300mmウェーハの位置決め、およびノッチ合わせを高精度に行うユニットです。
各種半導体製造装置、またはウェーハ検査装置の
- カセット収納時のノッチ合わせ
- ウェーハID読み取り用の位置決め
などでご使用いただけます。
このカタログについて
| ドキュメント名 | ウェーハ用アライナ Model ALV2 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 303Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 芝浦エレテック株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
Page1
Aligner for wafers
Model ALV2
ウェーハ⽤アライナ
⽤途
300mmウェーハの位置決め、およびノッチ合わせを⾼精度に⾏うユニットです。
各種半導体製造装置、またはウェーハ検査装置の
- カセット収納時のノッチ合わせ
- ウェーハID読み取り⽤の位置決め
などでご使⽤いただけます。
特⻑、仕様
特⻑ 仕様
300mm アッパーチャック開閉機構 ストローク1mm
対象ウェーハ シリコンウェーハ
ノッチ仕様 アッパーチャック 回転⾓360°∞回転機構 分解能0.12°
ウェーハエッジをチャック開閉機構に ロアーチャック 回転⾓Max15°エッジグリップ⽅式 よりメカニカルチャック 回転機構 分解能0.12°
ロアーチャック ストロークMax33mm
ポリイミド樹脂を使⽤ 上下機構 分解能0.005mm
ウェーハ接触部
（オプションでPEEK材）
センサ ノッチ検出センサ（スポット径Φ1mm）在荷センサ
シリアル通信（RS232C）を⽤い、
制御⽅式 専⽤コマンドによる制御 電源 DC24V ， Max10A
（オプションでRS422も対応可） 質量 本体20kg ， コントローラ6kg
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システム構成 外形⼨法図 コントローラ
単位：㎜
上位
コントローラ
シリアル通信
コントローラ
電源
DC24V
外形⼨法図 本体
単位：㎜
※本カタログに記載されている商品の外観・仕様などは、商品改良などのために予告なく変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。
ＣＳセンター 技術担当 花巻分室
〒025-0312 岩⼿県花巻市⼆枚橋5-6-38 F棟
TEL：0198-29-6041 FAX：0198-29-6042
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SME159A01H1810