ミニマルファブ専用　自動シャトル搬送システム ATS series

ATS series お問い合わせは下記までご連絡ください。 株式会社デザインネットワーク 本社 〒102-0083 東京都千代田区麹町3-6 住友不動産麹町ビル3号館4階 TEL:03-3234-3366 / FAX:03-3234-3367 https://www.design-network.co.jp/ 型式・仕様・その他記載内容は予告なく変更することが ありますのであらかじめご了承ください。 ATS-PKG-22/A 自動搬送システムソフトウェア by ミニマルファブ総合プラットフォーム FOS ATS-PKG-22/A-XXX-ZZ ミニマルファブ統合プラットフォームFOS FOS-AP-22/A 一式 自動搬送システムソフトウェア ATS-AP-22/A 一式 装置間搬送ユニット 装置間搬送ユニット ATS-HD-22/A Ｎ台 簡易版ローダ/アンローダ ATS-ST-22/A-SL 1台 簡易版ローダ/アンローダ ATS-ST-22/A-SR 1台 1

ATS series ATS-AP-22/A ウエハごとにプロセスフローを設定し、それに従って シャトルを自動的に搬送、製造処理をコントロールします。 必要に応じて、シャトルの追い越し・戻りを含めた 左右両方向の搬送を自動で行います。 ミニマル装置を始め、装置間搬送ユニット・簡易版ローダ/アンローダの制御は ミニマルファブ統合プラットフォームである FOS を利用して行っています。 FOS-AP-22/A FOSとは、Factory Operating System（ファクトリーオペレーティングシステム）の略で ミニマルファブにおける各種装置のステータス管理プラットフォームです。 プロセス開始コントロール、データ授受などに関するインターフェースをWebAPIとして ミニマルファブを活用するアプリケーションに提供します。 2

ATS series ATS-HD-22/A ミニマル装置間を跨ぐシャトル搬送が可能になります。 ※本装置の据付には、自動搬送対応PLADが必要です。 仕様 型式 ATS-HD-22/A 外形寸法 幅294mm×奥行119mm×高さ152mm 重量 約3kg ※ミニマル装置から分配 電源 DC24V (最大0.8A) ※ミニマル装置から分配 エア 使用圧力／消費量 0.4 MPa以上 ／ 7.2ℓ/min 主要寸法図 3

ATS series ATS-ST-22/A シャトルの自動供給・回収が可能です。 ローディング又はアンローディングの動作切替が可能です。 ※本装置の据付には、簡易版ローダ/アンローダ用サイドパネルが必要です。 仕様 左側据付 右側据付 型式 ATS-ST-22/A-SL ATS-ST-22/A-SR 外形寸法 幅85mm×奥行422.2mm×高さ673.5mm 重量 約11kg 電源 AC100V 50/60Hz エア 0.5MPa～1.0MPa 左側据付 右側据付 主要寸法図 4