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Quadra(TM)シリーズ X線検査装置によって、 光学観察ではできないデバイスやコンポーネ ントの深層内部の画像を、非破壊・最大倍率 68,000倍にて観察することができます。
Quadra(TM)は、これまでにない非常に優れた画像を表示し、非常に小さなものであっても見ることができ、不良を迅速に見つけることができます。自社設計の高性能X線発生器やディテクターによって、最少100nmの形状を認識し、最大68,000倍まで拡大することができます。
◆独自の特許技術
◆最高レベルの解像度
◆超微細部分の鮮明化
◆完全な画像
◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
このカタログについて
ドキュメント名 | X線検査装置 Quadra(TM)シリーズ |
---|---|
ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 2Mb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | オーヨー株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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シリーズ
X線検査装置
www.nordsondage.com
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2 | DAGE Quadra X線検査装置 DAGE Quadra X線検査装置 | 3
X線検査のパートナー Seeing is Believing
1961年に創立されたNordson DAGEは、売上高18億ドル、世界中の従業員数 Quadra™ シリーズ X線検査装置によって、
6,000人以上を誇るNordson Corporationを構成する一部門です。 光学観察ではできないデバイスやコンポーネ
ントの深層内部の画像を、非破壊・最大倍率
Nordson DAGEは、X線検査装置において輝かしい賞を受賞するなど、マーケッ 68,000倍にて観察することができます。
トリーダーであり、お客様に製造上の欠陥などを簡単に検出するお手伝いをし
ています - つまり品質の向上、投資に対するリターンの最大化、ならびに長期に
おけるコストの抑制を確実なものとします。
英国のアイルズベリーを拠点とするNordson DAGEでは、X線発生器や電源、デ 光学 X線
ィテクターを含むX線検査装置内のすべての主要部品を自社で設計・製造して
います。この他に例を見ない高いレベルでの垂直統合により、世界最高レベル x20
での検査ソリューションが提供可能となっています。
PCで使用するマウスのX線検査イ
メージ
x500 QFNパッケージ内のボイド
Multi level PCBA
発光ダイオード
x68,000
BGAはんだボール内のマイクロク
ラック
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4 | DAGE Quadra X線検査装置 DAGE Quadra X線検査装置 | 5
X線検査が可能にするソリューション
医療 & 製薬 エレクトロニクス - アセンブリ
製品の形状などを損傷することなく2Dまたは3Dで検査し、 はんだショートや結線不足、はんだ不濡れ、ボイド、クラックを
不良品の根本原因を解析します。 リフロー炉をシミュレーションしながら観察できます。
異物検出や充填レベル測定用のオフライン検査としても使用 めっきスルーホールの充填について追跡検査ができます。
できます。 デバイスの模造品についてスクリーニングできます。
航空機
エレクトロニクス - パッケージング
メタルコア基板や銅パッドを含むはんだ品質 (IPC-A-610)や
ワイヤボンドの状態について電子部品を検査できます。クラッ
クやボイド、模造品であるかや寸法などについて構成部品の POPやQFN、QFP、BGA、フリップチップバルク、界面のボイド
性能品質について検査できます。 を測定します。
BGAの配列/ボールサイズのばらつき/はんだ抜け/BGAのボ
ールの枕不良を識別することができます。
自動車 はんだのクラック/ブリッジ/断線コンポーネントのクラック/歪み
ワイヤーの状態/接着状態
MEMSや受動素子の検査を行うことができます。
自動車用コンポーネントの摩耗や疲労破壊を検査できま エレクトロニクス - 半導体
す。電子部品や実装基板のはんだ品質 (IPC-A-610)や
BGA(IPC- 7095)について検査できます。
エネルギー FOWLPや3次元実装
TSVの充填やボイド
マイクロバンプやカッパーピラーのサイズ、ボイドの測定が可
能です。
ソーラーセル内のボイド率の測定やアンダーフィルを検査で
きます。コンポーネントのクラックやワイヤボンドの状態を確認 光源
できます。
マイクロクラックやワイヤボンドの不良、ボイドやPCBの品質を
検証できます。レーザーダイオードやLEDを検査することがで
きます。
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6 | DAGE Quadra X線検査装置 DAGE Quadra X線検査装置 | 7
イメージからソリューションを創造する 使いやすさを標準に
Quadraは、これまでにない非常に優れ X線検査装置は、出来る限り簡単で直感的
た画像を表示し、非常に小さなものであ に使えることが非常に大切です。Quadra
っても見ることができ、不良を迅速に見 は、最小限のトレーニンク゛だけで習熟し
つけることができます。自社設計の高性 ていないオペレータや臨時の作業者でも
能X線発生器やディテクターによって、最 迅速に、簡単に最高の画像を撮ることがで
少100nmの形状を認識し、最大68,000 きます。
倍まで拡大することができます。
使いやすさ
独自の特許技術
自社開発の操作や測定用ソフトウェアGensys™は”見たい場所
Nordson DAGEの最新世代のX線発生装置である をクリック(point & click)”する直感的なユーザーインターフェー
QuadraNT™は、従来のX線発生器よりも10倍の明るさと スによって素早く作業を行うことができます。
非常に高い安定性を備えています。伝統的なタングステンフィラメントに代えて
LaB6エミッターを採用し、高真空を維持するためにイオンポンプが付属していま
す。QuadraNTによって、すべてのパワーレベルにおける安定性と高解像度が可 X-Plane®を用いて目に見えないものを
能となっています。
画像をスライスすることで、界面のボイドのような見ることが困難
最高レベルの解像度 な不良を簡単に見つけ測定することができます。X-Planeによって、迅速・簡単にCTの断面画像を出力できるだけではなく、マニ
ュアルでの位置合わせを行う必要なくサンプルトレイ上のどこで
Nordson DAGEによるAspireTMフラットパネルディテクターによって非常に小さな でもCT撮影を行うことができます。
不良でさえ簡単に検出することができます。Aspire FPは16ビットのコントラストと
6.7Mピクセル解像度の組合せで、最高レベルの高質な画像を出力します。
人間工学に基づいた設計
超微細部分の鮮明化 長時間の使用時にも疲労することなく快適に使用することがで
きます。Quadraは人間工学に関する安全ガイドライン(SEMI S8)
30を超えるフィルター技術によって、非常に鮮明で、且つ非常に微細な部分まではっきりと に基づいて設計されています。
確認することができ、迅速に特性や不良を見つけることができます。ダイナミックレンジを増
幅させるHDR画像によって、暗部と明部の両方にある不良を一画面上ではっきりと確認
することができます。 規格に準拠
完全な画像 IPC-A-610やIPC-7095に準拠するために必要な寸法測定やBGAボイドの解析、バンプの直径や真円度、ワイヤーの流れ率解
析、スルーホールの充填率の迅速な判定、不良の特定などを標
μCTステージによるCT技術を活用した3D・高倍率画像によって、貴方のサンプルの更なる 準搭載のツールによって行うことができます。。
理解を深めることができます。
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8 | DAGE Quadra X線検査装置 DAGE Quadra X線検査装置 | 9
メンテナンスフリー QuadraTM シリーズ
設備投資に対する収益率を増加 0.10
させ、ダウンタイムとコストを低減 µm
することができます。Quadraは唯
一のメンテナンスフリーである検 最高レベルの画質と拡大倍率に
査装置です。X線の性能を長期間 よって、Quadra 7は0.1μmまでの品質不良を検出することができ
最適に発揮することができます。 20Wます。
不良の原因解析やワイヤーボンディ 加熱ユニット
ングの検 査、コンポーネントのクラッ
®
独自の特許技術 ク、MEMSの検 査、TSVやウエハーバンプを含むウエハーレベルの解析に最適。
伝統的な開放管型X線チューブには、劣化が早く、
定期的な交換やメンテナンスが必要なタングステン
のフィラメントが使用されます。QuadraNT™では、
超長寿命を目的とした自社開発のフィラメントフリ 0.35
ー技術が使用されています。 µm
再現性 サブミクロンレベルの特性検出
や、より高いX線出力により更に
フィラメントを交換することがないため、安定性に 挑戦的な業務を実現。 20W
関する性能の保証ができます。検査画像は、今日も QuadraNT 第4世代X線チューブ 高精度でのボイド測定やパワーエレクト
明日も来年以降も非常に変わらず鮮明であり続け ロニクスや最終製品の検査に最適。は 加熱ユニット
ることができます。 んだリフローのリアルタイムでの観察が ®
可能。
オイルフリー 性能に関するコンプライアンス
X線発生器内のオイルによる汚染や作業環境内へ 年1回の点検や校正、放射線の安全性に関する視察
のオイルの流出や漏れのリスクをなくすことができ などの品質に関するコンプライアンスを満たすうえで
ます。QuadraNTは、オイル交換を必要としないイ Quadraの有する性能は有効です。 0.95
オンポンプを採用し、X線の性能を維持するのに必 µm
要な真空状態を作り出しています。
製造現場で最適な高画質、高倍
アプリケーション・トレーニンク゛ LIFE 率での検査ツール。
に関するサポート 安心してご使用頂くために BGAやQFNの接合やはんだのショート、
PTHの充填の検査や模造品の検出に 10W
Quadraを使用して貴方が必要なほとんどの結果 Quadra LIFEは、Quadraを安心してご使用い 最適。
ただくために、所有コストやリスクの排除、稼働 加熱ユニットを取得できるようにアプリケーションやトレーニン
ク゛、ソフトウェアに関する技術的なサポートを承り 時間の最大化を5年間保証するプランです。 ®
ます。
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仕様一覧
X線発生器 QuadraNT™ フィラメントフリー型トランスミッシブ
認識解像度 0.95 μm 0.35 µm 0.10 µm0.95μm (>10W) 0.30μm (>10W)
最大出力 10 W 20 W (20W オプション) 20 W
管電圧 30 - 160 kV
ディテクター AspireFP™ フラットパネルディテクター
解像度 1.4 MP 3 MP 6.7 MP
フレームレート 10 fps 25 fps 30 fps
デジタルイメージングプロセ
ッシング 16 bit
検査
傾斜視野角 2 × 70° - サンプルの回転不要
防振機構 パッシブ AXiS - A c t i v e X-ray Image Stabilization(アクティブサスペンション)
検査範囲 510 x 445 mm (20 × 17.5”)
サンプルサイズ 740 x 580 mm (29 × 22.8”)
幾何倍率 最大2,000倍 最大2,500倍
幾何倍率 最大7,500倍 最大45,000倍 最大68,000倍
ディスプレイ 24インチ WUXGA (1920 x 1200)1個 24インチ WUXGA (1920 × 1200) 1個 24インチ 4K UHD (3840 × 2160) 2個
操作方法 マウス操作・クリック
装置
寸法( 幅 × 奥行 × 高さ) 1.57 x 1.50 x 1.90 m
システム重量 1,950 kg
電源 Single phase 200-230 Vac, 50/60 Hz,16A
エアー <1 μSv / hour
X線防護 5-8 bar クリーンドライエアー(除振用)
アメリカ + 1 760 930 3307 韓国 +82 31 462 9642
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の製品および会社名は、それぞれの会社の商標また
ドイツ +49 89 2000 338 270 イギリス +44 1296 317800 は商号です。ノードソンのDAGE製品は特許保護され
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されている特許によって保護されています。
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