ウェーハ観察用 ピエゾZ軸ステージ WP-Z-120A

ウェーハ観察用　ピエゾZ軸ステージ WP-Z-120A WP-Z-120Aは、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステー ジです。300㎜ウェーハ観察を想定し、耐荷重は8㎏、重量のあるウェーハチャックをのせるこ ともできます。 性能面では、クイーンズゲイトコントローラの緻密な制御アルゴリズムと静電容量センサー搭 載から、ナノレベルの誤差を検知・コントローラにフィードバック、超高精度を実現します。 独自のフレクシャーガイド機構により、120ミクロンの動作範囲全体に渡って、スムーズで安 定した動作と超高速での駆動・収束を両立します。 主な用途 カスタム対応 • ウェーハ検査 • 真空対応（HV）、電子顕微鏡真空対応 • 干渉計 • 超高真空対応（UHV）とガス放出を極小に • 電子顕微鏡　SEM/TEM したカプトンケーブル • 光学顕微鏡 • 高耐荷重、14㎏ • ミラー位置決め • ティップティルトとZの組み合わせ • その他検査用途全般 • 長動作、160ミクロン • 200㎜ウェーハ対応 2022年 10月 現在 本紙の記述内容、仕様値は予告なく変更となることがございます。

ウェーハ観察用　ピエゾZ軸ステージ WP-Z-120A 仕様 材質 アルミニウム 塗装 ニッケル（非磁性体） サイズ 375(L) x 375(W) x 30(H)mm サンプル台座サイズ Φ350mm 動作範囲 120um 荷重 0Kg 5.2Kg 8Kg 共振周波数 320Hz 190Hz 155Hz 線形性エラー 0.1% (max. 0.3%) 性能 テスト荷重 0kg 5.2kg 8kg 収束時間 （1umステップ） 9ms 13ms 14ms 収束時間 （30umステップ） 16ms 22ms 24ms 位置精度 1.2nm 1.5nm 1.8nm 繰り返し精度 （60um ステップ） 5.5nm 製品価格 製品番号 製品構成 内訳 税抜定価 QGWP120A-D1 300㎜ウェーハ対応高速Zステージ 動作範囲120ミクロン (コントローラQGNPC-D-6100同梱) \3,400,000 QGWP120A-VAC-D1 QGWP120A-D1の真空対応バージョン \3,600,000 QGWPADAPT1 プライアーH112ステージ取り付けアダプタ \240,000 QGWP30V 150, 200, 300mm バキュームウェーハチャック \700,000 プライアー・サイエンティフィック株式会社 103-0025 東京都中央区日本橋茅場町2-7-10 茅場町第3長岡ビル10F 電話： 03-5652-8831 ホームページ： www.priorjp.co.jp 2022年 10月 現在 本紙の記述内容、仕様値は予告なく変更となることがございます。