非接触光学式厚みセンサー/超高速面形状および膜厚測定センサ

非接触光学式厚みセンサーCHRocodile 2 ITシリーズ ▪ スキャンレート： 最大70 kHz ▪ 光源：NIR SLD光源 ▪ 厚みレンジ（Siウェハー換算） 1. CHRocodile 2ITシリーズ 8um ~ 1400um(5種モデルでカバー, Si換算) time 2. CHRocodile 2IT DWシリーズ （ドープウェハー用途） Insituウエハ厚みモニタリング測定事例 4um ~ 2000um (3種モデルでカバー, Si換算) 3. CHRocodile 2IT RWシリーズ （粗ウェハー用途） 12um ~ 600um (2種モデルでカバー, Si換算) New 4. CHRocodile 2 SX (1種センサで薄～厚膜広範囲対応) thickness:14µm 0.5um ~ 200um (Si換算) ▪厚み測定で単層、複数層まで測定可能（最大16層）まで可能 ▪同期I/O機能、最大5軸エンコーダー フォトレジスト厚み測定事例 ▪ IF: Ethernet/ RS422 / アナログ出力(2ch） Wafer thickness

Flying Spot Scanner 超高速面形状および膜厚測定センサ 測定機概要 分光干渉測定技術と高速スキャンシステムの結合 超高速測定： 超高速エリアスキャン 70kHzサンプリング Z方向測定範囲： 最大15mm Z方向分解能： 最小1nm New スキャンエリア： Φ40mm, Φ80mm, φ310mm ウエハTTV測定事例 XYステージ不要 12inchウエハの全数検査が可能な高速測定! アプリケーション例 高速ウエハ厚み計測 高速反り、曲げ計測 塗布膜厚み 高速BGA計測 高速PCB基板検査 *高温試験 ウエハ形状測定事例 PCB形状測定

非接触光学式形状及び厚みセンサーCHRocodile 2S/2SEシリーズ ▪ スキャンレート：20kHz(2S), 66KHz(2SE) ▪ 光源：白色LED光源 ▪ 形状及び厚み、薄膜厚み測定用途 ▪ 厚みは最大16層まで同時測定可能 ウエハ厚み測定事例 （プローブ2本使用） ▪ 同期I/O機能付/最大5軸エンコーダー ▪ IF: Ethernet/ RS422/ アナログ出力機能 New 廉価版シングルポイントセンサ CHRocodile Compact/ Mini フォトレジスト厚みと ステップハイト測定事例 表面形状の測定事例 （接触ゲージからの置換）

Chromatic Line Sensor 高スループット3D測定ラインセンサ 測定機概要 角度許容度の高い色収差共焦点原理を利用 CLS/CLS2.0の2種類あり 光源： 白色LED光源 CLS ピッチ幅： 2um~ New ライン幅： 0.96～11.9mm CLS2.0 分解能： 最小20nm 高速測定： 最大36kHz(CLS2.0) *CLSは標準2kHz, CLS2は、標準8kHz レンジ幅・分解能・精度から、各モデルで複数種の測定ヘッドを用意 アプリケーション例 ウエハ/エッジ形状検査 貼り合わせウエハずれ量検査 ワイヤループ/ワイヤボンド検査 バンプウエハ形状検査 バンプウエハ測定事例 ウエハエッジ測定事例

お問い合わせ先：プレシテック・ジャパン株式会社 ■本社 〒141-0032 東京都品川区大崎5-1-11住友生命五反田ビル６F ■電話番号 03-6420-3955 ■メールアドレス ■取扱製品 レーザー切断・溶接ヘッド及びモニタリング 非接触表面及び厚み測定センサー ■ホームページ WWW.PRECITEC.COM/JP/ ■その他 創立 1998年7月 ドイツPRECITEC HOLDINGS 100%現地法人

プレシテックグループ プレシテックは、グローバルカンパニーです。 ▪本社 Gaggenau、 Neu-Isenburg、ドイツ Gaggenau Neu-Isenburg ▪従業員 700 人（全世界） ▪成長率 20% /年 (10年 年平均成長率) ▪レーザー材料加工と光学測定のコア分野で イノベーションとマーケットリーダーを 目指す ▪独立した家族経営企業 ▪研究開発への積極的な投資