真空チャック　エアロフィックス　aero FIX

Page 1:ご相談・お問い合わせ株式会社ナノテムwww.nano-tem.com〒940-0012 新潟県長岡市下々条 1 丁目 485 番地TEL:0258-22-6725 FAX:0258-22-6726 E-mail：n-sales@nano-tem.com製作フロー∼お打ち合わせから納品まで私たちナノテムが掲げるのは「お客さまとの循環型パートナーシップ」。 生産現場の要望や課題は、時代の潮流や経営環境・戦略によって変化していきます。まさに 現場の宿題 に終わりはありません。当社は、変わり続けるお客さまのニーズに、日進月歩で進化する新技術でお応えいたしてまいります。真空チャックの決定版＜エアロフィックス＞はワンストップで短納期、ローコストでお届けいたします。製品説明・プレゼンテーション1打ち合わせ・コンサルテーション2設計・仕様確認・見積り提出3ご契約4製造5検査6納品・引き渡し7時代、到来。真空チャックの新しい時代を告げる決定版。時代、到来。真空チャックの新しい時代を告げる決定版。エアロフィックスエアロフィックスデモ機の貸し出しを行っています。「エアロフィックス」の卓越した性能を実際にお確かめください。■「エアロフィックス」ラインナップ■データでみる＜エアロフィックス＞の実力●セラミックス台盤タイプ（角型） ●セラミックス台盤タイプ（丸型）●トッププレートタイプエアロフィックス原材料■仕様◆本カタログに記載の事項は、予告なく変更することがあります。◆記載内容の無断転載を禁じます。●サクションロール吸着部色吸着部サイズ吸着部気孔率吸着部気孔径平面平行度台盤材質黒∼□1000mm、∼φ1000mm※設計気孔率 40%設計平均気孔径 1μm10μm / □φ1000mmポーラスセラミックス新 登 場エアロフィックス従来タイプRaRmax13.7μm122.6μm1.7μm15.6μm粗さ曲線測定条件CUTOFF ＝ 0.8mm LENGTH ＝ 9.00mm V-MAG ＝ 200 H-MAG ＝ 10 T-SPEED ＝ 0.3mm/s※これ以上のサイズに関してもご相談、承ります。50μmR1mmR50μm1mmエアロフィックス従来タイプRmax50μm R1mmR50μm1mmRa 粗さ曲線13.7μm 122.6μm1.7μm 15.6μm

Page 2:ナノテム独自の素材・焼結技術で実現した、先駆ける６つのアドバンテージADVANTAGE1高性能・高精度な均一吸着力▶フィルムなど、デリケートな薄物ワークに最適。アルミニウムやステンレスの吸着面に溝や穴を設け、ワークを固定していた従来型の真空チャックでは、ワークが表面穴溝に吸い込まれ、変形やたわみ、歪みを引き起こすことがありました。しかし、ミクロンオーダーの超微細な気孔と独自の真空排気方式を有する＜エアロフィックス＞は、均一な吸着力を発生させるので、デリケートな薄物ワークにも安心。また、フィルム等にみられる端部の反りも吸着するので（タッチダウン）、作業効率がアップします。吸着力は、真空調圧弁により調整できます。ADVANTAGE3簡便＆コストダウン▶既存装置に ポン と置くだけで＜エアロフィックス＞に。据え置き型の「トッププレート」は、現在お使いの真空チャックの上にポンと置くだけで、＜エアロフィックス＞の性能・機能を発揮します。締結の必要はありません（ワーク剥離にエアー正圧を使用する際は、ご相談ください）。＜エアロフィックス＞の特筆すべき特長のひとつに、非接触浮上搬送への応用が挙げられます。これは、正圧と負圧それぞれのエアーの供給と真空吸引をコントロールすることでワーク姿勢を安定させる高度な技術が可能としたものです。ワークは浮上ユニットで浮きあがるとともに、軽微な力で吸着盤上を自在に動かすこともできます。極薄基板等に代表されるワークの防汚課題を解決へと導きます。ADVANTAGE4非接触浮上搬送への応用▶ワークの汚染リスクを低減。ADVANTAGE5業界初※サクションロール登場▶チャックによる吸い込み跡をつくらず吸着。平均気孔径1μmの＜エアロフィックス＞採用により、フィルム素材をサクションマーク（吸い込み跡）なしに吸着、高速搬送することができます。また、従来は、心金内部に仕切りを設けることにより、吸着角度を決定する構造でしたが、部分吸着できる＜エアロフィックス＞ならば、どの部位でも固定が可能です。ADVANTAGE6大型サイズ＆高意匠性▶最大1000mm角、複雑形状にも対応。吸着部のサイズは、最大□1000mm、同φ1000mmまでとなっていますが、それ以上の大きさの＜エアロフィックス＞についてもご相談を承っております。お気軽にお問い合わせください。また、形状に関してもお客さまのご要望に合わせた製作が可能です。従来型エアロフィックス薄物の吸着に適さない変形なく薄物の吸着可能アルミニウム、ステンレス等ワークワーク※2009年11月当社調べ真空チャックはここまで進化・深化した。（特許出願中）●電子顕微鏡写真 ●特性比較 ※ワークが小さい場合、×●端部のソリもしっかり固定「タッチダウン」●小さなワークも強固に吸着●スルーホール型チャックの上に据え置くだけでOK。●なめらかに浮上搬送●サクションロール(φ300×L900mm)●現場のニーズに合わせて製作、ご提供いたします。最大1000mm角薄物ワークへの対応部分吸着吸着強度サイズ展開湿式環境対応高温環境対応コストエアロフィックス◎◎◎◎◎◎◎スルーホール型従来製品××△※◎◎※×△エアロフィックス新 登 場 近年、太陽電池、LED、半導体、液晶、プリント基板などの極小・高精細技術の向上ならびに高度化に伴い、より高精度で高性能な真空チャックへのニーズが高まっています。株式会社ナノテムは、独自のセラミックス焼結技術により、従来のスルーホールタイプ真空チャックとは、まったく異なるアプローチによる真空チャック＜エアロフィックス＞を開発いたしました。 ＜エアロフィックス＞は、主剤と助剤の共晶反応をコントロールすることにより、焼結性を制御するもので、ワークに最適な気孔径および気孔率に調整いたします。また、製造工程で完全焼結するので、＜エアロフィックス＞内部からの発塵がなく、使用環境に影響を与えません。 お客さまに求められるものを最高のクオリティで。私たちナノテムが誇る先進の技術力、柔軟な独創力、高い実現力でお応えしてまいります。ADVANTAGE2部分吸着が可能に▶さまざまなワークサイズに 対応するので、一台でOK。これまでは、ワークの形状に合わせたチャック装置の設計・製造が必要でしたが、部分吸着が可能な＜エアロフィックス＞は、さまざまなワークサイズに対応。ワークごとに形式やサイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と作業効率の向上をかなえます。従来型はワークのサイズを合わせる必要ありエアロフィックス様々なワークサイズに対応可能ワークVac.サイズに関わらず吸着OKエアロフィックス0.5μm×30,000