静電気対策(ESD 対策) DLCコーティング：THORスリック

スリック ＥＳＤ対策専用設計被膜 THORスリック 3つのポイント Point 1 ＥＳＤ対策専用設計被膜（２タイプ）　 Point 2 表面抵抗値別商品ラインナップ Point 3 低温処理で高い被膜密着性と低発塵性 2022.10

Information THORスリック 膜種 色調 硬さ（Hv）※4 表面抵抗値（Ω） 処理温度（℃） 摩擦係数 ※1 膜厚（µm）※2 耐摩耗性 耐酸化性※3 耐焼付性 耐食性 Coating Color Hardness Sheet resistance Temperature Friction coefficient Thickness Wear resistance Heat proof Seize resistance Corrosion resistance THORスリック 黒　色 1000~2200 105-108 0.10~0.20 1.0~2.0 ◎ × ◎ ◎ Neoスリック 黒　色 1800~2200 106-109 ＜150 0.15~0.20 1.0~2.0 ◎ × ◎ ◎ NeoスリックC 黒　色 1300~2000 103-106 0.10~0.20 1.0~2.0 ◎ × ◎ ◎ ※1）無潤滑ボールオンディスク:SUJ-2 荷重5N 　※2）膜種により特別仕様対応も可 　※3）酸化開始温度 300℃　※4）マイクロビッカース 荷重25g測定値 表面抵抗値（Ω） 導電性 THOR スリック 耐静電性 金属 カーボン シールド 絶縁 NEO スリックC NEO スリック 拡散性 Metal Carbon Shielding Conductive Dissipative Anti-Static Insulative Material 金属 カーボン シールド 導電性 拡散性 耐静電性 絶縁 炭素粉、 非帯電。 ゆっくり 初期帯電を 備考 炭素ファイバ 電荷を逃がす。 電荷をながす。 抑える。 電荷を蓄える。 急速ディスチャージャー スローディスチャージャー 電荷蓄電 マイルドディスチャージ現象 Al2O3 >1013Ω THORスリック・NeoスリックCの特長 Glass 1011～1012Ω 1.低温処理で高い被膜密着性と低発塵性 2.緩やかなESD（Electro Static Discharge：静電気）放電曲線（THORスリック） 3.帯電によるダスト等吸着による生産性低下などの不具合対策 4.より低抵抗化によるESD対策対応の多様化（NeoスリックC） Features of THOR Slick · Neo Slick C THORスリック/Al2O3 105～108Ω 1. Superior adhesion and low wear rates obtained with low temperature deposition technique. 2. Controlled electrostatic discharge (ESD) behaviour (THOR Slick) Decay Time (s) 3. High production yield with improved electrostatic behavior preventing dust adsorption 4. Diversity of countermeasures against ESD damage due to low resistivity (Neo Slick C) 絶縁物と絶縁物上THORスリック被膜のESD挙動 半導体製造前工程▶ウエハホルダ、ウエハ搬送アーム、吸着ステージ　　等々 半導体製造後工程▶パーツフィーダー、ガイド、プローブピン、検査装置、テーブル　　等々 当社のコーティング技術は、製品の寿命や性能を向上させることにより、環境負荷を低減する「環境貢献型製品」です。 日本コーティングセンター株式会社 ■ 本社・工場・関東営業所　 ■ 明石工場　 〒252-0002 神奈川県座間市小松原1-43-34 〒674-0093 兵庫県明石市二見町南二見13-1 TEL：046-266-5800　FAX：046-266-5850 TEL：078-942-2537　FAX：078-942-2538 ■ 名古屋工場第1工場　 ■ 関西営業所 〒482-0017 愛知県岩倉市北島町トウカン31番 〒657-0844 兵庫県神戸市灘区都通2-1-26　 TEL：0587-50-6601　FAX：0587-50-6602 摩耶コート壱番館 6号室 ■ 名古屋工場第2工場・名古屋営業所　 TEL：078-881-9010　FAX：078-881-9011 〒491-0828 愛知県一宮市伝法寺11-1-1 ■ 広島営業所　 TEL：0586-75-0760　FAX：0586-75-0763（工場） 〒730-0012 広島県広島市中区上八丁堀7-1 0586-75-0761（営業） TEL：082-962-7756　FAX：082-962-7757 ■ 佐野工場・北関東営業所　 ■ 西日本営業所　 〒327-0307 栃木県佐野市岩崎町3005-2 〒800-0304 福岡県京都郡苅田町鳥越町1-48 TEL：0283-86-9600　FAX：0283-86-9601 TEL：093-436-1331　FAX：093-436-1414 Surface Voltage (V)