ODM/OEM 28年の経験により高品質の製品を短開発期間で提供　競争力ある高精度と高い安定性を実現

可 ｰ ダ L L L 啄 Commitment to quality and pursuit of perfection 7 E C H 品質にコミットし完檗を追求 L a n d 二 - 一 ● １ １ １ １ １ １ １ 』 O D ロ L With 28 years of experience, we provide high-quality products in a short development period. Achieves competitive high precision and high stability 28年の経験により高品質の製品を短開発期間で提供 競争力ある高精度と高い安定性を実現

0 P r k i s i ◎ 睡 e 舵 愈 & T F W F … 胸 Systematization and multi-step 銃．． 糊 precision manufacturing programs ！ 騨 f J 1 1 L 一 - 5 曲 , ニー ーーニ ー ー ー ̅ ‘ - 』 ensure good platform accuracy and effectively achieve wafer inspection standards M システム化とマルチステップ精密製造プ ログラムは良好なプラットフォームの精 度を保証し、効果的にウエハ検査の標準 規格を達成 ＞ Choice of pedestal Granite or Steel tonstruction as platform ; q ぽ ＝ 塵 プラットフォームとしてグラナイ 卜 ，● 、 Pタ (石定盤）または鋼構造を使用 0 ｡ ● ■ > Can be specified 僻 X, Y Z, e-axis stroke and accuracy to meet customer needs ニーズに応じたX、Y、Z、 8軸の ストロークと精度に対応 ＞ Customized service > Gantry format Gbaannttrryy (TfiIxed ttyypPe,, mmoovvaable ttype, ca ntilever Developed and produced by a type) are available upon request. professional engineering team ご要望によりガントリ -（固定式・可動式． プロの技術チームが開発 ･制作を担当 片持ち式)など設計対応可能

､l ーｖ ouh avea nyo' ot- 、hth- 全eeロrrnー ne●e且ee l - -.d、s sW:, weellccoqm-j．ne4g口m書W_火q云!!さsCuss一ｖノ 、ニ Ｉニ 己の他ご要望がござざいまましたら、ご相談下さいロ ll J e e l B a S e ､ ｣ 、 ■ 一 一 一 三三 stroke range Z3000 mm ストローク範囲(mm) Minimum resolution Z0.05 Pm/pulse 最小分解能(u m/puIse) ユ r r P I P r a Y l 【 ● Z 1 G ]弓束l弓 Speed Ripple ≦0 . 2 0％ ス ピー ド リップル p it c h ／l yaw - l ≦5Arc-sec／m X/Y/Z axiS Straig htness SPECIFICATION S (vemcal/ho rizo ntal) ≦5 IIm/m 真亘度(垂亘/水平） 仕様 Repeatablllty 繰り返し精度 ≦0.3 um Mo t o r Linear Motor/Stepper Motor/Servo モーター M o t o r Sin9le-axis drive/Double-axis 』 simultaneous drive Drive ty p e ドライブタイプ (Gantry column) 単軸駆動・2軸同時駆動 （ガントリーコラム） Ru nout ≦5 1im/rev e axis M i n i m um r e s o l u t i o n 最l 小分解能 24 bit / rev M o t o r Direct drive motor/sen/o motor Env i r onmen t Classification of air cleanliness ISO 1 環 境 Others Type ，| Air Suspension その杣 Damping system 制 震 システム Natural frequency (vertical/ho rizontal)′ 2 . 5～3Hz 固有振動数(垂亘/水平） A-TECH SYSTEM CO., LTD. No.1 8, 32 th Rd., 1aichung lndustrial Park. Taichung City 40768, Taiwan (R.0.C.) TEL: +886-4-23500837 FAX: +886-4-23551 375 E-mail: salesl @atechsystem.com.tw www . a t e c h - t w . c om ’

AZlFChHs.st ixe mperature- tEgWQlEdro omga, hdiffre cord&ealPe9aEchWd aet a9tot nh dec MM iJMIMW WM;el{ TEA 録ル C-Hはー6室ムがあの温度制御している作業 ドししてて管、 り 理各 、さ して別 らに いにるク 温ラウ度ドやに湿アッ度プロをー記 4"LIr9FcyP nfirmatiounsi ng 5pecPlizede quipmenst ucfiasla se｢ interferometgrasn edle cfr6hEleVa me t e r s レーザー干渉計、電子レベル計など專 門器具による精度確認 鰹 ” BaSedo nt hep rinciplee sso ofq ualitym anagement, A-TECHC anp rovidec onstantp rodUctione Verym onth. 品質管理の上で、 AE-TC Hは毎月定数定量生産に対応可能