堀場エステックが提案する カーボンニュートラル

カーボンニュートラル・リサイクル 実現に向けたテスト環境の構築 このような課題をお持ちの方におすすめ ! 吸着剤評価試験のテスト環境の構築方法について知りたい CO2透過膜試験のテスト環境の構築方法について知りたい メタネーション試験設備の構築方法について知りたい コンクリートへのCO2吸着評価試験のテスト環境の 構築方法について知りたい MFC MFC HORIBA STEC Business Report

Chapter 01 カーボンニュートラル実現に向けた動き 「CO2を資源として有効活用」する技術である「カーボンリサイクル」は、 今後、日本が技術面・産業面で世界をリードしていくことが期待されている分野の一つです。 CO2回収・有効利用・貯留（CCUS：Carbon dioxide Capture,Utilization and Storage）の技術を確立し、CCUSの技術を活用することで、 大幅なCO2の削減を可能とするカーボンニュートラルな社会の実現が期待されます。 各企業・研究機関が、CCUSにかかわる技術課題の解決を取り組みされている中、HORIBAのガスの計測・制御技術、ガス分析技術は、 研究の促進において多数貢献しております。今回は、吸収・吸着・触媒における評価試験での導入事例とHORIBA STECの技術をご紹介させて頂きます。 CCS EOR* * Enhanced Oil Recovery 排ガスなど 貯留 直接利用 CCUSにおいて、CO2を有用 Storage 溶接、 ドライアイスなど 物質に転換する上で、触媒性 能（転換率・選択率、長寿命化） CCU カーボンリサイクル の向上や新たな触媒開発は ● カーボンリサイクルの技術課 分離回収 利用 熱化学（ 触媒など）基盤物質 ● Capture 輸送 Utilization 光化学（ 光触媒など） 題の一つとして研究開発が進 ● CO、 H2の合成ガス ● 電気化学（ 電気化学的還元など） ● メタノールなど められています。 ● 生物を利用した合成（ 微生物など） 上記の組み合わせ ● 共通技術 化学吸収／物理吸収膜分離など ● 直接回収（ DAC：Direct Air Capture） 化学品 ● 含酸素化合物（ ポリカーボネート、 ウレタンなど） ● バイオマス由来化学品 CO2フリー水素製造 ● 汎用物質（ オレフィン、 BTXなど） ● 水電解 燃料 ● 液体燃料①（ 微細藻類バイオ燃料：ジェット燃料・ディーゼル） ● 化石資源改質 + CCSなど ● 液体燃料②（ 合成燃料（e-fuel）またはバイオ燃料 ● 光触媒 （ 微細藻類由来を除く：メタノール、 エタノールなど） 基盤物質 ● ガス燃料（ メタン、プロパン） 国内余剰再生可能エネルギー ● 輸入CO2フリー水素（褐炭水素など） 鉱物 ● コンクリート製品・コンクリート構造物、 炭酸塩など ● 各種水素キャリア ● 液化水素、 MCH、 アンモニアなど その他 ● ネガティブ・エミッション（ BECCS、 ブルーカーボン、 植物利用など） 2050年カーボンニュートラルの実現に向けた検討」（経済産業省）を加工して作成 https://www.enecho.meti.go.jp/committee/council/basic_policy_subcommittee/035/035_004.pdf 01 HORIBA STEC Business Report

Chapter 02 導入事例 CO2吸着材の評価・分析 ▶▶ POINT ガス混合 湿度管理 ガス分析 CO2の吸着・脱離性能を評価する試験装置の製作が可能です。 ガス混合ラインの構築だけではなく、恒温槽・HORIBAの分析計も含めた総合的な装置のご提案をすることで、最適な吸着剤の評価・分析が可能です。 さらに湿度を含んだ場合の評価も、液体用のマスフローメータと直接気化方式の気化器を組み合わせることで可能です。 ミキサー 恒温槽／反応槽 試験の 概略フロー N MFC 2 EXHAUST M O MFC 2 SAMPLING CO MFC 気化器 ガス分析計 2 MV MFC マルチメータ N2 L MFC H 度測定 2O 温 器 データ処理 02 HORIBA STEC Business Report

Chapter 02 導入事例 CO2透過膜の評価・分析 ▶▶ POINT ガス混合 湿度管理 圧力制御 ガス分析 CO2を分離・回収する技術として膜分離法があります。 HORIBA STECでは、CO2だけを透過させるCO2透過膜の透過性能を評価する試験装置の製作が可能です。 評価試験ではCO2以外の不純なガスが膜を透過していないか確認することが必要です。 試験装置では、膜の前後で圧力制御することで透過状況の変化を確認することができます。 またガスには水分も含まれてる可能性があるので、気化器のシステムも合わせてご提案が可能です。 ミキサー 試験の CO2透過膜 概略フロー N MFC 2 EXHAUST M CH MFC 4 SAMPLING 圧力測定・制御 ガス分析計 CO MFC 2 気化器 MV N MFC 2 VAPO L MFC H2O 03 HORIBA STEC Business Report

Chapter 02 導入事例 メタネーション触媒の評価・分析 ▶▶ POINT ガス混合 温度管理 ガス分析 メタネーションは、水を再生可能エネルギー由来の電力で水素と酸素に電気分解した後、水素とCO2を化学反応によってメタン（CH4）を合成したり、 水とCO2の共電解で得られる合成ガス（水素とCOの混合ガス）からメタンを合成する技術で、実用化が期待されています。 HORIBA STECでは、メタネーション触媒の浄化性能・耐久性能を評価する試験装置の製作が可能です。 ガス混合ラインの構築だけでなく、加熱反応炉や冷却トラップ・HORIBAの分析計も含めた総合的な装置の提案が可能です。 ミキサー 加熱反応炉（触媒） 水分トラップ N MFC 2 M EXHAUST H MFC 2 SAMPLING CO MFC 2 MFC 温度測定器 ガス分析計 CH4 O MFC 2 SO MFC 2 NO MFC データ処理 04 HORIBA STEC Business Report

Chapter 02 導入事例 コンクリートへのCO2吸着評価試験 ▶▶ POINT ガス混合 圧力制御 CO2の排出量を削減するため、CO2をコンクリート中に吸収・固定する「CO2固定化」技術の研究が進められています。 CO2吸着評価試験ではコンクリート内のCO2の吸着量は圧力の変化によって影響を受けることが想定されます。 そのため圧力を精密に制御することが必要とされます。 HORIBA STECではサンプルへの投入ガス作成から、排気の圧力コントロールまでを一括で行うことができます。 MFC ミキサー N2 MFC CO M 2 SAMPLE P PV 05 HORIBA STEC Business Report

Chapter 03 堀場エステックの技術 液体材料気化システム 液体材料とキャリアガス流量を、デジタル制御のマスフローコントローラ／メータで制御し、専用の気化部へ導入します。 気化部では、液体材料とキャリアガスへ効率良く熱量を与え、連続気化を行います。 シンプルな構造により、コンパクト化、軽量化を両立した液体材料の気化システムが構築できます。 MFC QC Base QC： DRYライン流量 gas QS： 液体材料の流量 Q3： 発生流量（Qc+Qs） 圧送 L MFM QS MV Q3 ガス C ： H2O濃度（％） C Mixed （%） gas QS C ＝ × 100% （QC＋QS） Feed back Liquid 06 HORIBA STEC Business Report

Chapter 03 堀場エステックの技術 バブリングシステム キャリアガスを用いて、液体材料タンク内の液体を気化する方式です。 堀場エステックではバブリング方式を搭載した装置を生産し、長時間の安定発生や発生濃度の可変を行うロジックをノウハウとして蓄積しています。 PS MFC N2 F 希釈ガス MFC キャリアガス OUTLET H2O Heater Liquid 5-80℃ 07 HORIBA STEC Business Report

Chapter 04 関連製品 マスフローコントローラ デジタルオートプレッシャレギュレータ 液体微小マスフローコントローラ ● 毒性、腐食性ガス対応 ● 高精度圧力センサ、高分解能・高速応答の ● 冷却方式センサ、安定性に優れ発熱のない ● お客様でガス種・流量レンジの変更が可能 　ピエゾバルブを採用 　ピエゾバルブを採用 ● 瞬時の圧力変動においても安定した圧力制御が可能 ● フルスケール流量0.02g/minからラインナップ 多成分ガス混合装置 液体材料気化システム 大流量ベーパライザ ● 2～6成分の混合を想定した標準製品をラインナップ ● トルネードフロー方式による安定気化 ● 高温使用可能： ※6種類以上のガス混合システムの製作も可能 ● コンパクトな気化システムの構築が可能 　気化器の設定温度は室温＋5℃～300℃（ 常時使用可） ● H2O最大30g/minの気化が可能 ※キャリアガス10L/min固定が必要 08 HORIBA STEC Business Report

製品の技術的なご相談をお受けします 〒601-8116 京都市南区上鳥羽鉾立町11番地5　075-693-2312　 https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/ カスタマーサポート 東京セールスオフィス 〒101-0063 東京都千代田区神田淡路町二丁目6番（ 神田淡路町二丁目ビル5F） TEL 03-6206-4731　FAX 03-6206-4740 0120-077-633 東北セールスオフィス 〒981-3133 仙台市泉区泉中央四丁目21番地8 TEL 022-772-6717　FAX 022-772-6727 受付時間 9：00～12：00 / 13：00～17：00（祝祭日を除く月曜日～金曜日） 名古屋セールスオフィス 〒451-0051 名古屋市西区則武新町三丁目1番17号（ BIZrium名古屋4F） TEL 052-433-3451　FAX 052-433-3461 ※携帯電話・PHSからでもご利用可能です。 九州中央セールスオフィス 〒861-2401 熊本県阿蘇郡西原村大字鳥子字講米畑358番地11 鳥子工業団地 TEL 096-279-2922　FAX 096-279-3364 ※一部のIP電話からご利用できない場合がございます。 レポートNo. HA5104RPT129