堀場エステック_製品ソリューションガイド

製品ソリューションガイド Products Solution Guide 現場の『困った』や『こうしたい』を お聞かせください。 流体制御のエキスパート、堀場エステックが “解決＋　 ”でお応えします。

混合ガスに関するお困りごと CO2 1% 必要な濃度の混合ガス すぐに使いたいのだけど… CO2 CO2 10 %20 % C ガスボンベのO 2 保管場所が 1. .8% 2% 簡単に0 足りなく CO2 1.0% N2 複数成分の なってきた！ ガス濃度を つくれないかな? 湿度制御・液体材料のガス化に関するお困りごと 湿度の正確な制御が難しい。 もっと簡単に アルコ ール 自動で正確な湿度制御が できないかな? 濃度 7.5% にしたいなぁ 湿度5.5% にしたいなぁ 湿度 2.5% 液体をガス化（気化）したい。 安定した濃度で 長時間発生したい。

流量計測に関するお困りごと 30 圧力 25 20 温度 使用環境や操作する人によって 15 10 流量が変わってしまうんだけど・・・ 5 ータ データ 危険なガスの 消費量の管理が デ30 データ 25 取扱いは腐食や 手作業で大変！ 20塩 水 15 素 10 漏れが心配… 素 5Cl2 H2 ミスも怖い。 いま使っている流量計、 本当に正確なのかな? インラインガス濃度・真空計測に関するお困りごと TMGa 0.1％？ 流れているガス濃度の変化を 計測したい。 真空チャンバの中に 残っている微量のガスを もっと簡単にチェックできないかな? 真空チャンバ

混合ガスに関するご提案 マスフローコントローラで、必要な濃度のガスを安定して供給できます。 流量比で 濃度が 混合ガスがつくれる MFC きまるんだ!CO2 ● 必要な混合ガスが現場でつくれます。 ● 粘性の違うガスを均一に混合できます。 10.0％ ● 数種類以上の異なるガスを MFC CO2! 供給し続けることができます。 N2 マスフロー 任意に設定OK! コントローラ 安定・連続発生 ガスボンベ 省コスト・省スペースに貢献 本数減! ● 必要な時に必要な量を、混合ガス発生機を用いて 発生・供給することで、ガスボンベの保管スペースの 削減が行えます。 湿度制御・液体材料のガス化に関するご提案 お客様のご要望や条件に応じた最適なシステムをご提案します。 任意濃度の湿度を発生 腐食や毒性の強い液体材料も 加湿する水分の量を液体用マスフローコントローラで 気化できる 制御し、キャリアガスとともに、気化器へ導入します。 特殊な液体材料も正確に安定して気化供給。 気化器では、瞬時に水を気化しガス化することにより、 任意の条件で変化させることも可能です。 安定した任意の湿度を含むガスを発生します。 DEZ OK!!HMDS SiCl4 アルコール材料などの CH3OH iCl4 液体材料もガス化できる T アルコールをはじめとした 液体材料も、同様にガス化 Liquid MFC 特性に応じたシステムをご提案（気化）が行えます。 腐食性や毒性を持つ液体材料への対策として、 湿度 液体マスフロー 定 コントローラ 接液部すべてにステンレス材を採用するなど、 0.1％設 安定した使用が行なえるシステムをご提案します。

流量比混合法 関連製品 流量比混合法は、多成分のガスを各々正確に流量制御を行い、均一混合し、 マスフローコントローラ 混合ガスとして発生します。ガス濃度はガス流量に比例し、流量を制御する SEC-N100 Series 事により、目的とする濃度の混合ガスを発生します。 デジタル制御を採用した高精度 モデルです。太陽電池生産用、 下図に、二成分混合ガス発生（成分ガスの希釈）の例をご紹介します。 各種研究・生産設備等に幅広く 採用されています。 流量比混合法の原理 成分ガス 成分ガス流量：Q1MFC 混合ブロック （濃度Co） 精密流量制御部 MS/MM Series （マスフローコントローラ） 混合ブロック 発生ガス 特性の異なる複数のガスを均一 （濃度C） に混合する、コンパクトなガス 混合ブロックです。 希釈ガス MFC ガス混合機に多数採用されて 希釈ガス流量：Q2 精密流量制御部 います。 （マスフローコントローラ） Q1 発生濃度：C＝Co× ガス混合装置 Q1＋Q2 MU Series 発生するガス成分に応じたマス フローコントローラを搭載し、 簡単操作で混合ガスを発生でき ます。操作部にはタッチパネルを 採用し、発生ガス濃度・流量の 設定が行えます。 湿度（露点）コントロール技術 一般的に湿度（露点）制御にはバブリング方式が採用されていますが、バブ 関連製品 リングタンクの温度・圧力やキャリアガス流量を総合的に制御する必要が あります。一方当社では、ガス・液体用マスフローコントローラを搭載した 直接気化システム シンプルな「直接気化システム」をご提案し、幅広い用途に採用されています。 お客様のご用途に応じたマスフローコントローラや、 液体の気化器、バルブ・ヒーター等をシステムアップ してご提供します。 直接気化システムの原理 キャリアガス QC MFC マスフローコントローラ 圧送ガス QS Q3 L-MFC 気化器 液体マスフローコントローラ C（%） 発生ガス 液体材料 バブリングシステム 当社のノウハウを活かし、発 QC： キャリアガス流量 生温度・流量の最適制御が可 QS C＝ ×100% QS： 液体材料のガス流量 能です。また、解析システム （QC＋QS） Q3： 発生流量（QC+QS） （CAE）等を活用し、最新の設 C ： 発生濃度 計を行っています。 ※バブリング方式においては、正確なキャリアガス流量や温度制御、発生圧力の制御が必要です

流量計測に関するご提案 マスフローコントローラなら、補正の手間なしに正確な流量制御が行なえます。 質量流量を計測 デジタル/アナログ通信が可能 体積流量の計測では温度・圧力の補正が 専用の制御電源ユニットやパソコンなどで MFC 必要ですが、質量流量なら不要です。 制御・管理することができます。 腐食対応 安全 省力化 腐食性や毒性の強いガス 電気信号により集中管理 には、接ガス部に全て が行なえ、管理者の手間を ステンレス材を採用した 減らしミスを減少します。 集中管理 モデルをラインアップ。 幅広い 金属部品などの腐食試験装置 用途に対応 などに多数採用されています。 遠隔操作が可能 パソコンによる通信で、 自動運転が行なえます。 精密膜流量計なら流量計の精度をワンタッチで確認できます。 すぐ確認できる 流量検定器として使用可能 公的機関にトレーサブル！ SF 精密膜流量計を使用すれば、流量計の 当社の精密膜流量計は、国家基準［独立行政 精度チェックを必要なときにすぐ行うこ 計法人 産業総合研究所、気象庁他］の検定を受けて 流量チェック とが可能。公的機関とのトレーサビリ !います。 OK ティもとれています。 インラインガス濃度・真空計測に関するご提案 バブリングシステムでの発生ガス濃度をリアルタイムに計測します。 小型で取付け自由 1台2役！ TMGa サンプリングラインが不要で、コンパク 濃度の計測と制御が可能に 0.1％ トなインラインガスモニタを用意して 濃度制御バルブとのシステムアップにより、 います。既存システムに容易に搭載可 総合的な発生濃度システムが構築可能です。 能です。 微量に残留するガスを容易に計測します。 O2 H2O 簡単操作で真空を計測 残留ガス計測の必要性 世界最小クラス※の計測部と簡単操作が 微量水分や酸素などが成膜プロセスに 可能な制御部により、取付け・操作性が 影響を与えます。残留ガス分析の必要性 向上しました。※2012年12月当社調べ が注目されています。 真空チャンバ

質量流量計測技術・制御技術 関連製品 マスフローコントローラは、流体（ガス・ マスフローコントローラ・マスフローメータ 液体）の質量流量を計測し制御を行い 駆動電源 SEC Series流量出力信号 流量設定信号 ます。 質量流量制御を活かし、精度よく気体の流量計測・制御 を行います。幅広い分野のニーズに対応する 質量流量での計測を行うため、使用 補正回路 比較制御 回　　路 豊富な機種をラインナップ 環境（温度・圧力）の補正が必要あり しています。 ません。 増幅回路 バルブ駆動 回　　路 本体には、流量センサ、流量制御バル 流量センサ ブリッジ回路 流量制御 ブ、フィードバック回路等を搭載し、 バルブ 外部より与えられる任意の流量設定 信号に応じた流量を自動制御します。 液体マスフローコントローラ・液体マスフローメータ LF/LV-F Series Inlet Outlet 層流素子バイパス 液体の微小流量（0.001ml/ min～）を精度よく計測・制御 することが可能です。 水、アルコールの他、特殊な 液体にも対応が可能です。 正確な流量計測技術 関連製品 Gas out 精密膜流量計は、容積を正確に計測した ストップディテクタ 精密膜流量計 ガラス体積管内を、石鹸液の膜が移動する SF/VP Series 値付けされた 速度（時間）で流量を測定します。時間と 体積 V（㎖） 簡単操作で、正確な流量測定が可 スタート 温度、圧力（気圧）を同時測定し、自動補正 ディテクタ 能な石鹸膜流量計です。各種流量 温度センサ 計の校正用基準器として活躍して を行うことで、正確な流量を計測します。 Gas in 周囲温度 います。 石鹸水 タンク 石鹸膜の移動時間を計測します HORIBAの分析技術 関連製品 インラインガス濃度モニタでは、赤外線 赤外線吸収法は、赤外光源から放射 ガス濃度モニタ された赤外光が、ガス分子により吸収 吸収法に分類される、非分散型赤外線吸収 IR Seriesされる現象を利用しています。 法（NDIR）を採用しています。ガスを直接 サンプル リファレンス NDIR法を用いたコンパクトサイズ 検知部 検知部 計測することにより、インラインでガス濃度 サンプルガスが のガス濃度モニタです。洗浄装置流れない場合、 赤 出力は同じ や、LED製造装置等で使用される が計測できます。 外線 特定のガス濃度を、インラインで 吸 サンプルガスが 収 流れると、サンプル 計測できる濃度モニタとして、多数 量 検知部のみ出力が 変化する 採用されています。 波 長 真空測定技術 関連製品 真空中のガス分析法には、四重極質量分析法があります。真空中の全圧だけで 残留ガス分析計 なく、分圧を計測し、微量なガス成分を分析する手法として認知されています。 MICROPOLE System 四重極質量分析法を利用した、世 界最小クラス※の残留ガス分析計 です。各種真空装置のプロセス管 理（品質向上・歩留まりの向上）に 貢献しています。 イオン源部 四重極部 検出部

堀場エステック独自の流体制御技術により、 お客様の研究や生産システムをサポートします。 ガスセンサ評価試験への応用例 ガス漏れセンサや、燃焼機関のO2センサなどの総合的な評価を行うシステムです。 目的に応じたガス濃度・湿度を発生し、テストガスとして試験槽へ供給します。試験槽ではセンサが使用 される環境を再現します。分析計の搭載も可能で、総合的な評価が行えます。 さらに、燃料電池システムの改質器評価システムをはじめとした評価試験システムをご提供しています。 ガス発生・ガス混合 試験・分析 混合器 N2 試験槽 排 気 O2 CO 加 サンプリング2 熱 CH4 配管（ 流 温 圧 濃 温 量 度 力 度 度 制 制 制 制 ガス分析計 制 御 御 御 御湿度添加・液体気化 御 ） N2 H2O 気化器 操作パネル 制御システム 堀場エステックの製品開発&サポート体制 基 幹 技 術 ● 精密流量測定・制御技術 ● 希釈・混合技術 ● ガス発生・液体気化供給技術 ● 真空計測技術 製 品 サポート ● 複合製品の納入・立ち上げ ● 保守メンテナンス 保 有 設 備 ● 3DCADシステム ● 基板設計システム　 ● 解析システム（CAE）による新規要素の検証 3DCAD 専門技術スタッフ ● 設計から生産・検査まで、社内スタッフによる対応 グループ企業との ● 総合分析技術のHORIBA 技 術 共 有 ● 光学分析技術において世界トップレベルの評価を受けているHORIBA JOBINYVON ● 水計測技術のエキスパートHORIBA AdvancedTechno 解析システム（CAE） HORIBAグループでは、品質ISO9001•環境ISO14001•労働安全衛生OHSAS18001を統合したマネジメントシステム（IMS:JQA-IG001）を運用しています。 さらに事業継続マネジメントISO22301を加え、有事の際にも安定した製品•サービスを提供できるシステムに進化しました。 ●このカタログの記載内容については、改良のために仕様・外観等、予告なく変更することがあります。●このカタログの製品詳細については別途ご相談ください。 ●このカタログと実際の商品の色とは、印刷の関係で多少異なる場合もあります。●このカタログに記載されている内容の一部または全部を無断転載することは禁止されています。 ●このカタログに記載されている製品は日本国内仕様です。海外仕様については別途ご相談ください。●このカタログで使用されている製品画面は、はめ込み合成です。 ●このカタログに記載されている各社の社名、製品名およびサービス名は、各社の商標または登録商標です。●希望販売価格は参考価格です。詳しくは代理店、販売店にお尋ねください。 ●製品を輸出される際には、製品の保証条件についてあらかじめご相談ください。●DeviceNet は Open DeviceNet Vendors Association, Inc の登録商標です。 ●EtherCAT は Beckhoff Automation GmbH, Germany の登録商標です。 〒601-8116 京都市南区上鳥羽鉾立町11番地5　075-693-2312 http://www.horiba-stec.jp e-mail:sales.stec@horiba.com 東京セールスオフィス 〒101-0063 東京都千代田区神田淡路町二丁目6番　（神田淡路町ニ丁目ビル5F） TEL 03-6206-4731　FAX 03-6206-4740 東北セールスオフィス 〒981-3133 仙台市泉区泉中央四丁目21番地8 TEL 022-772-6717　FAX 022-772-6727 山梨セールスオフィス 〒400-0031 山梨県甲府市丸の内二丁目14番13号　（ダイタビル3F） TEL 055-231-1351　FAX 055-231-1352 名古屋セールスオフィス 〒461-0004 名古屋市東区葵三丁目15番31号　（千種第2ビル6F） TEL 052-936-9511　FAX 052-936-9512 九州中央セールスオフィス 〒861-2401 熊本県阿蘇郡西原村大字鳥子字講米畑358番地11　鳥子工業団地 TEL 096-279-2922　FAX 096-279-3364 カタログNo. PSG-BJ Printed in Japan 1804SK53