プラズマクリーナー　機種名：PSX307 品番：NM-EFP1A

2023 プラズマクリーナー 半導体組み立てシステム カタログ 機種名PSX307 COST DOWN コスト ダウン に最適 品番 .NM-EFP1A ※オプション構成やお客様仕様によっては 　機械指令及びEMC指令に適合しない 　場合があります。 機 種 名 PSX307 品 番 NM-EFP1A クリーニング方式 高周波平行平板逆スパッタ方式 放 電 用 ガ ス※1 アルゴンガス [ オプション： 酸素 ] 基 板 寸 法 L 50 mm × W 20 mm to L 250 mm × W ※ 2 75 mm（Sタイプ搬送系とローダー / アンローダーのオプション付き） L 50 mm × W 20 mm to L 330 mm × W 120 mm（Mタイプ搬送系とローダー / アンローダーのオプション付き） 基 板 厚 み 0.5 mm ～ 2.0 mm 設備寸法 /質量※3 W 930 mm × D 1 100 mm × H 1 450 mm / 555 kg W 1 764 mm × D 1 100 mm × H 1 450 mm / 850 kg（Sタイプ搬送系とローダー / アンローダーのオプション付き） W 1 764 mm × D 1 100 mm × H 1 450 mm / 725 kg（Mタイプ搬送系とローダー / アンローダーのオプション付き） 電 源※4 単相 AC 200 V、 2.00 kVA [ ピーク時：5.00 kVA ] 空 圧 源 0.49 MPa以上、6.5 L / min (A.N.R.) ※詳細は、仕様説明書を参照願います。 ※1:放電用ガスにオプションの酸素ガスを選択した場合、別途排気希釈用の窒素ガスも必要です。 ※2:W 70.1 mm ～ W 75 mmはチャンバー内電極が別途必要です。 ※3:設備寸法の許容範囲は、±5 mmです。タッチパネル、状況表示灯を除きます。質量は構成により異なります。 ※4:単相 208 / 220 / 230 / 240 Vにも対応しています。

機種名PSX307 品番.NM-EFP1A 極薄金メッキが使える理由 格安の極薄金メッキでは、ダイボンディングキュアの 熱処理により、表面にニッケル化合物が形成されます。 〈プラズマ処理前〉 〈プラズマ処理〉 〈プラズマ処理後〉 このニッケル化合物は、ワイヤーボンディング性を 阻害するために、従来薄い金メッキは ワイヤーボンディングに不向きとされてきました。 PSX307では、アルゴンプラズマ処理により ニッケル化合物を除去し、極薄の金メッキに安定した ワイヤーボンディングを行なうことが可能です。 Auメッキ表面のニッケル分布 プラズマ処理中の基板 処理後のAuメッキ表面 （青色部） （黄色部） 酸素プラズマによる表面改質 搬送系オプション 酸素ラジカルを用いた表面改質により、モールド樹脂密着性、 アンダーフィル濡れ性改善が可能です。【オプション】 〈モールド樹脂密着性〉 〈アンダーフィル濡れ性〉 モールド樹脂とIC保護膜 剥がれ発生 ボイド発生 クラック発生 アンダーフィル モールド樹脂 モールド樹脂とレジスト 基　板 0 20 sec処理 20 5 sec処理 密着強度UP 40 O2プラズマ処理 60 80 M type S type プラズマ未処理 100 Mタイプ搬送系と Sタイプ搬送系と ローダー / アンローダーの ローダー / アンローダーの オプション付きです。 オプション付きです。 未処理 O2プラズマ処理 0 5 10 15 20（mm） 安全に関するご注意 ●ご使用の際は、取扱説明書をよくお読みの上、正しくお使いください。 ●カタログの記載商品を安全に使用して頂くために、取扱いについては稼働時、停止時に拘らず、設備付属の取扱説明書および 　設備の警告を十分確認した上で正しい作業を実施されますようお願い致します。 パナソニックグループは環境に配慮した製品づくりに取り組んでいます 詳しくは こちら ●お問い合わせは… パナソニック コネクト株式会社 プロセスオートメーション事業部 〒571-8502 大阪府門真市松葉町２番７号 このカタログの記載内容は 2023年1月1日現在のものです。 Ver.2023.1.1 © Panasonic Connect Co., Ltd. 2023 ●仕様および外観の一部を改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。　 ●ホームページからのお問い合わせは https://industrial.panasonic.com/jp/r/fw 密着強度 水滴接触角（°）