精密洗浄システム

精密洗浄システム High precision cleaning system 精密洗浄システム High precision cleaning system www.preci.co.jp お問い合わせ窓口 株式会社プリス 洗浄機械部 本社・東京事業所 〒110-0016　東京都台東区台東2-11-6 TEL 03-3839-4540　FAX 03-3834-2089 洗浄テストセンター 川崎事業所・パウダーテクニカルセンター 〒332-0004　埼玉県川口市領家1-1-23 〒210-0852　神奈川県川崎市川崎区鋼管通4-16-20 ※東京事業所へご連絡をお願いします。 TEL 044-328-7665　FAX 044-322-7787 川口事業所・バイオテクニカルセンター 〒332-0023　埼玉県川口市飯塚3-16-11 TEL 048-258-5335　FAX 048-258-0463 掲載内容はすべてカタログ発行時有効のものとします。 ©PRECI CO.,LTD. All rights reserved.

精密洗浄システム 精 High precision cleaning system 密 洗 浄 シH1 工業用精密洗浄プロセスにおいて、高い洗浄精度と環境保全を両立させた洗浄システムを提供します。洗 ス テ 浄プロセスについては、超音波洗浄からスプレー洗浄、シャワー洗浄、液中噴流洗浄、ジェット洗浄、バレル ム 会社概要 洗浄、ブラシ洗浄、脱気洗浄、真空洗浄およびそれらの複合型まで総合的にラインナップしています。各種 ラインナップに加えて、ユーザー独自の要求事項に応じたカスタム仕様のシステム設計も行います。 商 号：株式会社プリス 商 標： （ 商標登録第5590786号） 設 立： 2005年8月 資 　 本 　 金： 30,000,000円 代 表 取 締 役：加藤 隼人 水 系 事 業 内 容：＜精密洗浄システム＞ ・ 準 水 工業用洗浄装置／濃縮・脱水・蒸留再生装置／真空乾燥装置／純水製造・再生装置 系 超音波発生装置／その他関連装置 洗 浄 ＜化学機器・装置＞ シ ス スプレードライヤー／スプレークーラー／その他関連装置 洗浄システム設計 テ ム ＜理化学機器・装置＞ 振とう機・振とう培養機／高圧蒸気滅菌装置／その他関連装置 独自の洗浄テストによる検証・評価を踏まえたシステム設計を行うことによ ＜テスト・受託加工・受託測定＞ り、ユーザーの要望に合致した洗浄システムを提供します。搬送方式につい 粉体プロセス／洗浄プロセス ては、ネットコンベヤ搬送やバスケット搬送、フープ搬送など、用途に応じて 社 是：以和為貴 選定することが可能です。制御方式についても、手動機から自動機まで対応 企 業 理 念：真に喜ばれる価値を発想し、具現化する。これにより社会全体の進歩発展に貢献すること。 します。予算に応じて必要最低限の自動化（半自動化）を行うことも可能で 所 属 団 体：日本産業洗浄協議会 す。また、レシピ設定や前後プロセス間の制御についても柔軟に対応しま 溶 日本粉体工業技術協会 剤 す。付帯装置としては、水切り・脱水から真空乾燥、ベーパー乾燥、濃縮、濾過、蒸留再生、純水製造・再生など、 系 東京科学機器協会 洗 プロセスに応じて選定することが可能です。要求される洗浄精度を満たした上で、ランニングコスト（洗浄剤消 浄 シ 費効率や電力消費など）の低減を目指したシステム設計を実現します。 ス テ ム Page Contents 01 会社概要 システム設計フロー 02 精密洗浄システム 05 水系・準水系洗浄システム 洗 07 溶剤系洗浄システム 浄 剤 制 12 付帯装置 ・ 御 洗 ・ 検 機 搬 洗浄 浄 証 器 送 テ ・ プ ス 評 ロ 方 システムの 付 ト 価 セ 式 の 確定 帯 装 ス 決 置 の 決 定 定 1 2

洗浄剤の選定 保有設備 精 精 密 密 洗 浄 水系・準水系、炭化水素系、有機溶剤系、さらには炭化水素系とフッ素系の併用型（コ・ソルベント）まで、あ 洗 浄 シ ス らゆる洗浄剤に対応した洗浄システムを取り扱います。特定の洗浄剤には特化せず、豊富な経験と実績によ 減圧超音波洗浄装置 2槽式シャワー洗浄装置 シ ス テ ム り、ワーク（被洗浄物）の材質や形状および要求される洗浄精度に応じて、最適な洗浄剤の選定を行います。 マイスターα （ネット搬送式） テ ム システム適応分野（実績例） 水溶性フラックス、薄膜フィルム基板、プリント基板、フレキ基板、実装基板、電子部品、精密部品、イメージ 減圧超音波洗浄装置 単槽式超音波洗浄装置 センサー、半導体、セラミックパッケージ、光学レンズ、光学部品、液晶ガラス、フォトマスク、プラスチックレ ンズ、接合レンズ、プリズム、眼鏡レンズ、ポリゴンミラー、樹脂成型品、携帯電話部品、自動車部品、カメラ マイスターβ （ネット搬送式） 水 系 部品、金属精密加工部品、精密ベアリングボール、切削加工部品、メッキ部品、ダイカスト部品、精密プレス 水 系 ・ 準 加工部品、軽合金ダイカスト部品、コピードラム、デポ膜除去　等 ・ 準 水 水 系 系 洗 浄 コ・ソルベント 洗 浄 シ 洗浄テスト 洗浄システム 小型減圧蒸留再生装置 シ ス ス テ テ ム 洗浄テストセンター（埼玉県川口市）において、各種洗浄テストおよび評価・分析業務を承ります。蓄積され ム た経験とノウハウをもとに、ユーザーの要求事項を達成するための最適なシステム条件を提案します。性能 評価に必要な分析・測定もリアルタイムで行い、条件データと合わせてレポートに反映します。 5槽式超音波洗浄装置 吸引乾燥装置 溶 溶 剤 剤 系 系 洗 お申し込みの流れ 洗 浄 浄 シ シ ス ス テ 当社Webサイト内のお問い合わせフォーム、電話、Emai l、Faxにて承ります。お問い合わせ時に、当社書 テ ム ム 式「洗浄テスト確認書」に実施内容を記載して頂きます。確認書はWebサイトからダウンロードすることが できます。実施内容、実施日については、お客様との打ち合わせ後に決定します。 洗 洗 浄 浄 検 お テ テ 証 問 ス ス ・ 実 実 い ト ト 施 合 確 確 施 日 洗浄テスト 付 帯 わ 認 認 内 確 せ 書 書 容 定 実施 付 帯 装 装 置 送 提 確 置 付 出 定 ●…朱色はお客様に実施して頂く項目です。　●…青色は当社が行う項目です。 3 4

水系・準水系洗浄システム プロセスフロー例 精 精 密 洗 Aqueous cleaning system 密 洗 浄 マイクロミスト セパレーター 浄 シ エアーフィルター 排気 排気 排気 シ ス ス テ 純水供給 テ ム ム 真空 ポンプ 真空 ポンプ 第 1槽 第 2槽 減圧超音波槽 減圧超音波槽 第 3槽 純水 純水 吸引乾燥 フィルター フィルター フィルター ヒーター 循環 循環 ポンプ 超音波 ポンプ 超音波 フィルター フィルター 第 1槽 第 2槽 予備槽 予備槽 純水 純水 ブロア 水 UV殺菌灯 UV殺菌灯 水 系 系 ・ ヒーター ヒーター プレフィルター ・ 準 準 水 循環 純水装置 循環 ポンプ ポンプ 純水装置 水 系 系 洗 洗 浄 浄 シ シ ス ス テ 水溶性フラックスの除去洗浄から脱脂洗浄、微細パーティクル除去、精密加工品や半導体部品の精密洗浄 純水 テ ム ム など、幅広い実績を誇ります。システムについては、シャワー洗浄や超音波洗浄をはじめとして、減圧超音 ドライエアー 排気 排気 排気 波、噴流、揺動およびそれらの複合型にいたるまで、あらゆる技術に対応します。搬送方式や制御・自動化 水準、さらには導入後のランニングコストも踏まえて、ユーザーの要望に合致したカスタムメイドのシステ 洗剤洗浄 液切 プレリンス 液切 リンス 液切ブロー 温風乾燥 ム設計を行います。 液切ノズル 乾燥ノズル シャワーノズル シャワーノズル シャワーノズル ワーク投入 ワーク搬出 分野別洗浄システム例 フィルター フィルター 溶 洗剤槽 溶 剤 プレリンス槽 リンス槽 ヒーター 系 ヒーター ヒーター ヒーター 剤 高圧 ブロア ブロア 系 洗 フィルター フィルター フィルター 洗 浄 プレフィルター プレフィルター ポンプ ポンプ ポンプ 浄 シ シ ス ス テ 排水処理 テ ム プリント基板用 ム 金属部品用 縦型カセット搬送式 光学部品用シャワー 電子部品用ネット搬送式 超音波自動洗浄装置 自動シャワー洗浄装置 超音波併用式自動洗浄装置 純水シャワー自動洗浄装置 市水 純水 ドライエアー シャワーノズル 液切 ブローノズル 第 1槽 第 2槽 第 3槽 第４槽 第 5槽 第 6槽 第 7槽 第 8槽 精密金属部品用 液晶ガラス用 プラスチック成型品用 水溶性フラックス用純水 予備洗浄 本洗浄 市水シャワー 市水リンス 純水リンス 純水仕上リンス 液切 熱風乾燥 フィルター 超音波自動洗浄装置 枚葉式シャワー自動洗浄装置 超音波自動洗浄装置 シャワー自動洗浄装置 超音波 超音波 超音波 超音波 超音波 フィルター フィルター フィルター フィルター フィルター ヒーター 付 付 帯 循環 循環 循環 循環 循環 ポンプ ポンプ ポンプ ポンプ ポンプ 排気 ブロア 帯 装 装 置 置 排水処理 排気 ダイカスト部品用 フィルム基板用 光学レンズ用水中噴流 MEMS用 ネット搬送式温水シャワー 純水シャワー自動洗浄装置 超音波併用式自動洗浄装置 純水減圧超音波洗浄装置 自動洗浄装置 5 6

溶剤系洗浄システム システムフロー プロセスフロー例 精 精 密 密 洗 Solvent cleaning system 真空 洗 浄 大気解放 熱交換器 ポンプ 浄 シ 熱交換器 シ ス 洗浄槽 熱交換器 テ 減圧超音波洗浄装置 マイスター ④真空乾燥 ス ベーパー洗浄 真空装置 テ ム 洗浄槽 ム ① ③蒸気洗浄 凝縮装置 熱交換器 超音波 粗 超音波 最強洗浄力、省洗浄剤、全自動 洗 浄 ②仕上洗浄 ポンプ 排液 蒸留器 水抜き 水分分離器 第1貯液槽 第2貯液槽 蒸留再生器 （粗洗浄液） （仕上洗浄液） ヒーター 第二貯液槽 第一貯液槽 給液 ヒーター ヒーター フィルター ポンプ 水 水 系 系 ・ 準 ワーク投入後は、洗浄剤の入れ替えも含めて全 ・ 準 水 系 行程が自動で行われます。粗洗浄および仕上洗 熱交換器 水 大気解放 系 洗 マイスターα 浄後、蒸気洗浄によりリンスを行い、真空乾燥 ベーパー洗浄 洗浄槽 洗 浄 シ 炭化水素系、シリコン系洗浄剤など（防爆対応） に移行します。 浄 真空 ポンプ シ ス 超音波 ス テ ム マイスターβ 給液 テ ム フッ素系、臭素系、塩素系洗浄剤など 蒸留器 フィルター 液循環システム マイスターΩ ポンプ ヒーター 排液 第二貯液槽 ノンハロゲン非引火性洗浄剤など（防爆対応） 冷却管 第一貯液槽 減圧超音波洗浄×浸漬2回洗浄×蒸気洗浄 洗浄槽加熱×真空乾燥 第1貯液槽 第2貯液槽 蒸留再生器 （粗洗浄液） （仕上洗浄液） フィルター 溶 独自の減圧超音波洗浄システムにより、驚異の洗浄力を 減圧下による低沸点乾燥に加えて洗浄槽自体を加熱す 廃液 溶 剤 系 実現すると同時に、洗浄剤使用量の削減（ランニングコ ることにより、卓越した乾燥性を実現しています。深い止 剤 系 洗 ストの低減）を実現しました。自動で洗浄剤を入れ替えて まり穴がある部品あるいは焼結体部品や勘合部のある 吸水フィルター 真空 洗 浄 ポンプ シ 粗洗浄および仕上洗浄の“浸漬2回洗浄”を行います。そ 部品などにも最適です。 浄 洗浄槽内で除去された汚れは、液中に分離・溶 熱交換器 大気解放 シ ス の上で蒸気洗浄によるリンスを行うため、きわめて高水 テ 解し、洗浄剤（液）とともに貯液槽に送られます。 ストレーナー ス 蒸留器 テ ム 準の清浄度を得ることが可能です。 第１貯液槽の液は蒸留槽に送られ、汚れと洗浄 再生液槽 水抜き ム 剤に蒸留分離されます。蒸留再生された洗浄剤 第 2槽 第 3槽 第 4槽 第 1槽 冷却管 減圧超音波 加熱管 ベーパー洗浄 超音波 減圧超音波 洗浄槽 洗浄槽 真空乾燥槽 洗浄槽 封液器 は、第２貯液槽へ供給されます。第１貯液槽は、 貯液槽 超音波 ヒーター 超音波 超音波 エジェクタ 回転バスケット（Type B） かんたん操作で管理もしっかり 第２貯液槽のオーバーフローにより供給されま フィルター 循環 ポンプ フィルター フィルター フィルター す。汚れが濃縮された蒸留槽は、定期的に廃液 循環 排液タンク 循環 循環 ポンプ ポンプ ポンプ 洗浄行程の各段階でワークを回転させることにより、洗 タッチパネルによるシンプルかつ優れた操作性を実現し 処理を行います。 浄性および乾燥性のさらなる向上を図ることが可能で ています。各設定の操作やレシピ作成、管理項目確認な す。深絞り部品や、密着した薄物プレス部品など重なりの ど、分かりやすいユーザーインターフェースを実現してい 多い材料に最適です。 ます。 カスタムメイド設計 付 洗浄工程 基本のシステムフローに加えて、ユーザー独自仕様のシステ 付 帯 ム設計を承ります。インライン型などの自動機を含む各搬送 帯 装 置 方式の選定や制御・コントロール方式など、用途に応じて設計 装 置 全自動 対応することが可能です。また、搬入経路や設置スペースなど ワーク投入 ワーク取出 納入条件についても柔軟に対応します。 ①粗洗浄 ②仕上洗浄 ③蒸気洗浄 ④真空乾燥 7 8

コ・ソルベント洗浄システム 過熱装置内蔵タテ型単槽式超音波自動洗浄装置 精 精 密 密 洗 洗 浄 シ 強力な洗浄力と素早い乾燥を実現 有機溶剤系自動システムの定番 浄 シ ス ス テ ム 洗浄性に優れる炭化水素系洗浄剤を用いて溶解洗浄を行い、その後フッ素系溶 有機溶剤を使用した、全自動型密閉式洗浄システムです。止まり穴切削 テ ム 剤により液置換を行います。異なった二種類の洗浄剤を使用する事により、汚れ 部品やうす物プレス部品などの､ワンパスで精密洗浄を行うことが困難 の種類を問わず、強力な洗浄力と素早い乾燥、完璧な仕上がりを実現します。 P無し な部品に最適です。スーパーヒートと回転バスケットの併用により､強 力な洗浄力を発揮します｡金属脱脂には塩素系「メチレンクロライド」や 適応分野例 臭素系「アブゾール」を使用し、樹脂の洗浄・塵埃除去などには「HFE」 を使用することにより、洗浄能力を最大限に引き出します。 ・ポリゴンミラーなど、精密洗浄が要求される部品 ・水溶性・油性汚れの混合物が付着している部品 ・重なり合っている、または袋穴がある精密金属加工部品 水 ・高温を嫌う電子部品 水 系 ・ 準 システムフロー 特徴 系 ・ 準 水 システムフロー 水 系 系 洗 洗 浄 性 ：過熱蒸気と回転バスケットの相乗効果で､ 洗 浄 トリクレンと同等以上の洗浄性を実現 浄 シ ス スーパーヒート ：過熱蒸気でワークを加温し､シミや結露 シ テ 液面シャワー ス を完全に追放 テ ム 　Ｈ Ｃ ＨＣ 　ＨＣ 　ＨＦＥ 　 ＨＦＥ 　ＨＦＥ ＨＦＥ 真空蒸留機 予備洗浄 仕上洗浄 沸騰すすぎ 超音波すすぎ 蒸気・乾燥 蒸留機 回転バスケット ：密着したうす物･止まり穴に有効 ム 凝縮コイル 凝縮 生 産 性 ：日産100バスケット以上の処理能力(標 水分分離器 コイル ⑥第2液切り 超音波 超音波 準的な洗浄物の場合) 作 業 性 ：作業性の良い投入口高さを実現 フィルター フィルター ③第1液切り 水抜き （690mm） 循環 循環 ポンプ ポンプ ヒーター 超音波 入 操 作 性 ：簡単な粗洗浄から複雑な精密洗浄まで､ ヒーター ④シャワー 口 ヒーター シ タッチパネルのレシピを選ぶだけで自動 フィルター フィルター ⑤第2ベーパー ャ ッ 洗浄 循環 循環 タ ポンプ ポンプ ①第1ベーパー ー 低消耗・低環境負荷 ：溶剤の作業環境濃度が5ppm以下､年 溶 剤 ＨＦＥ 間消費量も標準で1000kg未満を実現 溶 剤 系 ＨＣ リサイクル装置 搬出（手動） 系 洗 浄 ②浸漬洗浄 洗 浄 シ 搬入（手動） シ ス ス テ ム コ・ソルベント洗浄システムの優位性 テ ム ・水系洗浄剤と比較して洗浄力に優れる　 ※シャッター開閉および起動スイッチ操作､バスケットの出し入れは手動となります｡ 炭化水素系洗浄剤 ・油性汚れに対して優れた洗浄力をもつ　 ・蒸留再生によるリサイクルが可能 洗浄工程 ・浸透性が良く、隙間の汚れの除去が可能　 フッ素系溶剤 ・炭化水素系洗浄剤との置換がスムーズ　 ・蒸発潜熱が小さく、乾燥性に優れる　　　 第 回 （ 転 シ 第 付 （１ 浸 冷第１ ャ 過 帯 ２ （第 付 揺 ワ ２ 帯 装 予ベ 漬 浴 熱ベ 乾 置 コ・ソルベント ・優れた洗浄性とすすぎ性を両立し、シミや残渣の無い精密洗浄が可能 熱ー 動 超洗 効液切 ー 蒸ー 燥液 装 切 置 洗浄システム ・フッ素系溶剤でベーパー乾燥を行うため、被洗浄物に対する温度ダ ）パ 音浄 果り 洗 気パ ） ー 波 ） 浄 ー り メージを最小限に抑えるとともに、乾燥時間を短縮させる事が可能 9 10 ( ) ( ･ ･ )

2槽式フッ素系洗浄装置 精 付帯装置 精 密 密 洗 浄 フッ素系溶剤を用いて、パーティクル除去を行います。第１槽で浸漬洗浄、第２槽でベーパー洗浄を行うことにより、高い洗浄精 Incidental equipment 洗 浄 シ 度と乾燥性を実現します。また、大型設備へのスケールアップを行うことも可能です。 シ ス テ ム 仕様 送風式蒸発器 ス テ ム 治 具 寸 法： 150W×150D×100H（mm） 洗浄システムに付帯または内蔵します。洗浄システムからの排液を蒸発・ 超 音 波： 200W／40kHz 濃縮させる事により、排液を大幅に削減します。水系洗浄システムに組み 本 体 外 寸 法： 1000W×600D×900H（mm） 込んだ場合は、次槽へ持ち出された洗浄剤を、再利用する事が可能であ 第1槽（温液）ヒーター： 700W り、洗浄剤の補充回数が低減されます。すすぎ槽へ連続して水を供給出来 第2槽（ベーパー）ヒーター： 700W るので、すすぎ精度が向上します。 ユ ー テ ィリ テ ィ ー：電源 三相200V/220V 冷却水 10L／min 仕 込 み 液 量： 17L 水 水 系 系 ・ ・ 準 準 水 水 系 系 洗 洗 浄 浄 シ シ ス テ 従来の水系洗浄システム例 蒸発器を組み込み、無排水化したシステム例 ス テ ム ム 多孔板を用いた洗浄槽内の濾過システム 洗剤補給 市水補給 市水補給 水分蒸発 洗浄槽に多孔板を設置し、洗浄剤を吐出あるいは回収する事により、槽内の清浄度を高めます。サクションフィルターを通過し 濃縮された洗剤 た洗浄剤は、ポンプにより圧送されてフィルターを通過し、吐出側チャンバーから、槽内に送り込まれます（①）。沈降するパー 洗剤槽 すすぎ槽 純水槽 ポンプ 洗剤槽 すすぎ槽 純水槽 ティクルは、槽下部から排出され（②）、また浮遊するパーティクルは、多孔板から中間チャンバーへ排出されます（③）。浮上す 蒸発器 るパーティクルは、オーバーフローで予備槽へ排出されます（④）。これにより、パーティクルの比重や水流に左右されずに、効 排水 純水器 純水器 率よく浄化をする事が可能となります。また、排出される①～④のバランスは、調整バルブA～Cにより調節する事が可能です。 など など 溶 溶 剤 剤 系 系 洗 浄 熱風真空乾燥装置 洗 浄 シ シ ス ④浮上するパーティクル ス テ テ ム 熱風乾燥および真空乾燥の両機能を備えた複合型の乾燥装置で ム ③ ① 浮 吐 吐 す。熱風乾燥だけでは困難であった袋穴などの乾燥不良を真空乾 遊 出 出 燥により補い、また同時に真空乾燥時にネックとなっていたワーク 中 す さ チ 間 る れ ャ の加温不足の問題を熱風乾燥によりクリアしています。熱風と真 チ 多 パ る多 ン ャ 孔 ー 清孔 バ 空の自動交互運転（サイクルは任意に設定可能）を行う事により、 テ 浄 フロートスイッチ ン 板 ィ 超音波振動子 液板 ー 完全に乾燥させる事が可能です。熱風循環回路にはHEPAフィル バ ー ク ②沈降するパーティクル ターを内蔵し、ミクロンレベルのパーティクルも除去します。 ル 予備槽 洗浄槽 仕様 H 電気ヒーター 本 体 外 寸 法 ： 1400W×950D×1000H（mm） 乾燥室内寸法 ： 410W×410D×420H（mm） 付 調整バルブC 調整バルブB 調整バルブA 帯 真 空 ポ ン プ ： 1.1kW 付 帯 装 F 電気ヒーター ： 10kW 装 置 送 風 フ ァ ン ： 0.4kW 置 SF P F 室内保温ヒーター ： 0.7kW×2 サクションフィルター ポンプ 一次フィルター 二次フィルター 真空到達圧力 ： 102Pa 1μm 0.2μm ユーティリティー ：電源 三相200V/220V エアー源 0.4ＭPa以上 11 12

吸引乾燥装置 4槽式フッ素系水切り乾燥装置 精 精 密 密 洗 浄 水洗浄後のワークをバスケット（洗浄カゴ）に入れたまま水切 IPA置換乾燥に代わる溶剤系水切り乾燥装置です。２種類の 洗 シ り・乾燥を行う装置です。乾燥室の下部からジェット気流で水分 フッ素系溶剤を用いる事で、液管理の簡素化および仕上げ精 浄 シ ス を吸引し、強力に水切りを行います。乾燥室の上部からは温風 度の向上を実現しました。低沸点下による乾燥のため、製品へ ス テ ム を供給します。標準の角バスケットの他に、回転バレルも対応 のダメージを軽減します。持ち込まれる水分を前段で粗取り テ ム 可能です（オプション）。 することにより、仕上げ時の乾燥シミを防ぎます。HFCやHFE も対応可能です。 仕様 システムフロー 本 体 外 寸 法 ： 1000Ｗ×1325D×1000Ｈ（mm） 対応バスケット寸法 ： 250Ｗ×350D×200（+取手130）Ｈ（mm） （ （ 対応バレル寸法 ：対辺160×250Ｌ（mm） 常 Ｈ第 Ｈ 高 圧 送 風 機 ： 1.5kＷ／2.2kＷ（選択可能） 温 Ｆ３ Ｆ第 水 電気ヒーター ： 10kＷ 浸第 Ｅ槽 Ｅ４ 系 漬１ ： 槽 水 系 ・ 準 超槽 エ温 エ：ベ ・ 水 音・ タ液 ター 準 系 波第（ ノ浸 ノ ２ パ 水 ー漬 ー 系 洗 浄 Ｈ槽 超 ー 洗 Ｆ ル音 ル乾 浄 シ ス Ｅ 添 添 シ 波 燥 ス テ ） 加 加 ム ） ） テ ム 炭化水素系小型蒸留再生装置 メモ欄 使用済み炭化水素系洗浄剤の再利用を目的とした蒸留再生装 置です。危険物（第二石油類、第三石油類）も安全に蒸留再生 することが可能な減圧方式を採用しています。サイズはコンパ 溶 剤 クトで、設置場所に困らずに既存の洗浄システムと組み合わせ 溶 剤 系 て使用することが可能です。 系 洗 洗 浄 浄 シ 仕様 シ ス ス テ テ ム 本 体 外 寸 法 ： 800Ｗ×700D×1400Ｈ（mm） ム 蒸 留 能 力 ：最大20L/h 洗 浄 剤 ：各種炭化水素系洗浄剤 （第四類第二石油類、第三石油類該当品） 電 源 ：三相200V/220V 付 付 帯 帯 装 装 置 置 13 14 ※ ※