表裏面を純水にて洗浄する事を可能とし、スピン乾燥まで行う装置です。
本装置は、φ100mm~φ300mm ウェーハサイズまで専用テーブルを交換する事で 各サイズを対応可能としております。
◆スピン洗浄・乾燥 テーブルを回転させ、ウェーハ表面に純水をかけながら洗浄し、ウェーハ中心部からN2を噴きかけながら、スピン乾燥まで行える洗浄手動装置です。
◆ワーク固定方式 チャック(吸着部)が交換式の為、ワークに合わせ吸着固定だけではなくピンタイプの固定も可能です。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 純水スピン洗浄・乾燥装置 TCL300SPW |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 260.3Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | テクノライズ株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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TCL３００SPW (純水スピン洗浄・乾燥装置)
装置概要
本装置は、φ100mm～φ300mm ウェーハサイズまで専用テーブルを交換する事で
各サイズを対応可能としております。
表裏面を純水にて洗浄する事を可能とし、スピン乾燥まで行う装置です。
特徴
(１)スピン洗浄・乾燥
テーブルを回転させ、ウェーハ表面に純水をかけながら洗浄し、ウェーハ中心部から N2を
噴きかけながら、スピン乾燥まで行える洗浄手動装置です。
１．ワーク固定方式
チャック(吸着部)が交換式の為、ワークに合わせ吸着固定だけではなく
ピンタイプの固定も可能です。
２．オプション
各種要求に合わせた装置のカスタマイズ化が可能です。
(1) 耐薬品仕様
(2) 耐薬品ノズル
など用途に合わせて選択することができます。
仕様
チャック径 洗浄ウェーハサイズにより変更可能
桶材質 SUS304
スピン回転速度 ０～500r/min
スピン乾燥速度 ０～2000r/min
機械寸法（標準） 550W×700D×400Hmm
テクノライズ株式会社
〒224-0041
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