真空環境下で高精度に接着、極薄ウェーハの加工といった高精度加工を、効率的に行うことを可能にしました。
◆ワックス層の厚みを極限までコンロトール、高精度極薄ウェーハ製作を可能にしました。
◆試料加圧に空気圧力（ダイヤフラム方式）を採用、均一加圧を実現しました。
◆真空環境下で貼り付ける事で広範囲な貼り付けムラや接着力不足をキッチリ解消します。
◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 真空貼り合わせ装置 VAP-250 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 563.5Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | テクノライズ株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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