●膜厚分布を高速・高精度に測定･可視化
・半導体やフィルム、液膜などの膜厚分布を高速・高精度にマッピングできる、2次元分光干渉膜厚計
・50nm～100umまで、幅広い膜厚レンジの測定に対応
・分光干渉法を用いた高い測定精度
・独自アルゴリズムを用い、400万点の測定データを数分で高速演算
・オフラインの卓上装置から、インライン機までカスタマイズ可能
このカタログについて
| ドキュメント名 | 膜厚分布測定装置FiDiCa®（フィディカ） |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 2.6Mb |
| 取り扱い企業 | JFEテクノリサーチ株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
この企業の関連カタログ
