ナノポジショニング ピエゾXYステージ NPS-XY-100D

ナノポジショニング　ピエゾXYステージ NPS-XY-100D NPS-XY-100Dは、独自のフレクシャーガイドと静電容量センサーを搭載し、業界で最も優れた性 能を持つピエゾステージです。 有限要素法を用いて開発したフレクシャーガイドは、100ミクロンの動作範囲全体に渡って、ス テージ動作時のピッチとヨーを、<25マイクロラジアンに抑制しています。 NPS-XY-100Dの筐体はアルミ製でコストパフォーマンスが高く、より高い剛性を必要とするユー ザー様向けには、スーパーインバー製のNPS-XY-100Aとをご用意しています。 主な特長 • 100ミクロンの動作範囲とサブナノの分解能 • 静電容量センサーからのフィードバックにより、0.14ナノの分解能と0.5ナノの繰り返し精度 • 線形性エラーは<0.005% • 高い共振周波数（荷重無しでは780Hz） • 真のプラグアンドプレイ︓各ステージは特性データを保持、コントローラの交換が可能 主な用途 • 電子顕微鏡（AFM、SPM） • 高精度の光学顕微鏡 専用コントローラ • QGNPC-D-6330 2022年 4月 現在 本紙の記述内容、仕様値は予告なく変更となることがございます。

ナノポジショニング　ピエゾXYステージ NPS-XY-100D 仕様 材質 アルミニウム（ニッケル塗装） サイズ 100 x 100 x 23mm（開口部Φ40mm） 動作範囲 100 x 100ミクロン 共振周波数（0g） 780Hz 線形性エラー 0.003%（Typical）(Max. 0.01%) 耐荷重 1㎏（250g以上の荷重の場合はご発注時お知らせください） ローテイショナルエラー 5urad. (Max. 25urad.) 性能 モード Fast Medium Slow 収束時間 （2%以内への収束） 4.0ms 6.0ms - 位置精度（1σ） 0.25nm 0.19nm 0.14nm 繰り返し精度 0.5nm 製品価格 製品番号 製品構成 内訳 税抜定価 QGNPS-XY-100D-D3 ① ピエゾXYステージ 動作範囲:100x100ミクロン ② 専用コントローラQGNPC-D-6330 \4,180,000 ① ピエゾXYステージ 動作範囲100x100ミクロン QGNPS-XY-100D-15B-D3 ② ピエゾ1軸ステージ 動作範囲15ミクロン \5,720,000 ③ 専用コントローラ QGNPC-D-6330 プライアー・サイエンティフィック株式会社 103-0025 東京都中央区日本橋茅場町2-7-10 茅場町第3長岡ビル10F 電話： 03-5652-8831 ホームページ： www.priorjp.co.jp 2022年 4月 現在 本紙の記述内容、仕様値は予告なく変更となることがございます。