ニュートラパックは半導体、液晶製造装置用の排気ガス中の反応物（粉体）を除去するパウダートラップです。
本機は新機構の渦巻き吸着方式の採用によりコンダクタンスに影響を与えずに微粉体を大量に除去します。
加えてトラパックエレメントのマグネット吸着効果により低圧損で完全に粉体をシャットアウトします。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 真空ポンプおよび配管＆除害保護用 粉体除去装置 ニュートラパック |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.5Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 大成技研株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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