ウエハリング（バラ/トレイ）供給対応 高速ハンドラー装置　BITA-2KWD

ウエハリング供給対応 BITA-2KWD 高速ハンドラー装置 ★ 最大25,000UPHの高速移載！ ★ 剣山ユニットによる ★ 高精度±0.02mmの収納！ ウエハチップの高速移載 ★ ソフトハンドリング ダメージレス収納 ★ 部品ダメージレス （単純なシート剥離の為、部品にダメージを与えない） 極薄部品、微細部品に優しい吸着・収納 剣山ユニット ダイシングテープ：真空引き後の形状 剣山ユニット上のウエハチップ １６ノズルロータリーヘッド ウエハリング供給対応の「剣山」ユニット 技術本部 092-408-9101 URL http://www.kne-hakata.com

ウエハリング供給の部品をダメージレスで吸着・移載する、 高速のハンドラー装置！ シリコンチップなど、ダイシングシート貼付状態で供給される部品を ＫＮＥ製ロータリーヘッドによる高速ピックアップを可能にするシステムです。 1．ウエハリング供給部品を吸着可能な状態にする「剣山」ユニット UV硬化と加温によりシート粘着力を低下させたうえで 剣山形状の針の先端で部品を支持しながら シートをエクスパンド、さらに下方へ真空吸引することで シート粘着力を極小化します。 「剣山」ユニットのプロセスは、一般的な突き上げ方式と 異なり、部品に力学的ストレスを与えることなく ソフトな 吸着可能な状態を実現しています。 ・ 剣山対象部品寸法 ： 1 x 1 mm ～ 15 x 15 mm ・ 対象ウエハリング ： 4, 6, 8, 12※インチフラットリング ・ 温度設定範囲 ： 40℃ ～ 100℃ （※ 2021年9月現在、12インチ対応は開発中） 「剣山」部拡大 2．繊細な部品に優しい、ダメージレス吸着・収納 吸着時と収納時に部品に与えるダメージをなくすため、微細な「すきま」を維持した 高さへノズルを位置決めする高精度な高さ（Z軸）制御を行います。 また、高度な真空圧制御を行い、吸着・収納品質を安定させています。 リアルタイム 真空破壊制御

3．１６ノズルヘッドによる高速移載 ： 最大25,000UPH 移載ヘッドには高速自転・公転する16本のノズル を備え、1往復のX軸動作で16個の部品を一気に移 載します。特に、移載機BITA-2では、部品姿勢認識 にラインカメラを採用し、吸着部から収納部へ停止 することなく移動することにより、最高タクト25,000 UPHを実現しました。 関与する 最高タクト 装置タイプ 移載対象部品寸法 ノズル本数 [UPH]※2 移載機 □0.1mm～□6mm 16本 25,000 1面検査 BITA-2 □6mm～□15mm 8本 17,000 ※2 最高タクトには吸着・装着時の移動量など一定の条件があります。 UPHは1時間あたりの収納数を表す単位です。 4．微細部品の高密度収納を可能にする高精度 ： ±0.02mm（実力値※） XY軸の高精度制振制御、高精度部品姿勢認識、 超狭隣接収納 自動キャリブレーションにより、±0.02mm(※)の高精度収 納を実現しました。これにより、高密度（狭ピッチ）収納が 品質特性 X Y R 単位 μm 可能になります。（※ 保証値は±0.05mm） 測定精度（±***μm） 20 5 測定数　n 80 80 80 品平質均特　μ性 -X1.46 -Y5.10 R-0.18 標準単偏位差　σ 3.3 μ6m.6 0.4 測定最精大度値（±　M**A*μX m） 6 .0 20 16 .0 15.4 測定数　n 80 80 80 最小値　MIN -12.0 -17.0 -0.8 平均　μ -1.46 -5.10 -0.18 上標限準規偏格差　　UσSL 32.30 62.60 0.45 下限規格　LSL -20 -20 -5 最大値　MAX 6 .0 16 .0 1 .4 （USL-μ）/3σ 2.16 1.28 4.23 （μ-LSL）/3σ 1.87 0.76 3.93 最小値　MIN -12.0 -17.0 -0.8 工程能力指数Cp 上限規格　USL 2.02 1.02 4.08 20 20 5 下限規格　LSL -20 -20 -5 工程能力指数Cpk （USL-μ）/3σ 1.87 0.76 3.93 2.16 1.28 4.23 （μ-LSL）/3σ 1.87 0.76 3.93 工程能力指数Cp 2.02 1.02 4.08 5．更なる自動化、高品質化のための、様々なオプシ工ョ程ン能力機指数C能pk 1.87 0.76 3.93 ・部品の寸法に応じて選択可能な ノズル ＆ 剣山 ラインナップ ・幅広い部品寸法に人手を介さず対応するノズル自動交換 ・装着品質を更に向上させる高さ計測ユニット ・収納後の部品状態を確認する収納後検査 様々なオプション機能を準備しています。 ノズル自動交換 高さ計測と補正 収納後検査 ノズル（代表例）

6．生産をサポートする様々な機能 ・直感的でわかりやすい操作系、テータ編集 ・作業ミスをなくす、階層別操作モード ・各動作を単独で実行させる、マニュアルモード ・装置間の差をなくす自動キャリブレーション、等 本装置操作画面事例 [ 主要諸元] 本図は標準装備されるカバーを取り外した 状態のものです。また、本図に描かれている ローダー、アンローダーはオプションです。 ※ 1,300 mm(W) x 1,200 mm(D) x 1,710 mm(H) 装置寸法 （シグナルタワー、タッチパネル含まず） 装置質量 800 kg 電 源 3相 AC200/220/240/380/400/415V ±10％ 50/60Hz 5kVA エアー源 0.4 MPa以上 0.8 MPa 以下 操作部 17型LCDタッチパネル 最大4系統 カメラ （C1:位置認識 C2:表面検査 C3:トレイ認識 C4:裏面検査) ※ローダー、アンローダーを含まない、設備本体の寸法です。 本カタログの内容は、2021年9月現在のものです。品質向上や機能改善のため、予告なく変更になることがあります。 KNE販売サービス株式会社 KNE 株式会社 技術本部 〒818-0041 福岡県筑紫野市上古賀3－2－16 クリエイション・コア福岡 212 https://www.kne-hakata.com info@kne-hakata.com 電話 092-408-9101