実験用小口径ウェーハ・チップの簡易的な洗浄に最適です。
本装置は、バキュームチャック部に固定されたチップ、ウェーハをディスクタイプベルクリンと 活性剤により、スクラブ洗浄する手動装置である。
◆片面スクラブ洗浄機
ベルクリン純水により、洗浄を行い、ウェーハ中心部から N2 を噴きかけながら スピン乾燥まで行えるスクラブ洗浄手動装置です。
◆ワーク固定方式
チャック(吸着部)が交換式の為、ワークに合わせ吸着固定だけではなく ピンタイプの固定も可能です。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 片面スクラブ洗浄手動装置 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 457.5Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | テクノライズ株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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装置概要
本装置は、バキュームチャック部に固定されたチップ、ウェーハをディスクタイプベルクリンと
活性剤により、スクラブ洗浄する手動装置である。
実験用小口径ウェーハ・チップの簡易的な洗浄に最適です。
特徴
(１)片面スクラブ洗浄機
ベルクリン純水により、洗浄を行い、ウェーハ中心部から N2 を噴きかけながら
スピン乾燥まで行えるスクラブ洗浄手動装置です。
１．ワーク固定方式
チャック(吸着部)が交換式の為、ワークに合わせ吸着固定だけではなく
ピンタイプの固定も可能です。
２．オプション
各種要求に合わせた装置のカスタマイズ化が可能です。
(1) 耐薬品仕様
(2) 操作パネル内蔵式(タッチパネル操作)
(3) オシレーション揺動装置
など用途に合わせて選択することができます。
仕様
チャック径 φ150mm
ベルクリン径 φ84mm
スピン回転速度 ０～1000r/min
スクラブ回転速度 ０～100r/min
上下加圧機構 エアーシリンダー
機械寸法（標準） 400W×450D×900Hmm
テクノライズ株式会社
〒224-0041
神奈川県横浜市都筑区仲町台 1－2－20 フロンティアビル 5F
TEL 045-949-5008 FAX 045-949-6008
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