MECS製を中心に他社で断られてしまったロボットもお気軽にお問い合わせください！
半導体製造装置（CVD・スパッター・エッチャー・インプラ・拡散炉・測長SEMなど）用
6インチ/8インチ ウエハー搬送ロボットの修理を請け負います。
他社で断られることの多いMECS製の旧式ロボットを得意としており、
搬送ロボットを修理することによって廃棄量・コスト削減に寄与します。
その他、アライナー修理も可能です。
詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 6インチ・8インチ ウエハー搬送ロボット修理 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 事例紹介 |
| ファイルサイズ | 1.8Mb |
| 取り扱い企業 | 大成技研株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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6インチ 半導体装置用
8 CVD・スパッター・エッチャー
インチ インプラ・拡散炉・測長SEMなど
MECS製
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ロボット修理を要請されるお客様へ
大成技研のロボット修理
◎大成技研は半導体FAB用のウエハー搬送ロボットを
専門に修理します。
◎大成技研修理班は全国のFABからの対応が可能です
◎旧式のロボットを得意としています
◎他社で修理不可の判断をされたものもTRYしてくだ
さい
◎ロボットの他にもアライナーの修理も可能です
◎MECS製が得意です
◎基盤の修理も可能です
◎修理で復帰させることが大事・使命と考えます
〔大成技研 修理ネットワーク〕
大成技研 ロボット修理班
ウエハー搬送ロボット アライナー/その他
修理パートナー 修理パートナー
エンドユーザー様
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代表的な修理箇所
～MECS UTC-800シリーズの場合～
ドライブワイヤー劣化 ガイドレール劣化
ボールネジ劣化 ギア傷 基板焼傷
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代表的な修理箇所
～MECS UTX-1000シリーズの場合～
タイミングベルト劣化 基板焼傷
ドライブギア交換 ボールネジ劣化
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業務内容 ウエハー搬送ロボット修理仕様
業務内容：6インチ・８インチ ウエハー搬送ロボットの修理
OH箇所：搬送ロボット（ベルト、ドライブワイヤ、摺動部ベアリング、
エンコーダー、電磁弁、内部ケーブル、他）
コントローラー（各部基板、冷却FAN、他）
対象メーカー：MECS他
対象機種：UTC-100/800シリーズ、UTX-1000シリーズ、UTW-3000シリーズ
その他修理：アライナー（OF-250）他
修理期間：お預かり後調査→見積提出→ご注文後約30日～45日
保証：半年間
本業務対応フロー
お客様
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大成技研アペルザ担当
ご連絡
問診調査/修理依頼書等
対応不可判断 対応可能判断
現品送付可能 現品送付不可
大成技研/パートナー協力会社 取扱いの検討
修理判別意見書
御見積書
御承諾 非承認
御注文書 現品返送
O/H修理スタート