ナノポジショニング ピエゾXYステージ NPS-XY-100A

ナノポジショニング　ピエゾXYステージ NPS-XY-100A NPS-XY-100AとNPS-XY-100A-UHVは、独自のフレクシャーガイドと静電容量を搭載し、サブナ ノの分解能と繰り返し精度を持つピエゾXYステージです。NPS-XY-100A-UHVは、10-9 Torrの 超高真空への対応をしています。 有限要素法を用いて開発したフレクシャーガイド搭載によって、XYZの動作の歪みは、100ミクロ ンの動作範囲全体に渡って5マイクロラジアン、最大でも25マイクロラジアンにまで抑制していま す。 スーパーインバー製の筐体は、熱膨張率が極めて小さく（CTE 0.3ppm K-1、アルミは23ppm K-1）、熱ドリフトの問題発生を抑制します。 主な特長 主な用途 • 動作範囲 100 x 100 ミクロン • AFM、SPM • サブナノの分解能 • 高精度な顕微鏡観察 • 線形性エラーは <0.01% • 共振周波数 >350Hz 2022年 4月 現在 本紙の記述内容、仕様値は予告なく変更となることがございます。

ナノポジショニング　ピエゾXYステージ NPS-XY-100A 仕様 材質 スーパーインバー サイズ 100 x 100 x 23mm（開口部Φ40mm） 動作範囲 100 x 100ミクロン 荷重 0g 50g 100g 共振周波数 350Hz 260Hz 120Hz 線形性エラー 0.005%（Max. 0.01%） ローテイショナルエラー 5urad. (Max. 25urad.) 性能 モード Fast Medium Slow 収束時間 （2000nmステップ、2%以 15ms 30ms 130ms 内） 位置精度（1σ） 0.5nm 0.4nm 0.25nm 製品価格 製品番号 構成製品 内訳 税抜定価 ① ピエゾXYステージ （動作範囲: 100ミクロン、超高真空対応スーパーイ QGNPS-XY-100A-UHV-D3 ンバー製）、 ② 1m カプトンケーブル + 4xSMAコネクタ \5,060,000 ③ 専用コントローラQGNPC-D-6330 ※要フィードスルー、エアサイドケーブル別途購入 ① ピエゾXYステージ QGNPS-XY-100A-D3 （動作範囲:100ミクロン、スーパーインバー製） \4,620,000 ② 専用コントローラQGNPC-D-6330 オ プ シ QG242- 超高真空フィードスルー ョ SMADF50-C40-4 4 x SMA DN-40CF \1,045,000 ン RAD HARD １ オ プ エアサイドケーブル 4 x SMAコネクタ/17ピンD-Sub シ QG4SMA-17W-1 1m長 \110,000 ョ QG4SMA-17W-2 2m長 \115,500 ン ２ QG4SMA-17W-3 3m長 \121,000 プライアー・サイエンティフィック株式会社 103-0025 東京都中央区日本橋茅場町2-7-10 茅場町第3長岡ビル10F 電話： 03-5652-8831 ホームページ： www.priorjp.co.jp 2022年 4月 現在 本紙の記述内容、仕様値は予告なく変更となることがございます。