プラズマクリーナー 機種名：PSX307A 品番：NM-EFP3A

半導体関連システム プラズマクリーナー カタログ 機種名 P SX307A 品番　　NM-EFP3A 基板レベル、ウエハレベルPKGに対応 • 基板やウエハの表面をプラズマにより洗浄・改質し、金属接合性、樹脂密着性を改善。 • 真空チャンバーの大型化により同時処理可能な基板枚数が増え、生産性が向上。 • 独自のプラズマモニター機能でプラズマ安定性をリアルタイムモニターし、異常放電による基板ダメージを回避。 • トレーサビリティー機能を新たに備え、工程品質保証へのお役立ちが可能。 • 多様化する生産形態にフレキシブルに対応し、工程運営をより柔軟にサポート。 • φ 300 mm ウエハ ( リング付き / 無し ) に対応し、ウエハレベルPKGのモノづくりに貢献。 機 種 名 PSX307A 品 番 NM-EFP3A クリーニング方式 高周波平行平板逆スパッタ方式 放 電 用 ガ ス ※1 アルゴン ( オプション：酸素、酸素 ＋ ヘリウム ) 電 源 単相 AC 200 / 208 / 220 / 230 / 240 ±10 V、 50 / 60 Hz、 6.0 kVA 空 　 　 圧 　 　 源 0.49 MPa、 50 L / min ( A.N.R. ) 設 備 寸 法 ※2 W 900 mm × D 1 150 mm × H 1 650 mm 質 量 ※3 630 kg 仕様 ( 対象ワーク ) ※4 基板仕様 リング付きウエハ仕様 リング無しウエハ仕様 サ イ ズ ※5 L 50 mm × W 30 mm ※ 　6 ～ L 350 mm × W 350 mm Φ 300 ※7 Φ 300 詳細は、仕様書を参照願います。 ※1：放電用ガスにオプションの酸素ガスを選択した場合、 ※4：仕様 ( 対象ワーク ) は、いずれか一つの選択となります。 　　 別途排気希釈用の窒素ガスも必要となります。 ※5：厚みについては、弊社へご相談ください。 お客様ワークによる事前確認が必要です。 ※2：タッチパネル、非常停止SW、シグナルタワーを除きます。 ※6：W30以下の場合は、弊社へご相談ください。 ※3：フルオプション時 ※7：リング外形：□380 mm

半導体ウエハ工程から組み立て工程まで、プラズマ洗浄・改質でモノづくりを高品質化 ウエハレベルでのプロセス 基板レベルでのプロセス リング無し リング有り 基板・トレイなど 工程フロー例 モールド ( 前工程より ) 残渣 はんだボール 汚染物 チップ 再配線 ワイヤーボンディング 汚染物 アンダーフィル 再配線・モールド 研磨・ボール搭載 バッググラインディング ダイシング お役立ち例 基板 フリップチップボンディング 絶縁層の塗布前 ボール搭載前 ダイシング後 電極洗浄、表面改質 ・ウエハとの密着性向上 ・電極との密着性向上 ・ダイアタッチ性向上 ・ ワイヤボンディング性向上 絶縁層の配線形成後 ボール搭載後 ・フリップチップ性向上 ・ モールド密着性向上 ・フォトリソ後の残渣除去 ・補強樹脂残渣除去 ・ アンダーフィル濡れ性向上 プラズマモニターによる高位品質管理 多様化する生産形態にフレキシブルに対応 ビューポート パナソニック特許技術 ウエハ 基板 プラズマモニター マガジン 基板 搬送　 ロボット※ 異常放電 アンローダー※ プラズマ しきい値 真空チャンバー モニター 真空チャンバー 信号波形 時間 ローダー※ 不安定な放電状態 ウエハ処理 基板振り分け生産 プラズマ放電自動リトライ / 停止 リング付きウエハ プラズマモニター　無し プラズマモニター　有り 搬送　 ロボット※ 異常放電跡 基板 リング付きウエハ処理 複数基板一括供給生産 ●異常放電による基板ダメージを回避し、不良基板の後工程流出を防ぎます。 ●モニターのログ情報をワーク毎に記録できます。 ( オプション ) ※ 搬送ロボット・ローダー / アンローダーはお客様によるご準備となります。 安全に関するご注意 ●ご使用の際は、取扱説明書をよくお読みの上、正しくお使いください。 ●カタログの記載商品を安全に使用して頂くために、取扱いについては稼働時、停止時に拘らず、設備付属の取扱説明書および 　設備の警告を十分確認した上で正しい作業を実施されますようお願い致します。 パナソニックグループは環境に配慮した製品づくりに取り組んでいます 詳しくは こちら ●お問い合わせは… パナソニック コネクト株式会社 回路形成プロセス事業部 〒571-8502 大阪府門真市松葉町２番７号 このカタログの記載内容は 2024年10月1日現在のものです。 Ver.2024.10.1 © Panasonic Connect Co., Ltd. 2024 ●仕様および外観の一部を改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。　 ●ホームページからのお問い合わせは https://industrial.panasonic.com/jp/r/fw