小型プラズマクリーナー『KNPC-1』

KNPC-1小型プラズマクリーナー ★ 12インチリング付きウェハ処理が可能！ ★ 表面改質、無機物/有機物汚染除去！ ★ 量産前の評価、研究に最適！ ★ 高速、低価格 適用基板～オプション選択含む ★ 様々なオプション機能 ★ 300mmウェハ、矩形基板への対応可 輻射熱を遮断しダイシングテープを保護 汚染物 Arイオン 300mmフレーム付きウェハ フレーム付きウェハ 300mmウェハ リードフレーム ガラエポ基板 ※テープ基板など各種基板への対応も可能です プラズマクリーナーの具体的用途（例：BGA基板） モールド密着性向上 ワイヤー接合強度 (対IC保護膜) IC モールド樹脂 ワイヤー 向上 モールド密着性向上 (対基板レジスト) 基板 技術本部 092-408-9101 URL http://www.kne-hakata.com

[ 主要性能] ・到達圧力：6.0Pa以下(ガスバラスト閉時） ※最大排気速度500L/min ドライポンプを使用 ・リークレート：1.07 Pa/min以下 ※ビルドアップ基準値：0.1Pa・L / sec をチャンバー容積に換算 ・RFパワー制御：13.56MHz/100～1,000W ※設定値±5%又は±5wのいづれか大きい値 整合範囲 ワイドレンジオートチューニング ウェハ時整合挙動軌跡例 矩形基板時整合挙動軌跡例 スミスチャート上の本装置整合範囲 ・プロセスガス流量制御：設定値に対して±10%以内 ・エッチング性能 独自技術により業界プラズマクリーナーに比べて短時間で処理可能！ 無機物エッチングレート：平均20nm/min以上±20% 有機物エッチングレート：平均500nm/min以上±20% テストチップをφ300電極上5ポイントに配置 ※φ280円周上4点及び中央1点に配置 ※矩形電極［オプション］時は□300コーナー4点及び中央1点に配置 ・プロセス時間 量産機並みのプロセス時間で処理可能！ 1プロセス 30 s 以下 ※排気スタート～ガス導入～放電～ベント完了まで 処理時間 8 s 設定時

[ 主要諸元] 装置寸法 690 mm(W) x 580 mm(D) x 880 mm(H) 処理エリア Φ300mm ［標準］ ※□350mm［選択オプション］ 装置質量 350 kg ※ポンプ含まず 電 源 単相 AC200V ±10％ 50/60Hz 3.0 kVA エアー源 0.4 MPa以上 0.6 MPa 以下 操作部 4.3 型TFTカラー液晶モニター、非常停止、USBポート1ヶ RF電源 最大1kW : 13.56MHz ※総合通信局への申請が必要です ガス源 Ar1系統標準：0.1～0.15MPa ※O2［追加オプション］ 真空ポンプ 最大排気速度：500 L/min 本カタログの内容は、2021年9月現在のものです。品質向上や機能改善のため、予告なく変更になることがあります。 KNE販売サービス株式会社 KNE 株式会社 技術本部 〒818-0041 福岡県筑紫野市上古賀3－2－16 クリエイション・コア福岡 212 https://www.kne-hakata.com info@kne-hakata.com 電話 092-408-9101 880 1 410 (蓋全開時)