半導体製造向け 産業ガス供給 ソリューションガイド

ⶐ榤㵵哅⛮؝邮鵰ٛخ ❠٭⺸ت ׄ ٖ غؕ؝礡٘٤ب • 榤哅סت؝❠礡٤٘ب٭ٖٛخ • 泸ؙג׿⨣מؾ猙碛ت؝氦榟逷糋

産業ガスの供給ソリューション Industrial Gas Supply Solutions 産業ガスの使用量に応じた最適なガス、供給プランのご提案 BCP対策として、産業ガスの安定供給ネットワークをご提案します お客様にとって ・ お客様のニーズ（使用量、純度、圧力、設備等）に応じた最適なご提案 ・ 産業ガスアプリケーションのご提案（産業ガス関連の各種装置・機器） 導入メリット ・ SDGsに関連する事業活動の実現 ①プラント効率化による環境負荷の低減 ②輸送距離短縮によるCO2低減 ③ガス生産ネットワーク確立によるBCP対策 SDGs ・ カーボンニュートラル実現に向けたソリューションの提供 ①CO2回収・再資源化 ②水素（アンモニア）エネルギー ③地産・地域密着 ④バイオガス ガストータルシステム保証 ・ お客様工場内に当方の費用・責任によりガス発生装置を設置 ここがポイント ・ お客様から電気・冷却水・補給水のご支給→高純度ガスを現地生産→供給保証のもとガス販売 機械保証 バックアップ 保証 ガストータルシステム保証 価格保証 メンテナンス 保証 SG2300004

エア・ウォーター社は、全国の営業拠点と生産ネットワークを有し お客様への産業ガスの安定供給を展開しております ご提案製品 産業（一般・特殊）ガスのご紹介 サポート体制 酸素、窒素、アルゴン、炭酸ガスなどの各種産業ガスを全国各地のお客様へ安定供給 特 徴 ・ 地域密着のソリューションサービスを全国ネットワークで展開 ・ ガス種、ご使用量、目的に適応した設備の選定を行い、ガスの安定供給を実施 ガスボンベ、液化ガス容器、液化ガスローリー、ガス発生装置によるオンサイト供給他 ・ BCPを考慮した強固な供給網の構築 全国に30以上の製造拠点を持ち、エアセパガス（窒素、酸素、アルゴン）、水素、炭酸ガスなどを製造 VSU（高効率小型液化酸素・窒素製造装置）を空白地に設置 国内産業ガス供給ネットワーク 地産地消 地域密着 生産拠点とVSUの供給網を連結し、ネットワークを構築 ⇒ 安定供給とBCP対策を同時に実現 引用元：エア・ウォーター 株式会社リョーサン techlab_customer_success@rsn.ryosan.co.jp お問い合わせはこちら 本パンフレットに記載されている会社名、システム名、製品名およびロゴは各社の商標または登録商標です。 記載内容は発行日の情報であり、予告なしに変更することがあります。 2023年7月発行 SG2300004

省エネに優れた窒素ガス発生装置 Nitrogen gas generator with excellent energy efficiency カーボンニュートラルの実現に向けた取り組みが活発化しております。 事業所内のエネルギー削減に貢献する窒素ガス発生装置をご提案します。 お客様にとって ・ SDGsへの取り組みに貢献 ・ 災害などの不測の事態が起きても生産の維持が可能 ・ メンテナンス付きリース契約など導入方法が選択可能 SDGs 導入メリット ・ 最新の省エネ型窒素発生装置は消費電力を最大27%削減（従来装置と比較） ＄ コスト削減 ・ 現地生産の為、トラック輸送削減によるCO2排出量の大幅削減 ・ 省スペースで高圧力供給・低騒音 窒素ガスの用途 低消費 小型化 ・ エレクトロニクス分野 ー リフローによるはんだ付けなどの酸化防止 ・ 金属加工分野 ー レーザ加工機での酸化防止や母材変色防止、酸化抑制 ・ 化学工業分野 ー 熱処理、焼成、防爆、乾燥、パージなど ・ その他の分野 ー 分析・実験用3Dプリンタ、射出成型機、UV印刷など SG2300003

電気代は今後も値上げ傾向 液体窒素から窒素ガス発生装置への置き換えで、コスト削減 ご 提 案 製 品 クラス№１の省エネ性能を達成 PSA式窒素ガス発生装置 エア・ウォーター・グループ製（AWI-G） 特 徴 引用元：エア・ウォーター ・ 省エネ対応 ： 原料の空気を大幅削減し消費電力を最大27%削減 ・ コンパクト設計： 高性能CMS（分子篩炭素）の採用による設置面積の削減 ・ 高性能設計 ： 分離効率の向上により電力削減へ ・ 優れた操作性： PSAからの集中制御による起動・停止操作のみの運転操作 ・ 高い安全性 ： 燃焼や化学反応を伴わないより安全な分離方式（圧縮・冷却） PSA式窒素ガス発生装置シェア 信頼と実績で選ばれてシェア№1 実績多数 その他 その他 2% 25% 太陽日酸 AWI-G AWI-G メーカ別シェア 28% 37% メーカ別シェア 36% 21m3/h以上 100m3/h以上 （台数ベース） （台数ベース） 太陽日酸 17% クラレ クラレ 21% 34% 引用元：2021ガスジオラマ 株式会社リョーサン techlab_customer_success@rsn.ryosan.co.jp お問い合わせはこちら 本パンフレットに記載されている会社名、システム名、製品名およびロゴは各社の商標または登録商標です。 記載内容は発行日の情報であり、予告なしに変更することがあります。 2023年6月発行 SG2300003

Any Where! エア･ウォーターグループ 総合ガイド エア･ウォーター株式会社 総合ガイド制作プロジェクトチーム／広報･IR推進室 2023年 12月発行 エア・ウォーター公式サイト 製品・サービスサイト https://www.awi.co.jp ht tps://products.awi.co.jp/ja エア･ウォーターグループ 総合ガイド

エア・ ウォーターってなにもの 社名の由来 2000年4月、前身企業である大同ほくさん㈱と共同酸素㈱との合併により、新たなスタートを図る際、その社名を 「エア・ウォーター」に改称しました。 私たちの事業の原点は、空気を原料とし、酸素や窒素などを製造する産業ガス事業です。その後、海水の中から マグネシアなどの有効成分を抽出する海水事業も手掛けるようになりました。 私たちが暮らす地球は、大気と海洋という二つの大きな自然空間に囲まれています。この空気と水が織りなす大自然 の中で、今日までにあらゆる分野のテクノロジーが生まれ、育まれてきました。やがて、この空気と水、その接点、さらに これらが混在する所に、私たちのこれからの事業の可能性がある、と考えるに至ります。 この「エア・ウォーター」という社名は、空気、水という人間や自然にとって、最も重要かつ無限の可能性を秘めた資源 に根ざし、社会や環境に貢献する経営理念を体現しているのです。 シンボルマーク エア・ウォーターのシンボルマークは、ヨコとタテの大きさの比率が10：9で、わずかにヨコが長い楕円形をしています。 この形は「地球の姿」を模したものです。地球は一見したところ円形ですが、実際には赤道方向の直径が約43km 大きく、わずかに楕円形をしています。また、シンボルカラーの藍色は、地球表面の約71％を覆う水の色であり、まさに 地球そのものをデザインしています。 エア・ウォーターは、地球の貴重な資源である空気や水を一番いいかたちで暮らしや産業に役立て、使った資源は もう一度自然に戻して地球を守っていくこと、すなわち「水や空気を大切に未来につないでいくこと」を企業使命 としています。 2 3

はやわかりエア・ウォーター 地域とともに成長し、あらゆるフィールドから社会課題解決に取り組んでいます。 1 地域密着の事業基盤 3 技術資源・研究開発拠点 全国に張り巡らされた事業ネットワークが、お客様の課題解決をサポートします。 脱炭素・歯髄再生・スマートヘルスケアなどの多様な技術領域を有しています。 産業・医療ガスの安定供給体制 国内事業拠点 物流拠点 エンジニアリング人材 産官学連携プロジェクト数 研究開発人員 VSUプラント 711ヵ所 ９７ヵ所 330名 198件 387名 ２２ヵ所 【開発拠点】 【地域事業会社拠点】 【事業拠点】 ・大阪本社 ・札幌事業所 本社：札幌市中央区北3条西3丁目1番地 ・東京事業所 事業エリア：北海道 ・品川事業所（農業・食品オフィス） ・堺事業所 ■ 総合エンジニアリングセンター（堺） ■ グループテクノロジーセンター（松本） ■ 国際くらしの医療館・神戸 ・尼崎事業所 本社：東京都港区虎ノ門3丁目18番19号 事業エリア：東北・関東・甲信越・中部 【主要製造拠点】 ・千歳工場 ・輪西（室蘭）工場 本社：大阪市中央区南船場4丁目4番21号 ・鹿島工場 事業エリア：関西・中国・四国・九州・沖縄 ・加古川工場 ■ エア・ウォーター健都（大阪） ■ 地球の恵みファーム・松本 ■ エア・ウォーターの森（札幌） など （2024年度完成予定） （2024年10月開業予定） ・和歌山工場 ・VSUプラント 地域事業会社本社 事業拠点はこちらから お客様のニーズに応える魅力的な製品・サービスの開発には、各事業領域の複合的な組み合わせが求め 22拠点ほか ＶＳＵ拠点 ご覧いただけます。 られます。斬新なアイデアと高度な技術開発力をより発揮し、当社グループならではの多様性を活かし 開発拠点はこちらから ご覧いただけます。 た独自技術の創出を目指しています。 2 主要グループ会社 グループ会社数 グループ従業員数 ２７6社 20,10９名 4 サステナビリティ Ｍ＆Ａによって、多様な人材や企業文化が融合していることが、価値創造の源泉です。 2050年 エア・ウォーターグループの目指す姿 【デジタル＆インダストリー】 サステナブルビジョン　地球、社会との共生により循環型社会を実現する （あいうえお順） 【ヘルス＆セーフティー】 【その他】 ■ エア・ウォーター・エンジニアリング㈱ ■ エア・ウォーター防災㈱ ■ エア・ウォーター物流㈱ 非財務主要KPI ■ エア・ウォーター・ガスプロダクツ㈱ ■ エア・ウォーター・メディエイチ㈱ ■ 西日本エア・ウォーター物流㈱ ■ エア・ウォーター炭酸㈱ ■ エア・ウォーター・メディカル㈱ ■ ㈱日本海水 ■ 気候変動への 資源循環の 環境影響 エア・ウォーター・ハイドロ㈱ ■ エア・ウォーター・リアライズ㈱ ■ 東日本エア・ウォーター物流㈱ 対応 実現 物質の抑制 Ｄ＆Ｉ推進 労働災害の 撲滅 ■ エア・ウォーター・パフォーマンスケミカル㈱ ■ エア・ウォーター・リンク㈱ ■ HITEC HOLDING B.V ■ エア・ウォーター・マッハ㈱ ■ 川本産業㈱ ■ 事業活動を通じて循環型社会を実現し、環境負荷をゼロに。さらに地球環境を再生することで、地域社会や顧客から選ばれ続け、 エア・ウォーター・マテリアル㈱ ■ 働く人々のWell-beingを実現するなど、持続可能な開発目標（SDGs）の達成に向けた取り組みを進めています。 エア・ウォーター・メカトロニクス㈱ ■ 新日化エア・ウォーター㈱ ■ タテホ化学工業㈱ Meet with AW! こうした具体的な取り組みは、オウンドメディア Meet with AW! で紹介しています。 ■ 日本電熱㈱ 【アグリ＆フーズ】 ■ エア・ウォーターアグリ＆フーズ㈱ ■ 未利用バイオガスを活用したLNG代替・CO2フリー燃料「液化バイオメタン」を国内初製造！ ■ ㈱九州屋 ■ 二酸化炭素を原料にして有用な物質をつくり出す高純度一酸化炭素発生装置の開発ストーリー ■ ゴールドパック㈱ ■ かぼちゃの種やワタを牛のエサに再利用、物流会社がフードロスの削減に挑む 【エネルギーソリューション】 ■ ㈱プラス グループ会社拠点はこちら ■ 最前線で戦う医療従事者を支えたい、コロナが引き起こす難局を遠隔医療支援システムでサポート Meet with AW! はこちら ■ からご覧いただけます。 エア・ウォーター・ライフソリューション㈱ ■ ㈱プレシア ■ からご覧いただけます。 就労継続支援事業所、エア・ウォーター・スマイルが掲げる『共に』の精神　など 8 9

Global Environment デジタル＆インダストリー エレクトロニクスユニット デジタル＆インダストリー エレクトロニクスユニット 半導体メーカー向けバルクガス供給 特殊ガス・特殊ケミカル品 TOPICS TOPICS 半導体の製造には窒素ガスが欠かせません。 ■特殊ケミカル 半導体の基板となるシリコンの酸化を防ぐた シリコン半導体 め、空気の代わりに、空間を満たす雰囲気ガ ●TransLC®スとして使用されます。 ● ほかにも、用途によってアルゴン、ヘリウム、酸 ビスタ－シャルブチルアミノシラン（BTBAS） ● 素、水素などのガスが、集積回路形成プロセ テトラキスジメチルアミノチタン（TDMAT） ● スやエッチング工程などで使用されます。 テトラメチルシラン 万全なバックアップ体制 ●α-テルピネン（ATRP） ● ■ガストータルシステム ジエトキシメチルシラン（DEMS）など お客様の工場内にガス発生装置を設置し、ガ 化合物半導体 スの使用量や純度など、お客様のご要望に合 ●トリメチルガリウム（TMG） わせた供給形態でガスを供給し、有事の際の ●トリエチルガリウム（TEG） バックアップやメンテナンスまでも対応する供 ●トリメチルアルミニウム（TMA） 給システムを採用しています。このガストータ ●トリメチルインジウム（TMI） ルシステムは、どんなときも決してガスを切ら ●その他ドーパント材料　など さないという今も続くエア・ウォーターの安定 有機金属材料 特殊ケミカル 供給の精神です。 半導体工場へ窒素ガスをパイピング供給 高純度窒素ガス発生装置V1 ■特殊ガス 複雑化・微細化する最先端のニーズにお応えします ●六フッ硫黄（SF6） 半導体の製造に欠かせない高純度窒素ガスを安定供給 ●八フッ化シクロブタン（C4F8） エレクトロニクス分野において使用される多種多様な特殊ガスや特殊 ●六フッ化エタン（C2F6） 半導体や液晶などエレクトロニクス分野のお客様の工場にプラントを設置し、 24時間にわたって各種ガスのパイピング ケミカル品を幅広く取り扱っています。また、開発向け成膜装置や分 ●四フッ化炭素（CF4） ● 析機器を保有し、新規特殊ケミカルなどの開発、材料スクリーニング ジフルオロメタン（CH2F2） 供給を行います。酸素や水分などの不純物が混入しない高い清浄度を保ちます。自社インフラによる製販一貫体制で、 ●ペンタフルオロエタン（C2HF5）など 安心・安全なガス供給をお約束します。 も実施しています。 デジタル＆インダストリー エレクトロニクスユニット デジタル＆インダストリー エレクトロニクスユニット ガス精製装置・排ガス処理装置 特殊ケミカル供給システム・特殊容器 TOPICS TOPICS 半導体の製造工程において、さまざまなガス ■特殊ケミカル供給装置 が使用されています。その過程で、高い純度 ヴェルサムマテリアルズ社が製造する高純度ケ が求められるため、影響を及ぼす不純物成分 ミカル供給装置（ChemGuard）を販売して を除去する精製装置を用いて、高性能で良質 います。納入、立上げ、メンテナンスの他、お な半導体を製造します。 客様のご要望に応じた仕様変更などのトータ 長年培ってきた精製技術を基に各種精製方 ルサービスを行っています。 法（常温吸着式、ゲッター式、パラジウム合金 また、お客様独自のご要望に対応できるオリ 排ガス処理装置 膜式、深冷吸着式）に対応する精製装置をご 恒温槽（VaporGuard） ジナルのケミカル供給装置も製作から立上 用意し、お客さまの多彩なニーズにお応えして げ、メンテナンス対応を行うことも可能です。 います。 また、近年の半導体生産量の増加に伴い、精 ■特殊ケミカル温度制御装置 製装置の大型化ニーズも高まっています。生 特殊ケミカルの温度を一定に制御するヴェル 産工場を拡張するなど生産体制を整え、対応 サムマテリアルズ社製恒温槽（VaporGuard） しています。 を販売しています。特にバブリング供給中に 生じるケミカル温度の変動を極力抑えること ができます。 ガス精製装置 各種センサ 特殊ケミカル供給システム（ChemGuard） 大型容器供給装置（開発品） 良質な半導体を形成するための最適なガス精製装置 ケミカル材料を半導体製造装置へ安全に供給 材料ガス・キャリアガスの純度を高めるガス精製装置を国内外を問わず世界最先端の半導体メーカーへ販売していま ケミカル材料を半導体製造装置へ安全かつ安定的に供給するための供給システムをラインアップし、多様化・複雑化す す。さらに、排ガス処理装置や圧力・流量・水位を計測するセンサなど、環境・安全に配慮した幅広い製品をラインアッ る最先端のニーズにお応えします。ケミカル材料の性状を踏まえ、お客様のご要望に合わせた仕様にする幅広い提案を プしています。 行っています。 16 17

Global Environment デジタル＆インダストリー エレクトロニクスユニット デジタル＆インダストリー エレクトロニクスユニット 半導体製造装置向け製品 クイックスノー・大気圧プラズマ TOPICS TOPICS 「熱とその制御」に関わる高い技術力を ■クイックスノー 有しており、半導体製造装置向けには、 ドライプロセスのため廃水・廃液処理や乾燥工程が不要であり、さら 温度の均一性に優れ、高精度な平面度 に被洗浄物へのダメージも小さく微細部の洗浄にも好適。スマート を持つヒーター製品を提供しています。 フォン向け部品などエレクトロニクス産業を中心に採用されています。 液晶・半導体製造装置向け熱板、冷却プレート こうした技術力は半導体製造装置向けに 限らず他の分野からも高く評価されてお ■大気圧プラズマ り、発電所や病院などの高い信頼性を求 大気圧プラズマ装置 例 薬液を使用せずドライプロセスであるため環境に優しく、連続処理に められる場所でも採用されています。例 よる高い生産性を実現。電子基板、自動車部品、医療用カテーテルな えば、東京スカイツリーの展望台という温 ど幅広い分野の接着力強化や印刷前処理で採用されており、大幅な 度変化や長寿命が求められる環境におい 生産性向上や品質改善を実現します。 ても安定した性能を発揮しています。 装置をご覧いただけるショールーム 堺テクノロジーセンター 温度解析シュミレーション 安曇野工場 〒592-8331 大阪府堺市西区築港新町2丁6番地40 平塚テクノロジーセンター 熱の制御技術と高い加工精度を活かし、 〒254-0013 神奈川県平塚市田村3丁目3番32号 クイックスノー装置 例 スノー噴射の様子 半導体製造装置産業に貢献 液晶・半導体製造装置には多くの熱処理工程および冷却工程が必要とされ ガスのもつ様々な特性を利用して、お客様ニーズに応えます ます。ご要求の仕様や用途に応じて高精度の熱板のほか、冷却プレートなど ドライアイス微粒子で、ミクロンオーダーの異物を除去・洗浄する「Quick Snow」や、液晶ディスプレ を製造・販売し、高い評価を頂いています。また様々な業種へ産業機器関連 イやプリント基板などの機能や品質の向上に大きく貢献できる「大気圧プラズマ表面改質装置」など、 の加熱・保温機器に組み込まれるヒーター製品を数多く取り扱っています。 各種ガスの技術の蓄積を活かして幅広いお客様のニーズにお応えします。 クイックスノー 大気圧プラズマ デジタル＆インダストリー エレクトロニクスユニット デジタル＆インダストリー エレクトロニクスユニット スラリー供給システム 自動化ロボット 先端半導体工場において、 多様なスラリーの調合・送液に対応し 安定した生産を実現します スラリー供給システムは、高いスラリー調合 精度とスラリー性状（濃度・粒子径）の安定 維持供給を実現し、スラリー液種に応じて、 調合方式をご提案いたします。また、供給量 に応じて個別供給・集中供給システムの選 スラリー調合・供給システム 択が可能で、集中供給システムの場合、24 時間365日の安定供給します。 自動化システム メカトロ・アソシエーツによるシステム設計 TOPICS お客様の期待に応える TOPICS スラリー原液の沈降や固化を防ぐため、ミキサーや配管内循環を行 うことで、常にスラリー原液を攪拌（かくはん）させることで原液の安 システムインテグレーション さまざまな生産現場において、産業用ロボットとAIやIoTな どの先進技術を組み合わせ、生産効率を高めるスマートファ 定供給が可能です。 工作機械の導入から設備機器のシステム構築まで、 AWグ クトリー化が進められています。こうした自動化ニーズに対 安定供給された原液は、高精度なロードセルやダメージレスポンプ ループの企業基盤による幅広い事業分野で培ったノウハウ 応するため、2022年にグループ会社入りしたメカトロ・アソ で攪拌し、均一に調合を行います。調合量の最適化を行うことで、排 液の最小化が可能になります。 と多数の導入実績を活かし、一品一様の生産システムの提 シエーツ（株）とともにシステムインテグレーション事業に本 調合するタンクは都度洗浄を行い、また、乾燥を防ぐため加湿エア 案に積極的に取り組んでいます。また既存システム・装置 格参入し、産業用ロボットの導入や一連のシステム構築を 軸に、最適なガスや機材の販売も合わせて行うトータルソ を使用し、再現性の高い調合を実現します。 の改造実績もあり、AWグループの高い技術力でお客様の リューション型のビジネスモデル構築に取り組んでいます。 設置例 設置例 課題解決に貢献します。 18 19

Global Environment デジタル＆インダストリー インダストリアルガスユニット デジタル＆インダストリー インダストリアルガスユニット 産業ガス（種類） 産業ガス（供給方法・用途） TOPICS 従来の産業ガス供給は、大型プラントで大量 集中生産し、全国各地の需要地までタンク ローリーで長距離輸送するという方式が一 般的でした。当社は、大型プラント並みのエ ネルギー効率を誇るVSUの技術開発により、 タンクローリーによるガス供給 ガス需要地に近い生産拠点から近距離輸送 するという新しい供給モデルを確立。全国 22ヵ所に及ぶ地域分散型の産業ガス供給 ネットワークは、「省エネ」「CO2排出量低減」 を同時に実現するとともに、 地震をはじめと 液化酸素・窒素製造プラントVSU 液化窒素・液化酸素 各種シリンダーガス した災害時におけるガス供給の際にも効果を 発揮しています。 目に見えないが、 TOPICS オンサイトプラントによるガス供給 シリンダーによるガス供給 社会を支える大切なガスをお届け 産業ガスの製造方法は、ガス種や使用形態によってさまざまです。 一例を示すと、酸素・窒素・アルゴンは、空気を原料に冷却液化し、沸 産業ガスとは、製造業で原料や中間材、あるいは いかなる時でも必要なガスをお届けする安定供給体制 点の差※によって分離・精製して製造します。また、炭酸ガスや水素は、 品質向上、省エネや製造プロセスの安全のため、 石油化学プラントや製鉄所から副生されるガスを精製して製造してい 大型のガス製造設備で24時間にわたって大量のガスを供給するオンサ 幅広く産業全般に使われるガスの総称です。当 ます。一方で、ヘリウムは大気中にはごくわずかしか含まれておらず、日 イトガス供給から、全国に広がる供給ネットワークを通して、地域の隅々 社は、長年こうした各種産業ガスを製造し、それ 本国内ではその全量を海外からの輸入に依存しています。 までガスをお届けするローリー・シリンダー供給まで、お客様のガス使用 ぞれの使用現場に最適な容量、状態(圧力、温度) ※窒素は-196℃、酸素は-183℃、アルゴンは-186℃で気体から液体に状 量や使用形態に応じて、さまざまな供給形態でガスを安定的にお届けし にして、供給しています。 態変化します。 VSUモデルによる安定供給 ています。 エアセパレートガス 副生ガス エアセパレートガスの供給方法 酸素（O2） アルゴン（Ar） 炭酸ガス・ 原材料 ガス製造プラント 供給 ユーザー ドライアイス（CO2） オンサイト供給 鉄鋼、造船、橋梁などの分野で燃焼、加工 不活性ガスの特性を利用して酸化、窒化 用途として、またEV用リチウムイオン電池 を嫌う半導体基板材料であるシリコン 直接パイプをつなぎ、 無色無臭の不活性ガスで、常温 空気 正極材や、パルプ漂白、排水処理、ゴミ燃 ウェハーの製造や、ステンレスをはじめと 工場にガスを送る 常圧では気体ですが、大気圧下 却処理などの環境事業向けに、幅広く使 する金属精錬、アーク溶接などに使われ に放出すると雪状（ドライアイス） 用されています。 ています。空気 になる特性を有し、溶接用シー ローリー供給 中に含まれる比 ルドガス、冷却用途、化学原料 率は約0.93％ タンクローリーで 電力 鉄鋼 エレクトロニクス などに幅広く利用されています。 程度の希少価値 工場にガスを運ぶ の高いガスです。 水素（H2） シリンダー供給 石油化学の脱硫、金属熱処理 プラントの中で空気を圧縮 ガスボンベにガスを の雰囲気用、ガラスや半導体製 したり冷却することで、気体 充填して運ぶ 造工程などに使用されていま から液体に変化させる す。また、燃料電池に代表され 化学 自動車・造船・機械 窒素（N2） ネオン・クリプトン・キセノン る次世代エネルギーとしても注 目されています。 不活性な物性を生かして、保安・パージ 元素周期表の第18族に属する元素で、 全国に広がる安定供給体制 といった安全性向上や酸化防止による品 レアガスと呼ばれています。大気中にご 質保持用として半導体・エレクトロニク くわずかに含まれ、副産物として採取さ 地域事業会社拠点（本社・支社） スから石油化学、食品・飲料に至るまで、 れます。不燃性・不活性という特長を活 採掘ガス ＶＳＵ拠点 幅広く使われて かし、主に半導 います。 体製造で使用 ヘリウム（He） 飲料・食品 バイオ・医療 されています。 不活性で、軽く、沸点がもっとも 産業ガスは世の中の産業全般に広く使われており、その 低い特性を活かし、光ファイバー 用途は多様です。およそ100年前、当時最先端の金属 や半導体の製造現場で使用され 加工で、ガスを使った溶接・溶断技術が誕生。高度経済 ています。また、超伝導マグネッ 成長期には、膨大な鉄鋼需要に応える形で酸素の需要 トに欠かせない冷却剤として、医 が増加し、現代では、半導体を多数搭載したエレクトロ 療用MRI診断装置にも使用され ニクス製品の製造に大量の窒素が使用されています。 ています。 産業ガスの活躍の現場は、宇宙開発、カーボンニュートラ ルなどに広がり、これからも、その需要に応えていきます。 24 25

Global Environment デジタル＆インダストリー インダストリアルガスユニット デジタル＆インダストリー インダストリアルガスユニット ガス発生装置 ガスアプリケーション①（溶接） お客様の様々なニーズに応える豊富なラインアップ TOPICS 半導体・電子部品・電池などのエレクトロニクス分野、製鋼・鋼板処理などの ■エルナックス 鉄鋼分野、パルプ、化学、液晶などの幅広い業界の発展に貢献しています。 適量の酸素を含む2成分系の溶接用アルゴンガ スです。専用ラインで酸素比率を調整して製造 TOPICS しているため、均質・安定品質で高い性能を誇り ます。 高純度窒素・酸素ガス発生装置 ■AWシールド 液化酸素・窒素の冷熱を利用した熱交換により高純度酸素・窒素ガスを安定的に アルゴンベースのオリジナル混合ガスです。独自 発生させる、当社独自の深冷分離式窒素・酸素ガス発生装置です。「高効率運転」 エルナックスによる溶接 Vアクアガスによる溶断 に混合ガス成分を調整しており、材質・板厚など 「低メンテナンス」「環境負荷低減」「運転管理の簡素化」を実現。小量から大量まで の細かな使用条件に応じた最適な溶接が可能 各種純度に対応、酸素ガス・窒素ガスを両方使用するニーズにも対応できる世界最高 です。 レベルの装置です。 Ｖ１ 高純度窒素ガス発生装置「Ｖ1」は、1983年にエア・ウォーターが国内で初め 溶接・溶断のご相談先 て独自開発に成功。国内のエレクトロニクス工場を中心に160基以上の設置実 研究部門：ガス関連装置部　溶接研究グループ 各種ガス発生装置 績を保有しています。 〒640-8404 和歌山県和歌山市湊1850番地 ●発生量：250 ～ 35,000Nm3/h　●純度：99.99 ～ 99.999% 各種溶接機、消耗品などの取扱い 溶接材料 Ｖ2 酸素ガス発生装置「Ｖ２」は、ガラス溶融などへの設置実績を保有しています。 ●発生量：～ 5,000 Nm3/h　●酸素ガス純度：90 ～ 99.8% 溶接・溶断に関わる様々なソリューションサービスを展開しています Ｖ3 窒素ガス・酸素ガス発生装置「Ｖ３」は、電炉、化学、鋼板、ガラス溶融、繊維な エア・ウォーター独自の溶接用シールドガス「エルナックス」や「AWシールド」、環境に配慮した水素系溶断用燃料ガス どへの設置実績を保有しています。 「V-アクアガス」を供給し、お客様の生産現場を支えています。さらに自社研究部門にて溶接・溶断の技術研究および品 ●発生量：～ 10,0000 Nm3/h（酸素6,000/窒素4,000） ●酸素ガス純度：90 ～ 99.8%　●窒素ガス純度：99.99 ～ 99.999% 質向上・コスト削減などのテストを行っており、お客様の課題解決に貢献します。また溶接機や溶接材料、消耗品などを 取り揃えており、お客様のご要望に合わせてトータルサポートします。 VP（PSA式酸素ガス発生装置） PSA式窒素ガス発生装置 デジタル＆インダストリー インダストリアルガスユニット 窒素を優先的に吸着する吸着剤（MSZ：モレキュラー・シーブス・ゼ MSC（モレキュラー・シーブス・カーボン）活性炭を吸着剤に使用し オライト）を使用したPVSA（真空再生）方式で、常温下における高 た窒素ガス発生装置です。高い空気処理量と効率的に窒素と酸素 い運転操作性と、酸素ガス純度維持の両立を実現する酸素ガス発 の成分分離を実現しています。吸着剤から装置まで一貫して自社技 ガスアプリケーション②（食品） 生装置です。 術で提供します。 発生量 : 250～2,500Nm3/h 発生量 : ～700Nm3/h TOPICS 純 度 : 90～93% 純 度 : ～99.99% 用 途 : 電炉、紙・パルプ、ガラス 用 途 : 電子・化学プロセス ■冷凍フリーザー 溶融、酸化プロセス、 の防爆・パージ用、 極低温（-196℃）の液化窒素による急速冷凍 ごみ焼却用 レーザー無酸化切断 で食品の細胞膜を壊さずに高い鮮度と品質を 実 績 : 80台以上 アシスト用、溶存酸素 保ちます。 除去用 液化窒素による急速冷凍 ■食用ガス包装機 実 績 : 3,000台以上 食品の包装ならびに製品包装内部のガス置換 冷凍フリーザー （ガス封入）を一連して行うことができ、食品 VHR(水素ガス発生装置) CO（一酸化炭素）発生装置 の酸化防止や静菌作用などの効果を得ること が可能です。 天然ガスを主原料として、ランニングコストと環境負荷低減をコンセ 天然ガス、炭酸ガス、酸素を原料として、COを発生させる装置です。 ■HACCP MAKER プトにした水素発生装置です。独自開発した改質器の採用により、均 独自開発した触媒とプロセスの採用により、CO2改質反応における 次亜塩素酸ナトリウム水溶液に炭酸ガスを混 一かつ効率的な改質反応を可能にしました。また、熱回収プロセス 従来課題であったカーボン 合させて殺菌力の高い次亜塩素酸を多く含む の最適化を行い、熱の利用効率を高める事により、業界最高水準の 析出を克服し、長期間の安 殺菌水を生成します。 原単位:0.34Nm3/kW-H2を 定運転を実現しました。 殺菌効果の向上、塩素濃度および塩素臭の低 減などの効果があります。 達成しました。 発生するH2/CO混合ガス 発生量 : 100～400Nm3/h をPVSA(真空再生)方式で 食品ガス包装機 HACCP MAKER 純 度 : 99～99.999% 所定の純度に精製します。 ものづくりだけじゃない！産業ガスの様々な用途 用 途 : 金属還元処理、半導体 発生量 : 10～数百Nm3/h 製造用 純 度 : ～99% ガスのもつ様々な特性を利用して、お客様の生産効率化、コスト低減、鮮度保持などに貢献する装置を提案しています。 用 途 :【H2/CO混合ガス】金属表面処理の原料ガス、オキソ合成などの化学原料 ものづくりに関わる事業の他に食品事業にも産業ガスが使用されており、食品の冷凍や、酸化防止としてなど、私たちの 【CO】ポリウレタンなどの化学原料製造、金属還元処理用 生活を支えています。 26 27

Global Environment Energy Solutions エネルギーソリューション エネルギー グリーンイノベーション エア・ウォーターでは、地域とともに歩み続けるエネルギーインフラ企業として、国内LPガス市場の草創期より 半世紀以上にわたりLPガスや灯油をお届けしています。また、LNG（液化天然ガス）の輸送・貯槽機器、LP ガスを利用した移動電源車など新しいエネルギーソリューションにも積極的に取り組んでいます。現在、エネ ルギー分野と環境分野を融合し、資源リサイクルやクリーンエネルギーにかかわる新たなビジネスモデルを 構築することで、社会課題である脱炭素社会、資源循環型社会の実現に貢献することを目指しています。 Solution 地域の産業で排出される廃棄物 エア・ウォーターの技術 食品残渣 家畜ふん尿 ガス化 持続可能な （バイオガス） CO2回収 Technology 地域循環型 間伐材 地域事業・ 発電 燃料の エネルギー供給 物流ネットワークを活用 カーボンニュートラル化とCO2の利活用 モデルの構築 従来のエネルギー 未利用資源 再資源化 ふん尿・木材・食品残渣・下水汚泥 バイオガス由来 Solution 石炭 エア・ウォーターが展開するエネルギーサプライチェーン 石油 LPG LNG バイオガス バイオメタン 水　素 クリーン資源（低炭素） 主な製品 サプライチェーン ユーザー イグ 炭酸 充填所 ボイラー・タービン・エンジン 熱・蒸気・動力 ノリ ベー ーン 水素 水素ステーション シ 工場用 不要なCO2 ョ ン バイオガス・バイオメタン 供給設備 回収装置 再資源化 利活用 エ 供給設備 ネ LNG ル ・メタネーション ギ 家庭用 ー 輸送機器 （飲食店・事業所向け） ・化学品原料（COなど） LPG・灯油 炭酸ガス　 ドライアイス 農園利用　　　　セメント封入 32 33

Wellness Health & Safety ヘルス＆セーフティー メディカルプロダクツ 医療関連サービス コンシューマーヘルス 防災 医療現場に欠かせない酸素などの医療用ガスをはじめ、高度化する先端医療の現場である病院設備、病院業務 のアウトソーシング受託、医療機器のメンテナンス業務から、デンタル、衛生材料、注射針、エアゾール・化粧品 といった多岐にわたる製品・サービスを展開しています。また、さまざまな災害から生命や施設を守る防災事業 も展開しています。日本全国に広がる事業拠点とグループ会社の連携により「人の生命と財産を守る」トータル 守るをテーマに ソリューションサービスを通じて、様々な角度から人々の安心・安全を支え、広く社会に貢献しています。 医療現場から個人の健やかな生活までをサポートします。 Medical Field People's Life 医療現場で活躍するメディカルプロダクツ 最新テクノロジーで患者さまの生命を支える ■医療用ガス ■ガス供給設備 クリニック ドラッグストア 歯科クリニック 介護サービス 日常生活の場 ■医療機器 ■感染管理製品 ■注射針 ■手術・処置関連製品 豊かな毎日を支えるコンシューマーヘルス 在宅医療を支えるメディカルプロダクツ 地域を支える医療機関 医療機関のバックエンドサービス 高品質で価値ある製品・サービスを提供 住み慣れた場所で 快適に生活するために ■衛生材料 ■介護用品 病院業務の効率化を多方面からサポート ■オーラルケア ■歯髄再生治療 ■在宅酸素療法 病院設備工事 ■エアゾール ■化粧品ODM/OEM ■医療器具の洗浄・滅菌サービス ■SPD（物品物流管理）サービス ■手術室支援・機器メンテナンスサービス 病院の中核機能を 防災システム トータルプロデュース 人の生命と財産を守る ■手術室・ICU（設計・施工） ■映像関連システム ■ガス消火設備 ■解剖・検査機器 ■消防向け呼吸器 ■放射線管理設備 ■耐震性実証 40 41

Wellness Agriculture & Foods アグリ＆フーズ アグリ フーズ ナチュラルフーズ エア・ウォーターのアグリ&フーズ事業の歴史は実に40年以上。液化窒素を使った冷凍食品の製造・販売に 始まった食品事業は、2002年にハム・ソーセージ事業へと拡大、さらに、2009年には農業事業にも本格参入 し、以降、青果卸・加工・小売から飲料製造、さらにはスイーツの製造販売へと事業を拡大してきました。契約 栽培や原料野菜の調達を通じた生産者との強い結びつき、生活者のニーズを見抜く確かな商品開発力とそ 「畑から食卓まで」 れを実現する加工技術力をもって、多彩な領域で「食」を支えるライフラインを担っています。 フードバリューチェーンで日本のライフラインを支える 産　地 栽培研究 栽培 収穫 産地加工 かぼちゃ スマート農業 契約栽培・施設栽培 収穫代行・農業機械 北海道ブランド 他 作物の栽培と とうもろこし 加工 生産者との連携による野菜調達の安定化 収穫したての野菜を鮮度を落とさず加工 食品製造 飲料製造 ハム・ソーセージ・スイーツ 商品開発 果実・野菜飲料 加工食品など 紙・ペット対応の製造ライン レシピ開発 家庭用・業務用商品の製造・販売 全国に広がる物流ネットワークで日本各地にお届け 販　売 産直市場 ECサイト 百貨店・量販店 地域事業会社と連携出店 オンラインからも購入可能 生鮮野菜小売・惣菜など 全国各地の 食卓へ 産直市場、小売店、ECサイトでの販売 「おいしい」をみなさんのお手元に 54 55