ナノポジショニング ピエゾ1軸ステージ NPS-X-15

ナノポジショニング　ピエゾ1軸ステージ NPS-X-15A / NPS-X-15B ミリ秒の高速駆動を実行するNPS-X-15A（ステンレススチール製）とNPS-X-15B（アルミニウム 製）は、生産性が重視されるご用途に最適なピエゾステージです。 内蔵する静電容量センサーによって、15ミクロン動作範囲全体に渡りサブナノの分解能を実現し ます。独自のフレクシャーガイドは、ステージ動作を安定させ、動作の歪は5マイクロラジアンに 抑制されています。専用コントローラの制御により、ミリ秒の高速駆動・収束を実現します。 主な特長 主な用途 • 共振周波数は、3500Hz • AFM （ステンレススチール製、荷重無しの場合） • MRヘッド • 0.005%の線形性エラー • 干渉計 • ミリ秒の高速駆動 • 測定 対応コントローラ • QGNPC-D-6110 2022年 4月 現在 本紙の記述内容、仕様値は予告なく変更となることがございます。

ナノポジショニング　ピエゾ1軸ステージ NPS-X-15A / NPS-X-15B 仕　　様　　※カッコ数値はアルミニウム製のNPS-X-15B 材質 ステンレススチール (アルミニウム) サイズ L60 x W40 x H13.5mm 動作範囲 15ミクロン (20ミクロン) 荷重 0g 50g 200g 共振周波数 3500Hz　(6500Hz) 2500Hz 1500Hz 線形性エラー 0.005% 　Max. 0.01% 耐荷重 3kg (0.5kg) ローテイショナルエラー 1urad. 　Max. 5urad. 　性　能　　※カッコ数値はアルミニウム製のNPS-X-15B モード Fast Medium Slow 収束時間 （500ナノステップ、2%以 1.7ms 4.3ms 25ms 内への収束） (1.4ms) (1.6ms) (8.5ms) 位置精度（1σ） 0.1nm 0.06nm 0.05nm (0.13nm) (0.1nm) (0.05nm) 製品価格 製品番号 製品構成 内訳 税抜定価 ① ステンレススチール製1軸ステージ QGNPS-X-15A-D1 　 動作範囲15ミクロン \2,640,000 ② 1軸コントローラ QGNPC-D-6110 ① アルミニウム製1軸ステージ QGNPS-X-15B-D1 　 動作範囲15ミクロン \2,475,000 ② 1軸コントローラ QGNPC-D-6110 ① チタニウム製1軸ステージ QGNPS-X-28C-D1 　 動作範囲28ミクロン、5.5KHz、位置精度50ピコ \3,135,000 ② 1軸コントローラ QGNPC-D-6110 プライアー・サイエンティフィック株式会社 103-0025 東京都中央区日本橋茅場町2-7-10 茅場町第3長岡ビル10F 電話： 03-5652-8831 ホームページ： www.priorjp.co.jp 2022年 4月 現在 本紙の記述内容、仕様値は予告なく変更となることがございます。