AQ6370シリーズ　光スペクトラムアナライザ

The world’s most trusted OSAs AQ6370 シリーズ 光スペクトラムアナライザ Bulletin AQ6370SR-20JA

近年、FTTH（Fiber To The Home）などの通信分野 以外にも、工業、医療、照明、画像、セキュリティ、 環境など様々な分野で光が活用されています。特に医 療や環境分野では従来の通信分野と異なる波長域も使 用されており、測定器には、より広い波長域での高精 度な測定が求められています。 　 当社は長年培ってきたモノクロメータの光学設計技術と 経験により、高信頼性の光スペクトラムアナライザを提 供しています。様々な用途に使用される光デバイスや装 置、システムの波長特性を効率かつ効果的に測定します。 YOKOGAWAのAQ6370シリーズは、研究開発から 製造まで幅広いアプリケーションの測定ニーズに応える 高性能光スペクトラムアナライザです。 信頼性─優れた光学性能と品質により世界有数の光ス ペクトラムアナライザとして多くのお客様の信頼を得てい ます。 性能─日々進化するテクノロジに対応するため、世 界最高クラスの光学性能と高精度測定環境を提供し ます。 ソリューション─長年培ってきた設計技術と経験に より、お客様の課題解決に向けた最適なソリューショ ンを提供します。

40年以上の経験 当社は40年以上培ってきた技術と経験を活 かし、常に最新の光測定テクノロジを提供して きました。当社は可視光（350 nm）から中赤外 （5 µm以上）の広範囲において、分散分光方式 の光スペクトラムアナライザを提供する唯一の計 測器メーカーです。

光学性能 AQ6370 series 4 世界最高クラスの光学性能 高波長分解能 0.02 nm* 高ダイナミックレンジ 78 dB* 迷光抑圧比 80 dB* Peak ±1.0 nm ● コンパクトながら高性能な新設計モノクロメータを搭載。 ● シャープな分光特性により、近接した信号も分離して正確に 測定します。（図1） ● 独自の光学設計により迷光の影響を最小限に抑えています。 78 dB （図2） 高感度 －90 dBm* 微弱な光信号も短時間で正確に測定します。 ■ 7段階の測定感度設定 図1 ダイナミックレンジの例（AQ6370E-20） 測定アプリケーションや測定スピードなどの条件に応じて、 ピーク波長 ±1.0 nm、分解能設定 0.05 nm、 高ダイナミックモード：ON 適切な感度を選択いただけます。 ■ 高ダイナミックモード搭載 強い光信号により引き起こされるモノクロメータ内の迷光の 影響を軽減、より広い測定レンジが得られます。 広いパワー測定範囲　110 dB* 80 dB ＋20 dBmの高出力光から－90 dBmの微弱光まで広い範囲で 正確に測定します。 光通信で使用される光アンプや産業機器で使用される加工用 レーザーなどのハイパワー測定から物質の反射光などの微弱光 測定まで幅広い用途で測定できます。 図2 迷光抑圧比の例（AQ6370E-20） *AQ6370Eにて、ダイナミックレンジと迷光抑圧比は高性能モデルの代表値です。 感度設定：MID、高ダイナミックモード：OFF フリースペース構造の光入力部 ● シングルモードおよびマルチモードファイバー、大口径ファイバー* に対応。マル チモードファイバーでも挿入損失が少なく、信号レベル低下による測定速度の 低下を抑えます。 ● PCコネクタとAngled PCコネクタの両方を使用できます。 ● 光コネクタ接続再現性に優れ、安定した測定を実現。 ● 接続する光ファイバー端面の破損の心配がありません。 *モデルにより異なります。 モノクロメータ光入力部の フリースペース構造イメージ

5 AQ6370 series 光学性能 パージ機構 近・中赤外域波長には、水蒸気の影響により強い光吸収が見 られる波長領域が存在し、測定の妨げとなる場合があります。 AQ6374E、AQ6375E、AQ6376Eお よびAQ6377の4モ デルは、背面に設けた給排気口よりモノクロメータ内部に窒素 などのパージガスを連続的に供給することで、水蒸気の光吸収 が測定へ及ぼす影響を低減できます。 パージガス給排気口 内蔵校正用光源 AQ6370シリーズには、高い光学性能を長期間にわたって維 持できるように、校正用光源が内蔵されています。 高次回折光カットフィルター* モノクロメータでは原理上、入射光の整数倍の高次回折光が アライメント機能 発生します。内蔵の高次回折光カットフィルターにより、測定 ご使用前に光入力コネクタと光源出力コネクタを光ファイバーで 波長より短い波長の入射光を抑圧し高次回折光の影響を低減 接続し、ワンキーの操作でアライメント調整を自動的に実行し します。 ます。光学アライメントおよび波長誤差が適切に補正されます。 *対象機種： AQ6374E、AQ6375E、AQ6376E、AQ6377 波長校正機能 内蔵の波長校正用光源や外部光源を用いて波長誤差を自動補 正します。 波長基準光源の構成 光源出力部 C2H2 EE-LED光源 アセチレンガ アセチレン吸収セル スの吸収波 長の確度： シングルモード ファイバーコード 0.6 pm この吸収点が波長校正に 使用されます。 波長校正用光源はAQ6370E（工場出荷時オプション）とAQ6374E、AQ6375E、 AQ6376E、AQ6377に搭載しています。

パラメータ/生産性向上 AQ6370 series 6 豊富なパラメータ設定 生産性を向上させる 有効な機能 AQ6370シリーズは、様々な測定に対応するため多くの設定パ 設計と生産コストを低減することは、光デバイス、システムメー ラメータを搭載しています。各種測定に応じた最適な設定によ カーにとって非常に重要です。試験・検査に使用する測定機器 り、より高精度な測定品質を確保します。 の性能が製造時の検査時間の短縮を可能とします。生産性を 　 向上させ、最終製品のコスト低減に有効です。 パラメータの内、測定感度・波長分解能・測定スピード・近傍 ダイナミックレンジの4つの性能がスペクトルの測定品質に大き 任意の感度で高速測定 く影響します。 　 AQ6370シリーズは微弱な光信号の測定でも、最先端のモノ AQ6370シリーズは、これらパラメータを最適に設定すること クロメータ、高速利得回路と高度なノイズ低減技術で、短時間 で、高速で高精度の測定を実現します。 に測定します。また、ダブルスピードモードでは標準モードの 2倍の速度で測定できます。この時、感度は約2 dB低下します。 AQ6370シリーズは、次の測定条件を設定することができます。 最大16個のデータ解析機能* ● 7種類のレベル感度*1 ● 10種類の波長分解能*1 AQ6370シリーズはWDMシステムや光ファイバー増幅器、各 種光源などの測定に適した解析機能を内蔵しています。解析の ● 0 nmを含む任意の波長スパン*1 ための主要なパラメータも任意に設定できます。 ● 平均化回数（1〜999回） ● WDM（OSNR）解析 ● 波長サンプル数（101〜200,001）*1, *2 ● スペクトル幅解析 *1： モデルにより異なります。 ● EDFA-NF解析 *2： 最小サンプリング間隔：1pm（AQ6370E、AQ6373E）、 2 pm（AQ6374E、AQ6375E）、3 pm（AQ6376E）、10 pm（AQ6377） ● ノッチ幅解析 ● DFB-LD解析 ● SMSR解析 ● FP-LD解析 ● iTLA解析 ● PMD解析 ● LED解析 ● 光パワー解析 ● 色度解析 ● 光学フィルター解析 （ピーク、ボトム、WDMピーク、WDMボトム） ● テンプレートによるPass/Fail判定 *モデルにより解析機能の数は異なります。

7 AQ6370 series 生産性向上 測定プロセスを簡潔化する 自動測定システムの構築* DUT指向のテストアプリ（APP）* AQ6370シリーズはマクロプログラミング機能を搭載していま アプリケーション（APP）モードは多用途なAQ6370シリーズ す。マクロプログラミング機能は外部コントローラを使用しない を測定対象デバイス（DUT）専用の測定器に変身させます。 で、各種測定条件の設定、測定、解析、データ保存までの自 APPモードは、測定条件設定から解析結果出力に至るまでお 動測定を実行します。また、リモートインタフェースを介して外 客様をナビゲートするDUT固有のユーザーインタフェースを提 部機器を制御することもできます。 供します。お客様はAQ6370シリーズの様々な設定を意識す *AQ6375EおよびAQ6376Eは除く ることなく使用することができます。 アプリの基本動作 AQ6370 Viewer （アプリケーションソフトウェア） RUN test OUTPUT リモートコントロール SET ANALYZE results ＆ファイル転送 conditions spectrum AQ6370シリーズには、WDMテスト、DFB-LDテスト、FP-LD AQ637x Viewer LANに接続されたAQ637x テストなどのいくつかの基本的なアプリがプリインストールされて います。また、YOKOGAWAのウェブサイトからダウンロードし たアプリをAQ6370シリーズに追加して使用することもできます。 *AQ6377は除く リアルタイムリモートコントロール AQ6370 Viewerは、PC上で動作するAQ6370シリー ズ用アプリケーションソフトウェアパッケージです。 ● イーサネット上の本体をリモート制御し、測定条件の 変更、測定の実行を行います。 ● リアルタイムに測定波形を取得・表示し、PC上で解 APPメニュー画面 析できます。 AQ6370 Viewerは、次のような場合に有効です。 リモートコマンド* ● 生産管理者は生産ラインに行かなくても、事務所の GP-IB、RS-232およびイーサネットポートを搭載しています。 PCで測定結果を収集することができます。 標準リモートコマンドは、IEEE-488.2に適合したStandard Commands for Programmable Instruments（SCPI）に準 ● エンジニアはお客様や自社工場で使用している光スペ 拠しており、AQ6317シリーズで使用される弊社独自のリモー クトラムアナライザに対し、テストデバイスやシステム トコマンドにも対応します。 に最適な測定条件を設定できます。 また、LabVIEW®のドライバが用意されています。 *RS-232はAQ6377のみ搭載

測定環境 AQ6370 series 8 快適な測定環境を実現する機能 マルチタッチ対応大型LCD 7つの独立トレース マルチタッチ対応の静電容量式タッチパネルを搭載した高解像 ● 複数スペクトルの同時表示 度で応答性の高い10.4型LCDディスプレイにより、操作がさ ● らに簡単で直感的になりました。タブレット端末を操作する感 差分演算などのトレース間演算機能 覚で、測定条件の変更、測定や解析の実行、光スペクトルビュー ● 最大･最小値記憶（Max/Min hold） の変更などを行うことができます。光スペクトルビューでは、タッ プ＆ドラッグするだけで波形ビュー領域をズームまたはシフトで きます。 USBポート Mouse Keyboard Memory HDD サムネイル・ファイル表示 メモリーに保存された大量のファイルの中から必要なファイルを 探し出すのに便利です。 *AQ6377は除く 全トレース一括保存・再生機能 全7トレースの保存と再生が1ファイルで行えます。ファイルは、 CSV形式で保存され、PCアプリケーションソフトウェアで活用 することができます。

9 AQ6370 series 接続インタフェース 豊富な機能と接続インタフェース AQ6370 シリーズ 3 4 6 7 1 10 6 13 5 11 12 8 AQ6370E、AQ6373E、AQ6374E、AQ6375E、AQ6376E 3 4 2 9 7 10 6 6 13 11 12 8 5 AQ6377 1 タッチパネル ディスプレイ 5 光入力部 9 シリアル（RS-232） 測定条件、スペクトル波形、解析結果な 光入力部と光源出力部です。AQ6370E リモートコントロール用インタフェース どを表示します。ほぼすべての操作は、 とAQ6374Eは、ユニバーサルタイプの光 タッチパネルから行えます。 コネクタを採用していますので、簡単に交 10 換できます。 ビデオ出力（VGA） 測定器画面を外部モニターに出力します。 2 高精度ディスプレイ 10.4型 SVGA液晶が詳細な波形と数値 6 USB 11 結果を表示します。マウスを使用して、 USBデータストレージデバイス、マウス、 トリガー入力および出力 機器設定を容易にします。 およびキーボードに対応 外部トリガー信号を使用してパルス光測定 や周回実験の測定が行えます。 3 ファンクションキー 7 イーサネット 12 メイン操作メニューと使用頻度の高い機能 （10/100/1000BASE-TX） アナログ出力 へのショートカットキー 光スペクトル強度に応じたアナログ電圧を ネットワークインタフェース、リモートコン 出力します。オシロスコープによる安定度 トロール、データ転送、およびファームウェ 試験などに利用できます。 4 データエントリ アアップデートに対応 10キー、上下キー、およびロータリーノ 13 ブにより、測定パラメータ、ラベル、カー パージガス入力および出力 8 GP-IB ソル位置などの各種設定を簡単かつ素早く モノクロメータ内の水蒸気を低減するため 行えます。 リモートコントロール用インタフェース のパージガス循環用吸排気口 （AQ6374E、AQ6375E、AQ6376E およびAQ6377）

アプリケーション AQ6370 series 10 アプリケーション システム テスト WDM OSNR テスト AQ6370E 測定システムは、複数の光源と光源を多重化する合波器、光ス AQ6370Eの持つ広い近傍ダイナミックレンジにより、50 GHz ペクトラムアナライザ、光ファイバーアンプへの入力信号を調整 スペーシングのDWDM伝送システムのOSNRも正確に測定で するための光減衰器で構成されます。光源と光減衰器は、測 きます。WDM解析機能により、最大1024チャネルのWDM 定用途にあわせて測定モジュールを組み合わせできるマルチア 信号の波長、レベル、波長間隔、SNR（OSNR）を一括測定し、 プリケーションテストシステム（MATS）を使用します。 解析結果をデータテーブルとして表示します。 光スペクトラムアナライザは光ファイバーアンプの入力信号と増 幅された信号を測定します（図2）。 Tx1 光アンプ λ 1 EDFA-NF解析機能は各チャネルのピーク波長、ピークレベル、 Tx2 λ 2 ゲイン、NF等の必要な測定結果を一括して測定します（図3）。 Tx3 λ MUX 3 NF測定時のASEレベルはWDM信号のカーブフィットを行っ Tx4 て算出されます。このASEレベルには信号光の自然放出光 λ 4 （SSE）成分も含まれていますが、SSE SUPPRESS機能を使 TxN λ n AQ6370E 用することにより、このSSE成分を除去でき、正確なNF値を 測定することができます。 WDM解析データテーブル例（AQ6370E） 図2．2種類の測定波形の表示例（AQ6370E） 光アンプ入力信号（黄色）と増幅された信号（紫） 光ファイバーアンプ（EDFA）テスト AQ6370E 光ファイバーアンプの評価パラメータであるGAIN（増幅度）、 NF（雑音指数）をNF解析機能を用いて光信号を一括して測定 できます（最大1024 ch）。 代表的な光アンプ測定システムの例を図1に示します。 AQ2200 マルチアプリケーション テストシステム AQ6370E 光アンプ 光MUX 図１．光ファイバーアンプ測定システムの例 図3．EDFA-NFの解析結果例（AQ6370E）

11 AQ6370 series アプリケーション アクティブコンポーネント テスト レーザー光源の解析 AQ6370E AQ6373E AQ6374E レーザー吸収分光法で使用される AQ6375E AQ6376E AQ6375E AQ6376E AQ6377 光源の特性評価 AQ6377 可視光（VIS）から中赤外光のさまざまな波長域で発光する レーザー吸収分光法は、空気中のガス濃度を検出および測定 DFB-LDやFP-LD、VCSELは、アプリケーションの異なる多 するために使用される測定技術です。使用されるレーザーは吸 くの分野で使用されています。 収分光法の検出限界に大きく影響するため、優れた単一モード ● 通信分野 性能を必要とします。さらに、高感度で検出するために、吸収 ● 医療、バイオ分野（レーザー治療、DNA解析、レーザー顕微鏡） 領域で安定したレーザー発振が求められます。温室効果ガスで あるCO2やSO2、NOX、CH4などは、2〜5 µmの波長域に ● 産業機器分野（レーザー加工、レーザーマーカー） 強い吸収線を持っています。 ● 家電分野（レーザープロジェクタ、次世代光ディスク、LED関連） 　吸収分光法には、DFB-ICLやDFB-QCLなどのレーザーが使 ● 計測、センシング分野（LIDAR、干渉計） 用されます。これらのレーザーの性能を評価するための重要な パラメータは、サイドモード抑圧比と背景雑音光の大きさであ る自然放出光レベルです。両パラメータは、AQ6370シリーズ で正確かつ高速で測定することができます。 スーパー・コンティニウム光源の AQ6374E AQ6375E 特性評価 AQ6376E AQ6377 スーパーコンティニウム光は、短パルスレーザーを非線形光学 材料に入射した際の非線形効果よって生成されます。レーザー の特長であるハイパワー性能と白熱灯などの白色光源がもつ非 常に広いスペクトル（高い空間コヒーレンス性能）を持っており、 シングルモードファイバーとの結合も可能です。 　 DFB-LDの解析結果例（AQ6370E） AQ6370シリーズは、このスーパーコンティニウム光源の特性 評価に要求される広い波長範囲や高い感度と広い測定ダイナ ミックレンジを備えています。 トランシーバ / LDテスト AQ6370E 10 ビットエラーレートテスタ（BERT）などと併用して、トランシー バや、LD（VCSEL）、LEDモジュールを効率良く評価できます。 0 AQ6370Eの解析機能を用いると、光源の中心波長、ピーク -10 Super-Continuum light レベル、スペクトル幅などを瞬時に解析し、その解析結果を表 -20 示できます。 -30 Pump source -40 BERT （PPG/ED） トランシーバ -50 AQ6370E -60 300 600 900 1200 1500 1800 2100 Wavelength [nm] スーパー・コンティニウム光源の測定例（AQ6374E+AQ6375E） Output Power [dBm]

アプリケーション AQ6370 series 12 パッシブコンポーネント テスト 可視LEDの評価 AQ6373E AQ6374E 白色光源、ASE光源などの広帯域光源と組み合わせることによ 照明やディスプレイ、計測など多分野に応用される可視光LED り、WDMフィルターやファイバー・ブラッグ・グレーティング の発光スペクトルを測定し解析を行います。 （FBG）などのパッシブデバイスの評価も簡単に行えます。 大口径ファイバーに対応したAQ6373EおよびAQ6374Eで AQ6370シリーズの優れた光学特性が、高分解能でより高ダ は、光を効率的に取り込みます。光スペクトルを測定し、標準 イナミックレンジの測定を可能にします。 搭載の色度解析機能により、ドミナント波長や色度座標ｘ, ｙ, フィルター解析機能により、ピーク/ボトム波長、レベル、クロ ｚ、色温度を評価できます。 ストーク、およびリップル幅などを同時に測定できます。 広帯域光源 DUT LED光源 AQ6374E FBG, WDM, ROADM, WSS AQ637x 光ファイバーの損失波長特性評価 AQ6374E 光ファイバーは伝搬する光信号の波長によって損失値が異なり ます。これは主に光ファイバー自身の吸収とレイリー散乱の影響 によるものです。ファイバーの材料や種類により損失値は異なり、 石英シングルモードファイバーの場合、1.55 µm付近での損失 が0.2 dB/km程度と最も小さくなります。また、1.4 µm付近 にはOH基による大きな損失が発生します。この光ファイバーの 損失波長特性では広い波長範囲での測定が求められます。 AQ6374Eは白色光源との組み合わせにより、各種光ファイバー の損失波長特性を広波長範囲で効率よく測定します。 白色LEDの色度解析例（AQ6374E） リファレンス 透過データ 波長損失特性 データ 大口径ファイバーの波長損失特性測定画面例（AQ6374E）

13 AQ6370 series アプリケーション パッシブコンポーネント テスト AQ6370E AQ6373E AQ6374E ガスの吸収スペクトル測定 AQ6370E AQ6374E AQ6375E ファイバー・ブラッグ・ グレーティング（FBG） AQ6376E AQ6377 AQ6375E AQ6376E AQ6377 の特性評価 スーパーコンティニウム（SC）やスーパールミネッセントダイオー ド（SLD）のような広帯域光源とともに用い、AQ6370シリーズ ファイバー・ブラッグ・グレーティング（Fiber Bragg Grating, はガスの光吸収スペクトルを測定できます。 FBG）は、光ファイバーコアのある区間に生成されたグレーティ ング（回折格子）により、特定の波長を反射し、他のすべての 波長を透過する光部品です。 光ファイバーコアに生成した誘電体ミラーにより周期的屈折率 の変化を発生させ、その変化がグレーティング（回折格子）とし て働くことで、反射条件を満たす波長だけを反射します。 このFBGは特定の波長をブロックするインライン光学フィル ターとして使用することができます。 FBGの主な用途として、光通信システムでは、光サーキュレー タや光アドドロップマルチプレクサ（OADM）、光マルチプレク サおよびデマルチプレクサに使用されます。 2〜3 µmの領域のFBGは、歪みや圧力、温度センサーとして も使用されています。 このFBGの特性を評価するためには、AQ6370シリーズの高 い波長分解能と広い測定レンジが不可欠です。 シアン化水素H13C14Nの光吸収スペクトル測定例（AQ6375E） 光ファイバー ⩘ �| |� no n | | 1 n2 光ファイバーコア n3 コアの屈折率 n n3 n2 スペクトル応答 P P P 入力光 透過光 反射光

AQ6370E AQ6370 series 14 AQ6370E 光通信の波長に最適化された 高性能 光スペクトラムアナライザ 研究開発から製造まで幅広く使用できる通信波長帯モデルです。 主な特長 標準および高性能モデル 高波長確度：±0.008 nm typ. 高い測定性能を誇る標準モデルのほか、より高い波長確度とダイ S、C、Lバンドにて、高い波長確度を実現しています。また、 ナミックレンジを実現した高性能モデルをラインアップしました。 600 nm〜1700 nmの全波長範囲においても±0.1nmの波長 精度を維持します。内蔵の波長基準光源（オプション）または外 波長範囲：600 nm〜1700 nm 部光源で校正することで高い波長確度を維持できます。 広い波長範囲をカバーします。AQ6370Eはシングルモードな 波長範囲 標準モデル 高性能モデル らびにマルチモード伝送のスペクトル測定に適しています 1520〜1580 nm ±0.008 nm 1450〜1520 nm ±0.015 nm 1580〜1620 nm ±0.015 nm クラス最高の波長分解能：20 pm コンパクトながら高性能なモノクロメータを搭載。高い分解能 表中の波長確度は代表値です。 により近接した信号も分離して正確に測定します。また、測定 用途に合わせ、0.02 nm〜2 nmの範囲で7段階の中から波 高ダイナミックレンジ：78 dB typ. 長分解能を選択できます。 ピーク波長近傍の迷光を低減し、高ダイナミックレンジを実現 しました。高性能モデルでは標準モデルよりもピーク波長 広い測定レベルレンジ：＋20 dBm〜－90 dBm ±0.2 nm以内のダイナミックレンジが向上しています。 光アンプおよびラマンアンプ用のポンプレーザーなどの高パワー の光信号から微弱な光信号まで短時間で正確に測定します。 よりシャープなスペクトル測定：HCDRモード 測定アプリケーションや測定スピードなどの条件に応じて、7段 HCDR（High Close-in Dynamic Range）モードは、単一縦 階の中から、適切な測定感度設定を選択できます。 モードレーザー測定向けの機能です。 ピーク付近のスペクトル波形をよりシャープに測定することがで 従来比 最大2倍の高速SMSR測定：SMSRモード * き、サイドモードを明確に可視化します。 SMSRモードは、レーザー光のSMSRを このモードは高性能モデル（-20）にのみ搭載されています。 より高速に測定するための感度設定です。 従来の感度モード（TRAD MIDx2）に比 べ、最大2倍の速度でSMSRを測定でき HCDRモード ます。 ON * 光スペクトルのレベルによっては高速測定できない OFF 場合があります。 APCレベル補正機能 アングルタイプの光コネクタ使用時の挿入損失を補正します。 分解能校正機能 外部光源を使用し分解能帯域幅を校正します。本機能により、 広いスペクトル特性を持つ光源のパワースペクトル密度をより HCDRモードの測定例 正確に測定できます。 分解能：0.02 nm、高性能モデル

15 AQ6370 series AQ6370E 主な仕様 項目 仕様 モデル 標準（-10） 高性能（-20） 波長範囲*1 600〜1700 nm スパン*1 0.1nm〜1100 nm（全波長範囲）、0 nm 波長確度*1, *2, *5 ± 0.02 nm（  1450〜1620 nm、±0.015 nm typ.）、 ± 0.01nm（  1520〜1580 nm、±0.008 nm typ.）、 ± 0.10 nm（  全波長範囲） ± 0.02 nm（  1450〜1520 nm、1580〜1620 nm、±0.015 nm typ.）、 ± 0.10 nm（  全波長範囲） 波長直線性*1, *2, *5 ±0.01nm（1520〜1580 nm）、±0.015 nm（1450〜1520 nm、1580〜1620 nm） 波長再現性*1, *2 ±0.005 nm（1分間） 波長分解能設定*1, *2 0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1、2 nm 分解能帯域幅確度*1, *2 ±5%（1450〜1620 nm、分解能設定：0.1〜2 nm、外部DFB-LDによるユーザー分解能校正後、校正波長にて） 最小サンプル分解能*1 0.001nm 波長サンプル数 101〜200001、AUTO 測定感度設定 TRADモード NORM_HOLD、NORM_AUTO、NORMAL、MID、HIGH1、HIGH2、HIGH3 SMSRモード MID/SMSR、HIGH1/SMSR 高ダイナミックモード SWITCH（感度設定：MID、HIGH1〜3） レベル感度*2, *3, *4, *7 －90 dBm（1300〜1620 nm）、－85 dBm（1000〜1300 nm）、－60 dBm（600〜1000 nm）（感度設定：HIGH3） 最大入力パワー*2, *3 ＋20 dBm（1チャネルあたり、全波長範囲） 最大安全入力パワー*2, *3 ＋25 dBm（全入力パワー） レベル確度*2, *3, *4, *6 ±0.4 dB（1310/1550 nm、入力レベル：－20 dBm、感度設定：NORMAL、MID、HIGH1〜3） レベル直線性*2, *3 ±0.05 dB（入力レベル：－50〜＋10 dBm、感度設定  HIGH1〜3） レベル平坦性*2, *3, *6 ±0.1dB（1520〜1580 nm）、±0.2 dB（1450〜1520 nm、1580〜1620 nm） 偏波依存性*2, *3, *6 ±0.05 dB（1550/1600 nm）、±0.08 dB（1310 nm） ダイナミック 分解能：0.02 nm 55 dB（ピーク波長 ±0.2 nm）、37 dB（ピーク波長 ±0.1nm）58 dB（ピーク波長 ±0.2 nm、60 dB typ.）、45 dB（ピーク波長 ±0.1nm、50 dB typ.） レンジ*1, *2, *8 分解能：0.05 nm 73 dB（ピーク波長 ±1.0 nm）、62 dB（ピーク波長 ±0.4 nm）73 dB（ピーク波長 ±1.0 nm、78 dB typ.）、64 dB（ピーク波長 ±0.4 nm、70 dB typ.） 45 dB（ピーク波長 ±0.2 nm） 50 dB（ピーク波長 ±0.2 nm、55 dB typ.） 分解能：0.1nm 57 dB（ピーク波長 ±0.4 nm）、40 dB（ピーク波長 ±0.2 nm）60 dB（ピーク波長 ±0.4 nm、67 dB typ.）、45 dB（ピーク波長 ±0.2 nm、50 dB typ.） 迷光抑圧比*7, *10 73 dB 76 dB（80 dB typ.） 光反射減衰量*11 35 dB typ（. Angled PCコネクタ使用時） 適合ファイバー SM（9.5/125）、MM（GI 50/125、GI 62.5/125、大口径：コア径 〜200 µm） 光コネクタ 光入力：AQ9447（□□）コネクタアダプタ（オプション）、校正用光源出力：AQ9441（□□）コネクタアダプタ（オプション） □□：コネクタタイプ（FC、SCのいずれか） 内蔵校正用光源*12 波長基準光源（アライメントおよび波長校正用） 掃引時間*1, *7, *9 NORM_AUTO：0.2秒、NORMAL：1秒、MID：2秒、HIGH1：5秒、HIGH2：20秒、HIGH3：75秒 ウォームアップ時間 1時間以上（ウォームアップ後、内部光源によるアライメント調整が必要） *1： 横軸スケール：波長表示モードにて   *6： 分解能設定0.05 nmにおいては、23 ±3℃ *2： 9.5/125 µmシングルモードファイバー（PC研磨）、ウォームアップ1時間後、内蔵波長基準光源あるい   *7： 高ダイナミックモード：OFF、パルス光測定モード：OFF、分解能補正：OFF は単一縦モードレーザー（波長：1520〜1560 nm、ピークレベル：－20 dBm以上、レベル安定度：   *8： 1523 nm、高ダイナミックモード：SWITCH、分解能補正：OFF 0.1dBpp以下、波長安定度：±0.01nm以下）にてアライメント調整後   *9： スパン：≦100 nm、サンプル数：1001、平均化回数：1 *3： 縦軸スケール：絶対値レベル表示モード、分解能設定：≧0.05 nm、分解能補正：OFF *10： HeNeレーザー（1523 nm）入力時、分解能0.1nm、1520 nm〜1620 nm、ただし、ピーク波長±2 nm *4： 9.5/125 µmシングルモードファイバー（JIS C 6835におけるSSMAタイプ、PC研磨、モードフィール を除く ド径：9.5 µm、NA：0.104〜0.107）使用時 *11： 当社の基準Angled PCコネクタつきシングルモードファイバー使用時、PCコネクタ使用時は、  *5： 内蔵の波長基準光源あるいは単一縦モードレーザー（ピークレベル：－20 dBm以上、波長範囲1520 15 dB typ. 〜1560 nmにおいて絶対波長確度±0.003 nm以下）での校正後 *12： オプション

AQ6373E AQ6370 series 16 AQ6373E 可視レーザー測定に最適な 高性能光スペクトラムアナライザ 近紫外から近赤外波長に対応し、研究開発から製造まで幅広い用途で使用できる、高性能光スペクトラムアナライザです。 主な特長 波長範囲：350〜1200 nm 波長分解能設定： 0.01*〜10 nm（高分解能モデル） 0.02〜10 nm 分解能：0.01nm （標準モデル、リミテッドモデル） 分解能：0.02 nm 高分解能モデルは、可視レーザーの光スペクトル評価に最適です。 *0.01nmは波長範囲350〜600 nmで設定可能。 広い測定レベルレンジ：＋20 dBm〜 －80 dBm 波長確度：±0.05 nm ダイナミックレンジ：60 dB以上 色度解析機能（ドミナント波長、色度座標、色温度） 高分解能モデルによる可視（緑色）レーザーの測定例 主な仕様 項目 仕様 モデル 標準（-10） 高分解能（-20） リミテッド（-00） 波長範囲*1 350〜1200 nm スパン*1 0.5 nm〜850 nm（全波長範囲）、0 nm 波長確度*1 ±0.05 nm（633 nm）、±0.2 nm（400〜1100 nm）（633 nm He-Neレーザーによる波長校正後） 波長分解能設定*1, *2 0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1、2、5、10 nm  0.1、0.2、0.5、1、2、5 nm 高分解能モード設定*1 なし 0.01nm（測定波長範囲：350〜600 nm） なし 最小サンプル分解能*1 0.001nm 波長サンプル数 101〜200001、AUTO 測定感度設定 NORM_HOLD、NORM_AUTO、NORMAL、MID、HIGH1、HIGH2、HIGH3 NORM_HOLD、NORM_AUTO、NORMAL、MID、HIGH1、HIGH2 高ダイナミックモード SWITCH（感度設定：MID、HIGH1〜3） ※リミテッドモデルはHIGH3を除く レベル感度*3 －80 dBm（500〜1000 nm）、 －70 dBm（500〜1000 nm）、 －60 dBm（400〜500 nm、1000〜1100 nm） －50 dBm（400〜500 nm、1000〜1100 nm） （代表値、分解能：≧0.2 nm、平均化回数：10、感度設定：HIGH3） （代表値、分解能：≧0.2 nm、平均化回数：10、感度設定：HIGH2） 最大安全入力パワー*3 ＋20 dBm（全入力パワー、550〜1100 nm）、＋10 dBm（全入力パワー、400〜550 nm） レベル確度*3 ±1.0 dB［850 nm、入力レベル：－20 dBm、分解能：≧0.2 nm、感度設定：MID、HIGH1〜3、SMF（MFD5 µm@850 nm、NA0.14）］ ※リミテッドモデルはHIGH3を除く レベル直線性*3 ±0.2 dB（入力レベル: －40〜0 dBm、測定感度: HIGH1〜3） ※リミテッドモデルはHIGH3を除く ダイナミックレンジ*1, *5 60 dB（ピーク波長±0.5 nm、分解能：0.02 nm、633 nmにて） 45 dB（ピーク波長±0.5 nm、分解能：0.1nm、633 nmにて） 適合ファイバー SM、MM（GI 50/125、GI 62.5/125、大口径：コア径　〜800 µm） 光コネクタ FCタイプ（光入力および校正用光源出力） 内蔵校正用光源 アライメント用光源（波長基準光源は搭載していません） 掃引時間*1, *4 NORM_AUTO：0.5秒、NORMAL：1秒、MID：2秒、HIGH1：5秒、HIGH2：20秒、HIGH3：75秒　※リミテッドモデルはHIGH3を除く ウォームアップ時間 1時間以上（ウォームアップ後、内蔵光源によるアライメント調整が必要） 使用するファイバーによって機能/性能に制約が生じます。上記の性能を保証する入力ファイバーは測定波長においてシングルモード伝播するSMFです。入力光ファイバーをカットオフ波長以下あるいは、マルチモードファ イバーを使用される場合は、スペックルノイズの影響でスペクトル測定が不正確になる場合があります。特に、コヒーレンシーの高いガスレーザーやLD光源などの測定時には注意が必要です。 *1： 横軸スケール：波長表示モードにて *2： 実際の波長分解能は、測定波長により変化します。10 nm設定時の実力値は最も広い場合で約8 nmとなります。 *3： 縦軸スケール：絶対値レベル表示モード *4： 高ダイナミックモード：OFF、パルス光測定モード：OFF、サンプルポイント数1001、平均化回数1、測定波長範囲450〜470 nmおよび690〜700 nmを含まないスパン100 nm以下 *5：高ダイナミックモード：SWITCH、ファイバーコアサイズ：SMALL

17 AQ6370 series AQ6374E AQ6374E 可視光から通信波長をカバーする 広帯域光スペクトラムアナライザ 可視光や通信波長帯を含む、350 nmから1750 nmの広い波長範囲をカバーします。 主な特長 主な仕様 項目 仕様 波長範囲：350〜1750 nm 波長範囲*1 350〜1750 nm  スパン*1 0.5 nm〜1400 nm（全波長範囲）、0 nm 波長分解能設定：0.05〜10 nm 波長確度*1, *2, *5 ±0.05 nm（633 nm）（633 nm He-Neレーザーによる波長 DFB-LDやVCSELなどの発光スペクトル測定や光ファイバー 校正後）、±0.05 nm（1523 nm）、±0.20 nm（全波長範囲） の波長損失特性などの用途に合わせて、最適な波長分解能を 波長再現性*1, *2, *5 ±0.015 nm（1分間） 選択できます。 波長分解能設定*1, *2 0.05、0.1、0.2、0.5、1、2、5、10 nm 最小サンプル分解能*1 0.002 nm 広い測定レベルレンジ：＋20 dBm〜－80 dBm 波長サンプル数 101〜200001、AUTO 測定感度設定 NORM_HOLD、NORM_AUTO、NORMAL、MID、 波長確度：±0.05 nm HIGH1、HIGH2、HIGH3 内蔵の波長基準光源で波長校正することで高い波長確度を維 高ダイナミックモード SWITCH（感度設定：MID、HIGH1〜3） 持できます。また、He-Neレーザーやアルゴン光源などの外部 レベル感度*2, *3, *6 －80 dBm（900〜1600 nm）、 光源を使用して波長を校正することもできます。 －70 dBm（400〜900 nm） （感度設定：HIGH3） 最大安全入力 ＋20 dBm（550〜1750 nm）、 ダイナミックレンジ：60 dB以上 パワー*2, *3 ＋10 dBm（400〜550 nm）（全入力パワー） レベル確度*2, *3, *4 ±1.0 dB（1550 nm、入力レベル：－20 dBm、 感度設定： HIGH1〜3） 色度解析機能（ドミナント波長、色度座標、色温度） レベル直線性*2, *3 ±0.2 dB （入力レベル：－40〜0 dBm、感度設定：HIGH1〜3） 偏波依存性*2, *3, *4 ±0.15 dB（1550 nm） ダイナミックレンジ*1, *2, *8 60 dB（ピーク波長 ±1.0 nm, 分解能：0.05 nm、 633 nm/1523 nmにて） 適合ファイバー SM（9.5/125）、MM（GI 50/125、GI 62.5/125、大口径：  コア径 〜800 µm) 光コネクタ 光入力：AQ9447（□□）コネクタアダプタ（オプション） 校正用光源出力： AQ9441（□□）コネクタアダプタ（オプション） □□：コネクタタイプ（FC、SCのいずれか） 内蔵校正用光源 波長基準光源（アライメントおよび波長校正用） 掃引時間*1, *6, *7 NORM_AUTO：0.5秒、NORMAL：1秒、MID：2秒、 HIGH1：5秒 ウォームアップ時間 1時間以上（ウォームアップ後、内部光源によるアライメント 調整が必要） *1： 横軸スケール：波長表示モードにて *2： 9.5/125 µmシングルモードファイバー、内蔵波長基準光源にてアライメント調整後、パージガス未 使用時 レーザーと広帯域光源の測定例 *3： 縦軸スケール：絶対値レベル表示モード、分解能設定：≧0.2 nm （5種類のFP-LDとSLD光源） *4： 9.5/125 µmシングルモードファイバー（JISC6835におけるSSMAタイプ、PC研磨、モードフィー ルド径：9.5 µm、NA：0.104〜0.107）使用時 *5： 分解能設定：0.05 nm *6： パルス光測定モード：OFF *7： スパン：≦100 nm（測定波長範囲570 nm〜580 nm、900 nm〜1000 nmを含まないこと）、サン プル数：1001、平均化回数：1 *8：高ダイナミックモード：SWITCH、ファイバーコアサイズ：SMALL

AQ6375E AQ6370 series 18 AQ6375E（ 2 µm） 短波赤外域に対応した 長波長光スペクトラムアナライザ 近赤外域から、環境センシング、医療、バイオで使用される短波赤外域をカバーします。 主な特長 ３モデルで幅広い用途に対応 高い測定性能を誇る標準モデルのほか、広波長帯域光源評価 に最適な波長拡大モデル、生産現場での使用を想定したリミ テッドモデルをラインアップしました。 2010.42 nm SMSR 波長範囲： 1000〜2500 nm* 55.70 dB *波長拡大モデル（-20）の値です。 波長分解能設定： 0.05〜2 nm 測定用途に合わせ、6段階の中から波長分解能を選択できます。* *リミテッドモデル（-01）は4段階 広い測定レベルレンジ： -LD光源の測定例 ＋ 20〜－70 dBm 2010 nm DFB （分解能：0.05 nm、スパン：20 nm） アプリケーションや測定スピードなどの条件に応じて、7段階の 中から適切な測定感度設定を選択できます。HIGH1〜3の感 度設定は高ダイナミックモード（/CHOP）となります。* *リミテッドモデル（-01）は6段階でHIGH2までとなります。 波長確度： ±0.05 nm ダイナミックレンジ：55 dB以上 高分解能、高感度、高ダイナミックレンジなどの優れた光学性 能により、2 µm帯DFB-LDの光スペクトルを正確に測定でき ます。 2 µm帯スーパー・コンティニウム光源の測定例 （波長拡大モデル使用）

19 AQ6370 series AQ6375E 主な仕様 項目 仕様 モデル 標準（-10） 波長拡大（-20） リミテッド（-01） 波長範囲*1 1200〜2400 nm 1000〜2500 nm 1200〜2400 nm スパン*1 0.5 nm〜1200 nm（全波長範囲）、0 nm 0.5 nm〜1500 nm（全波長範囲）、0 nm 0.5 nm〜1200 nm（全波長範囲）、0 nm 波長確度*1, *2, *5 ±0.05 nm（1520〜1580 nm）、±0.1 nm（1580〜1620 nm）、±0.5 nm（全波長範囲） ±0.1 nm（1520〜1620 nm）、±0.5 nm（全波長範囲） 波長再現性*1, *2 ±0.015 nm（1分間） 波長分解能設定*1, *2 0.05、0.1、0.2、0.5、1、2 nm 0.1、0.2、0.5、1 nm 最小サンプル分解能*1 0.002 nm 波長サンプル数 101〜200001、AUTO 測定感度設定 NORM_HOLD、NORM_AUTO、NORMAL、MID、HIGH1、HIGH2、HIGH3  NORM_HOLD、NORM_AUTO、NORMAL、MID、 （HIGH1〜3は、高ダイナミックモード（/CHOP）となります） HIGH1、HIGH2  （HIGH1、2は、高ダイナミックモード（/CHOP）となります） レベル感度*2, *3, *6 －70 dBm（1800〜2200 nm）、  －65 dBm（1800〜2200 nm）、  －67 dBm（1500〜1800 nm、2200〜2400 nm）、  －62 dBm（1500〜1800 nm、2200〜2400 nm）、  －62 dBm（1300〜1500 nm）（感度設定：HIGH3） －57 dBm（1300〜1500 nm）（感度設定：HIGH2） 最大入力パワー*2, *3 ＋20 dBm（1チャネルあたり、全波長範囲） 最大安全入力 ＋25 dBm（全入力パワー） パワー*2, *3 レベル確度*2, *3, *4, *8 ±1.0 dB  ±1.0 dB  （1550 nm、入力レベル：－20 dBm、感度設定：MID、HIGH1〜3） （1550 nm、入力レベル：－20 dBm、感度設定：MID、 HIGH1、2） レベル直線性*2, *3 ±0.05 dB  ±0.05 dB  （入力レベル：－30〜＋10 dBm、感度設定：HIGH1〜3） （入力レベル：－30〜＋10 dBm、感度設定：HIGH1、2） 偏波依存性*2, *3, *8 ±0.1dB（1550 nm） ダイナミックレンジ*1, *2 45 dB（ピーク波長±0.4 nm、分解能：0.05 nm）  40 dB（ピーク波長±0.5 nm、分解能：0.1nm）  55 dB（ピーク波長±0.8 nm、分解能：0.05 nm）  （1523 nm、測定感度HIGH1、2） （1523 nm、感度設定：HIGH1〜3） 適合ファイバー SM（9.5/125）、MM（GI 50/125、GI 62.5/125、大口径：コア径 〜400 µm） 光コネクタ FCタイプ（光入力および校正用光源出力） 内蔵校正用光源 波長基準光源（アライメントおよび波長校正用） 掃引時間*1, *6, *7 NORM_AUTO：0.5秒、NORMAL：1秒、MID：2秒、HIGH1：20秒 ウォームアップ時間 1時間以上（ウォームアップ後、内部光源によるアライメント調整が必要） *1： 横軸スケール：波長表示モードにて *2： 9.5/125 µmシングルモードファイバー、ウォームアップ2時間後、内蔵波長基準光源にてアライメント調整後、パージガス未使用時 *3： 縦軸スケール：絶対値レベル表示モード、分解能設定：≧0.1nm *4： 9.5/125 µmシングルモードファイバー（JIS C 6835におけるSSMAタイプ、PC研磨、モードフィールド径：9.5 µm、NA：0.104〜0.107）使用時 *5： 内蔵の波長基準光源での校正後、サンプル分解能：≦0.003 nm、感度設定：MID、HIGH1〜3（リミテッドモデルは、MID、HIGH１、2） *6： パルス光測定モード：OFF *7： スパン：≦100 nm、サンプル数：1001、平均化回数：1 *8： 分解能設定0.１ nmにおいては、23 ±3℃

AQ6376E AQ6370 series 20 AQ6376E（ 3 µm） 短波赤外から中赤外域に対応した 長波長光スペクトラムアナライザ 環境センシング、医療、バイオで使用される中赤外域をカバーします。 主な特長 主な仕様 項目 仕様 波長範囲： 1500〜3400 nm 波長範囲*1 1500〜3400 nm スパン*1 0.5 nm〜1900 nm（全波長範囲）、0 nm 波長分解能設定： 0.1〜2 nm 波長確度*1, *2, *5 ±0.5 nm（全波長範囲） 測定用途に合わせ、5段階の中から波長分解能を選択できます。 波長再現性*1, *2 ±0.015 nm（1分間） 波長分解能設定*1, *2 広い測定レベルレンジ：＋ 13〜－65 dBm 0.1、0.2、0.5、1、2 nm アプリケーションや測定スピードなどの条件に応じて、7段階の 最小サンプル分解能*1 0.003 nm 中から適切な測定感度設定を選択できます。HIGH1〜3の感 波長サンプル数 101〜200001、AUTO 度設定は高ダイナミックモード（/CHOP）となります。 測定感度設定 NORM_HOLD、NORM_AUTO、NORMAL、MID、 HIGH1、HIGH2、HIGH3 ※HIGH1〜3は、高ダイナミックモード（/CHOP）となります。 波長確度： ±0.5 nm レベル感度*2, *3, *6 －65 dBm（1500〜2200 nm） －55 dBm（2200〜3200 nm） －50 dBm（3200〜3400 nm）（感度設定：HIGH3） ダイナミックレンジ：55 dB以上 最大入力パワー*2, *3 ＋13 dBm（1チャネルあたり、全波長範囲） 高分解能、高感度、高ダイナミックレンジなどの優れた光学性 最大安全入力 ＋20 dBm（全入力パワー） 能により、2〜3 µm帯レーザーの光スペクトルを正確に測定 パワー*2, *3 できます。 レベル確度*2, *3, *4 ±1.0 dB （1550 nm、入力レベル：－20 dBm、感度設定：MID、HIGH1〜3） レベル直線性*2, *3 ±0.2 dB （入力レベル：－30〜＋10 dBm、感度設定：HIGH1〜3） ダイナミックレンジ*1, *2 40 dB（ピーク波長±1nm、分解能0.1nm） 55 dB（ピーク波長±2 nm、分解能0.1nm） 3270.35 nm （1523 nm、測定感度：HIGH1〜3） SMSR 適合ファイバー SM（9.5/125）、MM（GI 50/125、GI 62.5/125、 44.96 dB 大口径：コア径 〜400 µm） 光コネクタ FCタイプ（光入力および校正用光源出力） 内蔵校正用光源 波長基準光源（アライメントおよび波長校正用） 掃引時間*1, *6, *7 NORM_AUTO：0.5秒、NORMAL：1秒、MID：2秒、 HIGH1：20秒 ウォームアップ時間 1時間以上（ウォームアップ後、内部光源によるアライメント 調整が必要） 3270 nm DFB-LD光源の測定例 *1： 横軸スケール：波長表示モードにて （分解能：0.1nm、スパン：50 nm） *2： 9.5/125 µmシングルモードファイバー、ウォームアップ2時間後、内蔵波長基準光源にてアライメン ト調整後、パージガス未使用時 *3： 縦軸スケール：絶対値レベル表示モード、分解能設定：≧0.2 nm *4： 9.5/125 µmシングルモードファイバー（JIS C 6835におけるSSMAタイプ、PC研磨、モードフィー ルド径：9.5 µm、NA：0.104〜0.107）使用時 *5： 内蔵の波長基準光源での校正後、サンプル分解能：AUTO、感度設定：MID、HIGH1〜3 *6： パルス光測定モード：OFF *7： スパン：≦100 nm（波長範囲2200〜2220 nmを含まない）、サンプル数：1001、平均化回数：1