスタットの取付け等、オプションで承ります。 絶縁抵抗：500Vメガーにて20MΩ以上 14 HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG 15

HEATING SYSTEM カートリッジヒータ ヒータユニット製品 Watty® Series Cartridge heaters Heater unit products 豊富なラインナップに特殊形状、 発熱部の分割など可能なヒータ An abundant lineup of heaters, specially designed and capable of features including localized application of heat 特　徴 加熱対象 特　徴 加熱対象 フレキシブル 面状 真空対応 配管・容器 金属 液体 気体 フレキシブル 面状 真空対応 配管・容器 金属 液体 気体 × × 〇 〇 〇 〇 〇 × × 〇 〇 〇 〇 〇 温度［℃］200 300 400 500 600 700 800 温度［℃］200 300 400 500 600 700 800 特 徴 特 徴 1. 枚葉式、多段式など用途に応じたご提案を致します 1. Proposals made to suit single-wafer type, multi- 1. 豊富なラインナップ 1. An abundant lineup 2. 試験・研究用の手動式から量産用の自動搬送機構付 stage type and other applications ・ミリサイズ、インチサイズ各種 ・Millimeter-size, inch-size varieties 2. Design and production, from testing and research- ・From standard type, flange (screw-type, きユニットまで設計・製作 use manual types to units with automatic feeding ・標準タイプ始め、フランジ（ネジ込み、板）付 board) attachment 3. 基板サイズ、使用温度、均一性などお問合せください mechanisms ・L字タイプ、熱電対付タイプなど各種 3. P lease ask about substrate s ize , usage ・Range of varieties, including L-shaped type, temperatures, uniformity and other details. 2. 特殊形状、発熱部の分割、発熱比指定など対応可能 thermocouple type 2. Special designs, localized heating, heat ratio specification and other features available ガス配管ユニット 標 準 タ イ プ 仕 様 ■WCH-Ⅰ型（絶縁碍子付・リード線外部接続） ■WCH-Ⅲ型（絶縁碍子無・リード線外部接続） Gas pipe unit ■WCH-Ⅱ型（絶縁碍子付・リード線内部接続） ■WCH-Ⅳ型（絶縁碍子無・リード線内部接続） 仕 様 製品名 ワッティーシリーズ カートリッジヒータ 外管素材　Outer tube material 標準：SUS304（特殊材：SU316、SU316L、チタン） 特 徴 発熱線　Heating wire ニッケル・クロム合金 1. クリーンルーム内で一貫生産（クラス100、1000） 1. Integrated production within clean rooms (class 外径： 2. ＣＶＤ、エッチング、アッシング装置のプロセスガス供 100, 1000) （mm）φ3.1、5、6、8、10、12、14、15　許容差φD＋0/-0.1 2. Design and production of process gas delivery lines （inch）φ1/4、3/8、1/2 給ライン、ベントライン設計・製造 for CVD, etching and ashing systems, bent lines 寸法 全長： 最小25mm　許容差L　±2%以内 3. 多様な配管材料、部品の溶接に対応する豊富なバッ 3. Abundant back data for diverse pipe materials, 非発熱部：　　L1mm　L2mm　L1最小寸法 parts welding φ3.1～φ10　　10　　　5　　　Ⅰ、Ⅲ型：8mm クデータ 4. Short lead times, small-lot production also φ12～φ15　　15　　　5　　　Ⅱ、Ⅳ型：8mm 4. 短納期、少量製作にも対応します available 16 HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG 17

HEATING SYSTEM 【 装 置 概 要 】 E q u i p m e n t o u t l i n e ALD（原子層堆積）装置 ● 到達圧力(プロセス時)：≦7Pa ･ Base pressure(at process):≦７Pa ● 成膜温度：400℃(600℃対応ヒータ開発中) ･ Deposition temperature: up to 400℃(under development of heater up to 600℃) ALD（Atomic Layer Deposition）System ● 基本構成サイズ：W:2160×D:890×H:1940(mm) ･ Standard equipment dimensions: W：2160×D：890 ● プリカーサ本数：最大5本 ×H：1940(mm) ･ Number of precursors：Up to 5 実験・研究開発向け装置 成膜対応事例 ALD system for R&D Al2O3 TiO2 HfO2 ZrO2 SiO2 Ta2O5 TiN SiN 2inchモデルから8inchモデルまでの装置をご用意し、ユーザーニーズにお応え致します。 その他膜種も対応致します。 また各種付帯設備をオプションでご用意しており、お客様の導入時の設備導入負担を軽減します。 Example of deposition film 安全仕様・プリカーサ本数・プリカーサ導入方法・排気系統、あらゆる項目についてカスタマイズのご要望 にお応え致します。 Al2O3 TiO2 HfO2 ZrO2 SiO2 Ta2O5 TiN SiN Other coating types are also available. We offer equipment from 2 inch to 8 inch to meet user needs. In addition, various additional facilities are available as options, reducing the burden on customers at the installations. We will meet your customization needs for safety specifications、number of 成 膜 事 例（ T i O 2）　 E x a m p l e o f d e p o s i t i o n f i l m（ T i O 2） precursors、precursor introduction method, exhaust system and all 高アスペクトレシオのL/Sパターンに対してTiO2膜を成膜した事例で other items. す。トップからボトムまでほぼ均一な膜が成膜出来ており、良好なス 成膜条件 テップカバレッジを実現しております。また、膜厚はサイクル数と比例 ●プリカーサ　TDMAT（Tetrakis しております。 　Dimethylamino Titanium） 【 オ プ ション 例 】 E x a m p l e o f o p t i o n s 弊社相模原事業所に成膜装置を2台ご用意しております。 ●酸化剤：DIW ● プロセス排気用除害設備 ･ Scrubber for process gas 成膜テストなど、お気軽にお問合せください。 ●サンプル基板：Si　A/R20　L/Sパターン ●成膜温度　200℃ ● マニュアルハンドリングから自動搬送システムまで対応 ･ Transfer system is available from manual TiO2 is deposited on high aspect ratio L/S pattern. ※マルチ搬送システム搭載については、要相談。 handling system to automatic handling As you can see, nearly uniform films are deposited from Deposition conditions ● 不活性ガス用ピュリファイア system top to bottom. ● 使用方法・頻度に合わせたプリカーサボトルサイズの ※Please consult us for multi-chamber We have achieved good step coverage. ●Precursor　TDMAT（Tetrakis 選択 platform Also, the film thickness is proportional to the number of 　Dimethylamino Titanium） ●Oxidant: DIW ● お客様の仕様に合わせカスタマイズ化 ･ Inert gas purifier cycles. ●Sample substrate：Si　A/R 20 L/S pattern ● 低価格ALD装置仕様もご用意 ･ Providing precursor bottle sizes according Two ALD systems are available at our Sagamihara Plant. Please feel free to contact us for deposition test etc ●Coating temperature　200℃ to application and frequency ･ Customized to custmer’s specifications 成膜サンプル　TEM画像 ･ Low-cost ALD system also available 弊社の加熱ソリューションを集結し、 最適なプリカーサ及びガス供給を実現 エントリーユーザーでも安心して Top 1500k（ 50cycle） Top 1500k（ 100cycle） Top 1500k（ 150cycle） 使用できるきめ細やかな安全仕様 プロセスマージンと成膜自由度を 3.0nm 5.2nm 7.4nm 高めたレシピ開発環境、直感的UI 成膜装置の詳細、仕様については弊社営業までお問い合わせください。 Bottom 1500k（ 50cycle） Bottom 1500k（ 100cycle） Bottom 1500k（ 150cycle） 18 HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG 19 3.2nm 5.4nm 7.9nm

HEATING SYSTEM サ ー ビ ス 内 容 ALD受託成膜サービス 1） 弊社技術者が対応し、レシピ設計やパラメータ設定のサポート対応致します。 ALD film deposition outsourcing service 2） 成膜サンプルはお持込み自由です。御希望により弊社在庫のテストウェーハチップや L/Sパターンサンプル（有償）をご利用いただく事も可能です。 3） プリカーサのお持込みにも対応致します。ボトル仕様によっては搭載出来ない恐れがあ 弊社相模原事業所内のALD成膜装置を使用し、受託成膜を行っております。ご りますので、お持込みの際は事前にボトルサイズ等の仕様を開示頂きます様お願いし 要望のプリカーサーによる成膜をお手伝いさせていただきます。お客様立会い ます。 によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータによる比較評価等、あらゆる 4） 弊社にて在庫しているプリカーサをご利用いただく事も可能です。また弊社にて在庫し ニーズにお応え致します。 ていないプリカーサもご用意できますのでお問い合わせください。 また、成膜後の膜厚測定(無償)、膜質解析等（有償）、評価業務にもお応え致し 5） 御要望の評価内容により、フローの変更改造や補機、追加機器等の取付に対応致しま ます。成膜サンプルはお客様による持ち込み、或いは弊社からのご提供も可能 す。改造内容により都度見積となりますのでお問い合わせください。 です。 6） SEM、TEM、STEM解析、分光エリプソメータ、EDS、XRR、XRD、FT-IR等、成膜評価 定期的な少量Lotでの受託生産にも応じますので、お気軽にお問い合わせくだ も承ります。 さい。 7） 定期的な小Lot生産も承ります。 At our Sagamihara Plant, we are doing an outsourcing service to provide film deposition using our ALD systems. We will assist you ●各種酸化膜・窒化膜の成膜に応じます。（Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、TiN、SiN、 in film deposition with your desired precursor. We offer on-site demonstrations for customers, comparative assessments using the Ta2O5、SiO2 等） recipes or parameters customers designate, responding to a range ※メタル膜等成膜種順次拡大中です。お問い合わせください。 of customer needs. Moreover, we can offer film thickness(free) , film quality analysis(charged) and other assessment operations. ●各種のTEGを御用意しております。（ベアウェーハ、L/S AR15/AR20 等） Customers can bring in their own samples, or we can provide our own as well. Another service is the periodic production of small- ●成膜可能サイズは2inchから8inchまでとなります。 volume lots, so please feel free to ask us for details. ※不定形等はお問合せ下さい。 ※成膜後の膜解析（膜厚（分光膜厚測定器、エリプソメーター）、SEM観察、TEM観 察、FT-IR、XPS等）もお受けします。 ユーザーニーズに沿った装置販売～受託成膜をご提供致します ●詳しくは弊社営業までお問い合わせください。 SUS筐体にしたい… プリカーサを増やしたい 外寸を変えたい… 成 膜 装 置 例 安全仕様を オゾナイザーを 強化したい… 積みたい… 20 HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG 21

HEATING SYSTEM ヒータ製品アプリケーション例 ■ヒートエクスチェンジャーとその応用例　Heat Exchager and its applications バブリング用キャリアーガス加熱 ヒート プロセスチャンバー ■面状ヒータとその応用例 エクスチェンジャー 　Sheet heater and its applications キャリアー ガス IN 真空ポンプ マントル ヒータ ［ヒートエクスチェンジャー］ ガスラインの途中に入れてガスを加熱します。 Heat Exchanger（ innert gas heating） Heat Exchanger is put the way of the gas line and gas is heated ［シリコンラバーヒータ］ ホットプレート ウエハ熱処理 カメラ凍結防止 ■配管ヒータとその応用例 Silicone rubber heater Hot plate Wafer heating Freeze proofing for camera 　Plumbing heater and its applications バルブ用ヒータ Heater for valve ［ポリイミドヒータ］ CTスキャン 生化学分析装置 血液検査装置 PTFEテープヒータ 真空配管保温 Polymide heater Computed tomographic scanning Biochemical analyzer Blood testing instrument ［イージートレースヒータ］ Easy trace heater PTFE tape heater Vacuum piping heating AIブロック AI block ［マイカヒータ］ 液晶ディスプレイ製造装置 ホットプレート ［テープヒータ］ ［マントルヒータ］ 配管の加熱、デポ防止に。 配管ヒータユニット（AIブロック＆ヒータ） Mica heater LCD manafacturing equipment Hot plate Tape heater Mantle heater Liquefied precursor supply line heating（prevent condensation） Pipe heating uni（t AI block & heater） ■Hi-Watty®（AℓNヒータ）とその応用例 ■カートリッジヒータとその応用例 　Hi-Watty®（ AℓN heater）and its applications 　Cortridge heater and its applications [窒化アルミヒータ] 急速昇降温ユニット ヒータユニット ［カートリッジヒータ］ 金型加熱 プレス盤,金型加熱 プレス機,プレス板加熱 Aluminum nitride heater Rapid raising/lowering temperature unit Heater unit Cartridge heater Mold heating Pressing, mold heating Press machine, pressing plate heating ■ホットプレート応用例（使用環境） ■ALD成膜装置応用例 　Hot plate applications（ usage environment） 　Applications for ALD equipment ［真空対応ホットプレート］ ［常圧ホットプレート］ Hotplate using under vacuum Hot plate using under atmospheric pressure ［ALD成膜装置　2inch］ ［PEALD成膜装置　8inch］ ［受託成膜］ ALD equipmen（t up to 2inch） Plasma Enhanced ALD equipmen（t up to 8inch） ・半導体デバイスの膜付け（絶縁膜、保護膜） ・小型金属片の加飾 ・極小円筒形状の内側へのコーティング ・Deposition for semiconductor applications（ Oxide Nitride） ・Decoration to various materials ・Coating to various materials 22 HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG HEATING SYSTEM SYNTHESIS CATALOG 23