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70 kHz 220 GHz の超広帯域シングル掃引
5G/Beyond 5G/6G の デバイス評価で超広帯域シングル掃引
70 kHz 220 GHz が可能な広帯域ベクトルネットワークアナライザ
アンリツは、これまでの 110 GHz/145 GHz で培った NLTL (非線形伝送ライン)技術をさらに進化させることで70 kHz220 GHz までの超広帯域シングル掃引が可能なベクトルネットワークアナライザを実現しました。これまで難しかった 5G NR 運用周波数帯の 3 倍あるいは 5 倍高調波成分まで含んだデバイス特性を切れ目なく測定することができます。
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このカタログについて
ドキュメント名 | VectorStar TM 広帯域ベクトルネットワークアナライザ ME7838G/G4 |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 2.1Mb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | アンリツ株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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Leaflet
5G/Beyond-5G/6G のデバイス評価で
超広帯域シングル掃引 70 kHz ~ 220 GHz が可能な
広帯域ベクトルネットワークアナライザ
VectorStarTM 広帯域ベクトルネットワークアナライザ ME7838G/G4
アンリツは、これまでの110 GHz/145 GHzで培ったNLTL(非線形伝送ライン)技術をさらに進化させることで
70 kHz~220 GHzまでの超広帯域シングル掃引が可能なベクトルネットワークアナライザを実現しました。これまで難し
かった 5G NR運用周波数帯の3倍あるいは5倍高調波成分まで含んだデバイス特性を切れ目なく測定することができます。
ベクトル 220 GHz プローブ
ネットワークアナライザ タッチダウンしやすい
70 kHz ~ 220 GHz 視認性の良いプローブ
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70 kHz ~ 220 GHz の超広帯域シングル掃引
次世代の超高速通信(B5G/6G)向けデバイスの研究開発では、100 GHzを超えるミリ波領域の特性評価が重要です。
しかし従来の導波管ベースのミリ波エクステンション・モジュールを用いたVNAシステムでは、物理的なモジュールの
交換やそれに伴う再校正作業、さらにバンド間で発生するデータの不連続性(段差)の課題がありました。
アンリツとMPI Corporationの新技術により実現した70 kHz~220 GHzまで一括掃引できるVNAは、これら煩雑な作
業を解消し、連続性が保たれた正確なデバイスのSパラメータ取得が可能になります。デバイスモデルの測定精度を高
めることで研究開発サイクル時間を劇的に短縮します。
✓ MPI 220 GHz GSG プローブ
✓ ダイレクト接続により優れた性能
✓ Slotted 0.6 mm オス
✓ Slot-less 0.6mm メス
✓ 精密ガイドピンで正確に嵌合
✓ 挿抜耐久性 1,000回以上
220 GHzミリ波モジュールMA25400Aのインタフェースは、0.6mm同軸ラインを正確に位置合わせできる精密ガイド
ピンをもつ導波管フランジ(UG-387)を使用しています。ネジ式同軸コネクタよりも衝撃や振動に強く信頼性と再現
性があり低損失の嵌合を実現します。
VectorStarTM 広帯域ベクトルネットワークアナライザ ME7838G
業界最高の広帯域シングル掃引、ダイナミックレンジ性能、温度安定度を持つベクトルネットワークアナライザ
Frequency Range System Dynamic Max Power Stability
Model Port Interface
(Operating) Range(dB) (dBm) (dB/℃)
70 GHz 110 -3 0.015
110 GHz 108 -6 0.015
70 kHz~220 GHz 0.6mm
ME7838G 2 125 GHz 109 -7 0.025
(40 kHz~226 GHz) フランジコネクタ *
145 GHz 100 -15 0.025
220 GHz 102 -15 0.04
* 独自インタフェースのため専用のMPI社220 GHzプローブが必要
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実測例:トランジスタ 1.2~220 GHz
MPI社の校正基板にてMultiline-TRL 校正を行い、動作周波数1.2~220 GHzトランジスタのSパラ測定結果です。
これまでの導波管ベースのVNAシステムでは不可能だった、トランジスタへのバイアス電圧・電流値の変化に応じた連
続性が保たれたゲインS21のリアルタイム測定データの取得が可能になりました。
トランジスタ
MPI 220GHz Probe
75um pitch
リアルタイム掃引
1.2 GHz 220 GHz
S21
S21
S11 S12
S21
S21 S22
画像提供:東京工業大学 岡田研究室 様
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MPI社 TITANTM DC~220 GHz プローブ
MPI TITAN 220 GHz プローブは、220 GHzミリ波モジュールの0.6mmフランジコネクタとダイレクトに接続できる
ため、VNAが持つダイナミックレンジ性能と安定性能を十分に引き出すことができ、最適なオンウェハ測定を実現しま
す。MPIプローブチップは独自のコンタクト構造により視認性が非常に優れており、経験の浅いオペレータでもプロー
ビング操作を早期に習得することができます。良好な視認性は正確にタッチダウンが行えるため「Over-Skate」のリ
スクを無くし、正確で安定したプロービングを実現します。また、繰り返し摩耗による劣化を低減でき校正基板とDUT
パッドの寿命を延ばします。
✓ タッチダウン中の良好な視認性を確保。正確、安定プロービング、繰り返し摩耗による劣化を低減
✓ 小型モジュールとプローブをダイレクトに接続。最高のダイナミックレンジと安定性を実現
タッチダウンしやすい ミリ波モジュールと
視認性の良いプローブ ダイレクト接続
50/75/100μm pitch
* MPI社プローブは、販売代理店のベクターセミコン株式会社からご購入いただけます
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ご使用中の110 GHzプローブにも接続可能な充実したアクセサリ類
0.6mmフランジコネクタから専用の変換アダプタによって現在ご使用中の1mm同軸RFプローブも無駄なく使用いただ
けます。アクティブデバイスに必要なバイアスティは、ミリ波モジュールと組み合わせることで70 kHz~220 GHzま
で動作可能、プローブ先端から10cmに近い位置に配置できるので正確なバイアス制御を行うことができます。
変換アダプタ 同軸ケーブル(10/16 cm) Kelvin Bias-Tee
✓ To 1mm(male) ✓ 1mm(male to female) ✓ 下限70kHz, 16VDC, 100mA
✓ To 0.8mm(male) ✓ 0.8mm(male to female) ✓ 下限100MHz, 50VDC, 500mA
✓ To WR5(140 to 220 GHz)
MPI社 プローブ・ステーション
MPIは、ウェハでのデバイス評価やRF/ミリ波測定など幅広いアプリケーションに対応したブローブ・ステーションの
ラインナップを豊富に取り揃えております。汎用性で拡張性の高いマニュアルプローバは、RFポジショナ4台搭載可能
で温度範囲-60℃~+300℃まで拡張可能です。操作ミスによるプローブコンタクト事故を防ぐステージロック機能、プ
ローブ位置決めを手助けする段階的なフォーカス機能、VNAの校正を自動制御するRF校正ソフト QAlibriaなど、利便
性と事故回避を追求した機能を標準装備しています。量産用の自動化に適したフルオートタイプもご用意していますの
でお客様の用途に合わせて最適な一台をお選びいただけます。
アンリツVNAと親和性の高いRF校正自動制御ソフト
MPI社製品の国内販売代理店:ベクターセミコン株式会社
ベクターセミコンは、半導体デバイスのオンウェハ測定に特化したプローブステーションメーカです。長年の実績とノ
ウハウをもとに特注対応品など最適な機器のご提案を致します。
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VectorStarTM ファミリー、柔軟にアップグレード
今後もさらに周波数が高くなる次世代通信に向けて、最小限の設備投資からスタートし必要に応じてアップグレードで
きる拡張性に優れたベクトルネットワークアナライザです。
Start
70 kHz~40/70 GHz
4-Port
Upgrade Upgrade
70 kHz~40/70 GHz
2-Port
70 kHz~125/145/220 GHz
4-Port
70 kHz~125/145/220 GHz
2-Port
業界最高の超広帯域シングル掃引、ダイナミックレンジ性能、温度安定度を持つベクトルネットワークアナライザ
Frequency Range System Dynamic Max Power Stability
Model Port Interface
(Operating) Range(dB) (dBm) (dB/℃)
2 70 kHz~40 GHz K 40 GHz 119 +9 0.03
MS4644B
4 (40 kHz~40.5 GHz) (2.92mm) 40 GHz 111 +5 0.06
40 GHz 115 +5 0.03
2 67 GHz 108 -2 0.03
70 kHz~70 GHz V 70 GHz 107 -3 0.04
MS4647B
(40 kHz~70 GHz) (1.85mm) 40 GHz 97 -3 0.06
4 67 GHz 82 -12 0.07
70 GHz 70 -16 0.10
54 GHz 115 -2 0.01
70 GHz 116 -1 0.015
ME7838AX 2 NEW 110 GHz 110 -3 0.015
70 kHz~125 GHz W1 125 GHz 106 +3 0.04
(40 kHz~125 GHz) (1mm) 54 GHz 104 -11 0.02
70 GHz 116 -1 0.015
ME7838A4X 4
110 GHz 110 -3 0.015
125 GHz 106 +3 0.04
54 GHz 110 -5 0.01
70 GHz 108 -3 0.015
ME7838D 2 110 GHz 109 -6 0.015
125 GHz 104 -5 0.025
70 kHz~145 GHz 145 GHz 94 -6 0.04
0.8mm
(40 kHz~150 GHz) 54 GHz 90 -14 0.01
70 GHz 108 -3 0.015
ME7838D4 4 110 GHz 109 -6 0.015
125 GHz 104 -5 0.03
145 GHz 94 -6 0.04
54 GHz 110 -6 0.01
70 GHz 110 -3 0.015
ME7838G 2 110 GHz 108 -6 0.015
145 GHz 100 -15 0.025
70 kHz~220 GHz 0.6mm 220 GHz 102 -15 0.04
(40 kHz~226 GHz) フランジコネクタ * 54 GHz 90 -15 0.02
70 GHz 109 -3 0.015
ME7838G4 4 110 GHz 106 -6 0.015
145 GHz 100 -15 0.025
220 GHz 98 -15 0.04
* 独自インタフェースのため専用のMPI社220 GHzプローブが必要
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アンリツ製 125/145/220 GHz ミリ波モジュール
ME7838A/D/G の 125/145/220 GHzミリ波モジュールは、軽量・コンパクトでわずか300グラムです。プローブ・ス
テーションへの組込みがし易く、RFプローブとダイレクト接続できるのでVNAが持つダイナミックレンジ性能と安定性
能を十分に引き出して測定することができます。
NEW 1 mm
コネクタ
H
H
0.8 mm
コネクタ
ME7838AX VNA用モジュール ME7838D VNA用モジュール
3743A(70 kHz~ 125 GHz) MA25300A(70 kHz~ 145 GHz)
110/145/220 GHz ミリ波モジュール各寸法
導波管フランジ
Frequency Size
Model
Coverage W x H x D mm
3743AX 70 kHz ~ 125 GHz 54 x 21.5 x 55.3 mm
MA25300A 70 kHz ~ 145 GHz 54 x 26.4 x 72.3 mm
MA25400A 70 kHz ~ 220 GHz 54 x 32.0 x 82.3 mm
導波管フランジ付きモジュールも用途
3744-EE (WR12, 56~94 GHz)
3744-EW(WR10, 65~110 GHz)
導波管タイプなら 1.1 THzまでカバー
VectorStar ME7838A/D/G と VDI社(Virginia Diodes, Inc)エクステンション・モジュールを組み合わせることで、
最大1.1 THzまで周波数をカバーすることができます。
Waveguide Frequency Dynamic Test Port
Band Coverage Range Power
WR 15 50 ~ 75 GHz 110 dB 13 dBm
WR 12 60 ~90 GHz 110 dB 13 dBm
WR 10 75 ~ 110 GHz 110 dB 13 dBm
WR 8.0 90 ~ 140 GHz 110 dB 13 dBm
WR 6.5 110 ~ 170 GHz 110 dB 13 dBm
WR 5.1 140 ~ 220 GHz 110 dB 6 dBm
WR 4.3 170 ~ 260 GHz 110 dB 4 dBm
WR 3.4 220 ~ 330 GHz 105 dB 1 dBm VDI製Moduleサポート
50 GHz~1.1 THz
WR 2.2 330 ~ 500 GHz 100 dB -3 dBm
WR 1.5 500 ~ 750 GHz 80 dB -16 dBm
WR 1.0 750 ~ 1100 GHz 44 dB -30 dBm
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ME7838D:71GHzの2倍波まで同軸シングル掃引できる業界唯一のVNA
WRC-19(2019年世界無線通信会議)で5G運用周波数帯として66~71 GHzのグローバル運用が決定されました。こ
れら通信装置に実装するフィルタやアンテナはITU-R(国際電気通信連合-無線通信部門)が勧告する2倍の高調波まで
スプリアスを抑制する性能が求められるため、142 GHzまでの帯域外減衰測定が必要になります。同軸の1mmコネク
タと導波管ミリ波エクステンション・モジュールを組合わせた従来方式では、接続切替による作業効率の悪さだけでな
く、物理的な不連続性エラー(段差)によるキャリアとスプリアスの振幅補正の煩わしさが伴います。ME7838D 広帯
域ベクトルネットワークアナライザはこれらを唯一解決できる装置で測定業務を飛躍的に改善します。
0.8 mm同軸コネクタ ME7838D 70 kHz~145 GHz
ミリ波モジュール MA25300A
フィルタ開発では搬送波の2倍周波数までの測定が必要
Carrier wave 71 GHz
2nd harmonic 142 GHz
Second harmonic
Component
removed by filter
Frequency
ITU-R 勧告SM.329-10における指針 71 GHz × 2倍 = 142 GHzの測定が必要
WJ-P5TD-200001-03
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