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多孔質材のアドバンテージ
◇掲載製品(用途)
・フラットエアベアリング(CMM、精密計測器、画像処理機、スキャナ、素材検査機など)
・エアブッシュ(単結晶引上げ、スピンドル、ロータリテーブル、ウェブ搬送、粉塵環境など)
・VPL(バキュームプリロード)エアベアリング(リトグラフィ、顕微鏡、半導体ウェハ修正検査機など)
・ラジアルエアベアリング(ロータリテーブル、スピンドル、X線検査装置、CTスキャナ、MRIなど)
・エンドサポート エアスライダ(高速加工機サーボ、ウェハスライサ・ダイサ、測長機など)
・ドブテイル エアスライダ(コンタクトレンズ製造、ダイアモンド旋盤、めがねレンズ関連など)
・コンベア エアベアリング( FPD、PV、半導体製造及び樹脂、有機材、金属などの薄板膜製造における高度光学検査など)
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このカタログについて
ドキュメント名 | 多孔質カーボン材使用で高分解・高精度! 米ニューウェイ社 エアベアリング |
---|---|
ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 3.3Mb |
取り扱い企業 | 福田交易株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
この企業の関連カタログ

このカタログの内容
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NEWWAY社は、モジュール式エアベアリング製品の設計・製造において世界をリード
する独立系企業であり、1994年の創業以来、世界30カ国以上で販売されている
多孔質媒体エアベアリングソリューションのプロバイダーとして知られています。 エアベアリング
77005020 CAT.①2306N(A)
Page2
FLAT RECTANGULAR
長方形フラット エアベアリング 150×300mm
長方形フラット エアベアリングは、高負荷用途や、タイトなスペースへの組込みに適した
エアベアリングです。 標準サイズ以外にも、ご希望に応じたカスタム対応も可能です。
125×250mm
エ
ア長
ベ方
ア形
リフ 簡単な取付けと調整
ンラ
グッ 専用ねじ付ボール・マウントにより、 100×200mm
ト
簡単にコンポーネントに組込み/ 主な応用例
調整が可能です。
■ 3次元測定器
■ 半導体ウェハー研磨装置
■ 半導体露光装置 75×150mm
■ 摩擦・弾性試験装置
■ 高精度ステージ
■ FPD製造装置
エ
ア丸
ベ形
■ ロボット開発
アフ ■ 航空宇宙実験
リラ
ンッ
50×100mm
グト
40mm x 80mm 長方形フラット エアベアリング 40×80mm
ボールマウンティングスクリュー(オプション)
エバ リテーナ(オプション)
ア エア継手(オプション)
ベキ
アュー
リム
ンプ
グリ 40×50mm
ロ
ー
ド
製品仕様 : 長方形フラット エアベアリング
外形寸法 型式 最適負荷 浮上剛性 消費エア流量
荷重[N] [N/µm] [NL/min] 25×50mm
12mm x 24mm S121201 36 5 0.1
エ
ア 15mm x 30mm S121501 62 7 0.4
ブ
ッ 20mm x 40mm S122001 111 14 0.7
シ 20×40mm
ュ 25mm x 50mm S122501 187 22 0.9
40mm x 50mm S124001 356 35 1.3
40mm x 80mm S124002 623 58 1.8
50mm x 100mm S125001 1,112 110 2.1 15×30mm
75mm x 150mm S127501 2,580 324 2.6
100mm x 200mm S1210001 4,893 665 2.8
そ 125mm x 250mm S1212501 7,784 1009 3.0
の
他 150mm x 300mm S1215001 11,121 1645 4.2 12×24mm
※上記性能は、供給エア圧0.41MPaでかつ浮上量5µm時の参考値となります。
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FLAT RECTANGULAR
長方形フラット エアベアリング 150×300mm
長方形フラット エアベアリングは、高負荷用途や、タイトなスペースへの組込みに適した
エアベアリングです。 標準サイズ以外にも、ご希望に応じたカスタム対応も可能です。
125×250mm
エ
ア長
ベ方
ア形
リフ 簡単な取付けと調整
ンラ
グッ 専用ねじ付ボール・マウントにより、 100×200mm
ト
簡単にコンポーネントに組込み/ 主な応用例
調整が可能です。
■ 3次元測定器
■ 半導体ウェハー研磨装置
■ 半導体露光装置 75×150mm
■ 摩擦・弾性試験装置
■ 高精度ステージ
■ FPD製造装置
エ
ア丸
ベ形
■ ロボット開発
アフ ■ 航空宇宙実験
リラ
ンッ
50×100mm
グト
40mm x 80mm 長方形フラット エアベアリング 40×80mm
ボールマウンティングスクリュー(オプション)
エバ リテーナ(オプション)
ア エア継手(オプション)
ベキ
アュー
リム
ンプ
グリ 40×50mm
ロ
ー
ド
製品仕様 : 長方形フラット エアベアリング
外形寸法 型式 最適負荷 浮上剛性 消費エア流量
荷重[N] [N/µm] [NL/min] 25×50mm
12mm x 24mm S121201 36 5 0.1
エ
ア 15mm x 30mm S121501 62 7 0.4
ブ
ッ 20mm x 40mm S122001 111 14 0.7
シ 20×40mm
ュ 25mm x 50mm S122501 187 22 0.9
40mm x 50mm S124001 356 35 1.3
40mm x 80mm S124002 623 58 1.8
50mm x 100mm S125001 1,112 110 2.1 15×30mm
75mm x 150mm S127501 2,580 324 2.6
100mm x 200mm S1210001 4,893 665 2.8
そ 125mm x 250mm S1212501 7,784 1009 3.0
の
他 150mm x 300mm S1215001 11,121 1645 4.2 12×24mm
※上記性能は、供給エア圧0.41MPaでかつ浮上量5µm時の参考値となります。
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FLAT ROUND
丸形フラット エアベアリング 300mm
丸形フラット エアベアリングは、高負荷用途や、試作段階の製品等にも適用し易いエアベア
リングです。 標準サイズ以外にも、ご希望に応じたカスタム対応も可能です。
250mm
エ
ア長
ベ方
ア形 簡単な取付けと調整 200mm
リフ
ンラ
グッ 専用ねじ付ボール・マウントにより、
ト
簡単にコンポーネントに組込み/ 主な応用例
調整が可能です。
■ 3次元測定器
■ 半導体ウェハー検査装置 150mm
■ 半導体露光装置
■ 摩擦・弾性試験装置
■ 高精度ステージ
■ FPD製造装置
エ
ア丸
ベ形
■ ロボット開発
125mm
アフ ■
リラ
航空宇宙実験
ンッ ■ 引張り強度試験機
グト
100mm
Φ25mm 丸形フラット エアベアリング
ボールマウンティングスクリュー(オプション)
エバ エア継手(オプション)
ア
ベキ
アュー
リム 80mm
ンプ
グリ
ロ
ー
ド
製品仕様 : 丸形フラット エアベアリング
外形寸法 浮上剛性 消費エア流量
(直径) 型式 最適負荷 65mm
荷重[N] [N/µm] [NL/min]
25mm S102501 80 18 0.5
エ
ア 40mm S104001 222 28 0.7
ブ
ッ 50mm S105001 355 58 1.1
シ 50mm
ュ 65mm S106501 666 87 1.4
80mm S108001 1110 114 2.3
100mm S1010001 1776 175 2.6
125mm S1012501 2775 254 2.6
40mm
150mm S1015001 4444 350 2.9
200mm S1020001 7770 700 3.8
そ ※上記性能は、供給エア圧0.41MPaでかつ浮上量5µm時の参考値となります。
の
他 25mm
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FLAT ROUND
丸形フラット エアベアリング 300mm
丸形フラット エアベアリングは、高負荷用途や、試作段階の製品等にも適用し易いエアベア
リングです。 標準サイズ以外にも、ご希望に応じたカスタム対応も可能です。
250mm
エ
ア長
ベ方
ア形 簡単な取付けと調整 200mm
リフ
ンラ
グッ 専用ねじ付ボール・マウントにより、
ト
簡単にコンポーネントに組込み/ 主な応用例
調整が可能です。
■ 3次元測定器
■ 半導体ウェハー検査装置 150mm
■ 半導体露光装置
■ 摩擦・弾性試験装置
■ 高精度ステージ
■ FPD製造装置
エ
ア丸
ベ形
■ ロボット開発
125mm
アフ ■
リラ
航空宇宙実験
ンッ ■ 引張り強度試験機
グト
100mm
Φ25mm 丸形フラット エアベアリング
ボールマウンティングスクリュー(オプション)
エバ エア継手(オプション)
ア
ベキ
アュー
リム 80mm
ンプ
グリ
ロ
ー
ド
製品仕様 : 丸形フラット エアベアリング
外形寸法 浮上剛性 消費エア流量
(直径) 型式 最適負荷 65mm
荷重[N] [N/µm] [NL/min]
25mm S102501 80 18 0.5
エ
ア 40mm S104001 222 28 0.7
ブ
ッ 50mm S105001 355 58 1.1
シ 50mm
ュ 65mm S106501 666 87 1.4
80mm S108001 1110 114 2.3
100mm S1010001 1776 175 2.6
125mm S1012501 2775 254 2.6
40mm
150mm S1015001 4444 350 2.9
200mm S1020001 7770 700 3.8
そ ※上記性能は、供給エア圧0.41MPaでかつ浮上量5µm時の参考値となります。
の
他 25mm
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VACUUM PRELOADED
バキュームプリロード エアベアリング バキュームプリロード エアベアリングは、加圧エアと真空を同時に使用し、平面に対して
エア浮上しながら吸着、エアギャップを予圧します。真空とエア圧力を別々に調整することで、
エアベアリングの浮上量と剛性を自在にコントロール可能です。
90mm
エ
ア長
ベ方 簡単な取付けと調整
ア形
リフ 専用のフレクシャマウントにより、
ンラ
グット 浮上方向と吸着方向の剛性を得る
ことができます。マウント付け根が 主な応用例
変形するため、組付け時に微少角度
■ 半導体ウェハー位置調整機構
調整が可能です。
■ 光学系調整機構
■ 精密検査装置 75mm
■ 高精度ステージ
■ 各種実験装置
エ
ア丸
ベ形
アフ
リラ
ンッ
グト
50mm
75mm バキューム・プリロード エアベアリング
フレクシャマウント(オプション)
エバ エア継手(オプション)
ア
ベキ
アュー
リム
ンプ
グリ
ロ
ー
ド
製品仕様 : バキュームプリロード エアベアリング
外形寸法
(直径) 型式 最適負荷 浮上剛性 消費エア流量
荷重[N] [N/µm] [NL/min]
50mm S205001 45 13 1.1
エ
ア 75mm S207501 110 29 1.4
ブ
ッ 90mm S209001 150 43 1.5
シ
ュ ※上記性能は、供給エア圧0.41MPaかつ真空圧-50.8kPa時で、浮上量5µm時の参考値となります。
そ
の
他
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VACUUM PRELOADED
バキュームプリロード エアベアリング バキュームプリロード エアベアリングは、加圧エアと真空を同時に使用し、平面に対して
エア浮上しながら吸着、エアギャップを予圧します。真空とエア圧力を別々に調整することで、
エアベアリングの浮上量と剛性を自在にコントロール可能です。
90mm
エ
ア長
ベ方 簡単な取付けと調整
ア形
リフ 専用のフレクシャマウントにより、
ンラ
グット 浮上方向と吸着方向の剛性を得る
ことができます。マウント付け根が 主な応用例
変形するため、組付け時に微少角度
■ 半導体ウェハー位置調整機構
調整が可能です。
■ 光学系調整機構
■ 精密検査装置 75mm
■ 高精度ステージ
■ 各種実験装置
エ
ア丸
ベ形
アフ
リラ
ンッ
グト
50mm
75mm バキューム・プリロード エアベアリング
フレクシャマウント(オプション)
エバ エア継手(オプション)
ア
ベキ
アュー
リム
ンプ
グリ
ロ
ー
ド
製品仕様 : バキュームプリロード エアベアリング
外形寸法
(直径) 型式 最適負荷 浮上剛性 消費エア流量
荷重[N] [N/µm] [NL/min]
50mm S205001 45 13 1.1
エ
ア 75mm S207501 110 29 1.4
ブ
ッ 90mm S209001 150 43 1.5
シ
ュ ※上記性能は、供給エア圧0.41MPaかつ真空圧-50.8kPa時で、浮上量5µm時の参考値となります。
そ
の
他
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AIR BUSHINGS
エアブッシュ エアブッシュは、コンパクトで組立性を考慮したコンポーネントにより、直動または回転運動
を摩擦ゼロで支持します。
75mm
エ
ア長
ベ方 簡単な取付けと調整
ア形
リフ 組立性を考慮して設計されたマウン
ンラ
グッ ティング・ブロックや、ブッシュ付属
ト
Oリングの組合わせにより、簡単に 主な応用例 50mm
コンポーネントに組込み/調整が可
■ 軸受・ギヤ回転試験装置
能です。
■ 摩擦・弾性試験装置
■ 高精度ステージ
■ ロータリーテーブル
■ ロボット開発
■ 航空宇宙実験
エ
ア丸
ベ形
アフ
リラ
ンッ 40mm
グト
75mm エアブッシュ
マウンティング・ブロック(オプション)
エバ エア継手(オプション)
ア
ベキ
アュー
リム 25mm
ンプ
グリ
ロ
ー
ド
製品仕様表 : エアブッシュ
最大 最大 最大
内径 型式 ラジアル ラジアル ピッチ 最大 エア消費 適合シャフト径
負荷荷重 剛性 モーメント ピッチ剛性 流量 (g6級)
[N] [N/µm] [Nm] [Nm/mil rad] [NL/min] [mm]
6mm I.D. S300601 12 2 0.01 0.02 2 Φ6
エ 20mm
ア 13mm I.D. S301301 44 11 0.8 2.1 3 Φ13
ブ
ッ 20mm I.D. S302001 133 23 1.1 2.8 5 Φ20
シ
ュ 25mm I.D. S302502 187 34 1.9 5.3 6 Φ25
40mm I.D. S304002 645 72 3.1 11 9 Φ40
50mm I.D. S305002 934 110 5.2 23 12 Φ50
75mm I.D. S307502 1245 159 7.1 31 18 Φ75
※上記性能は、シャフトを挿入して供給エア圧0.41MPaかつ浮上量4µm時の参考値となります。 13mm
そ
の
他
Page9
AIR BUSHINGS
エアブッシュ エアブッシュは、コンパクトで組立性を考慮したコンポーネントにより、直動または回転運動
を摩擦ゼロで支持します。
75mm
エ
ア長
ベ方 簡単な取付けと調整
ア形
リフ 組立性を考慮して設計されたマウン
ンラ
グッ ティング・ブロックや、ブッシュ付属
ト
Oリングの組合わせにより、簡単に 主な応用例 50mm
コンポーネントに組込み/調整が可
■ 軸受・ギヤ回転試験装置
能です。
■ 摩擦・弾性試験装置
■ 高精度ステージ
■ ロータリーテーブル
■ ロボット開発
■ 航空宇宙実験
エ
ア丸
ベ形
アフ
リラ
ンッ 40mm
グト
75mm エアブッシュ
マウンティング・ブロック(オプション)
エバ エア継手(オプション)
ア
ベキ
アュー
リム 25mm
ンプ
グリ
ロ
ー
ド
製品仕様表 : エアブッシュ
最大 最大 最大
内径 型式 ラジアル ラジアル ピッチ 最大 エア消費 適合シャフト径
負荷荷重 剛性 モーメント ピッチ剛性 流量 (g6級)
[N] [N/µm] [Nm] [Nm/mil rad] [NL/min] [mm]
6mm I.D. S300601 12 2 0.01 0.02 2 Φ6
エ 20mm
ア 13mm I.D. S301301 44 11 0.8 2.1 3 Φ13
ブ
ッ 20mm I.D. S302001 133 23 1.1 2.8 5 Φ20
シ
ュ 25mm I.D. S302502 187 34 1.9 5.3 6 Φ25
40mm I.D. S304002 645 72 3.1 11 9 Φ40
50mm I.D. S305002 934 110 5.2 23 12 Φ50
75mm I.D. S307502 1245 159 7.1 31 18 Φ75
※上記性能は、シャフトを挿入して供給エア圧0.41MPaかつ浮上量4µm時の参考値となります。 13mm
そ
の
他
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Air spindle AirTurn
エアスピンドル エアターン
エアベアリングが組込まれた回転ユニット。エアを供給するだけで、非接触の回転ベアリングと ロール状エアベアリング。フィルムをエアで浮上させ、非接触で搬送可能です。ご希望のロール
して機能します。 外径と面長、ラップ角をご選択いただけます。
エア消費 ラジアル
形状 型 式 外径寸法 ロータ径 流量 垂直荷重 荷重 最大回転数 総重量 ロータ重量 形状 型 式 外径 面長 XXX ラップ角度
[mm] [mm] [NL/min] [N] [N] [min-1] [kg] [kg] [mm] [mm] [°]
SS-55 φ100 φ53 11 91 41 21,739 1.2 0.5 S38075XXX-110 φ75 250~2000 110
SS-75 φ125 φ75 13 286 117 13,274 2.4 0.9 S38075XXX-220 φ75 250~2000 220
エ SS-100 φ150 φ100 16 585 216 9,554 4.2 3.5 S38075XXX-330 φ75
ア長
250~2000 330
ベ方 SS-150 φ180 φ150 24 1,387 396 6,586 8.3 4.4 S38100XXX-110 φ100 250~2000 110
ア形 SS-250 φ277 φ250 28 4,233 1,108 3,979 37 20
リフ
S38100XXX-220 φ100 250~2000 220
ンラ SS-375 φ450 φ375 47 10,554 2,502 2,626 142 65 S38100XXX-330 φ100 250~2000 330
グット ※上表性能は供給エア圧0.41MPa時の参考値となります。 S38125XXX-110 φ125 250~2000 110
S38125XXX-220 φ125 250~2000 220
S38125XXX-330 φ125 250~2000 330
Radial Air bearing S38150XXX-110 φ150 250~2000 110
S38150XXX-220 φ150 250~2000 220
S38150XXX-330 φ150 250~2000 330
ラジアル エアベアリング ※エア消費流量は外径および面長によります。
※面長は250mm刻みとなります。2000mm以上はご相談ください。
エ
ア丸
円弧状のエアベアリング。ロータリーテーブルやリング形状、円柱形状の回転体を非接触で
ベ形 支持します。お客様のご希望に合わせた曲率半径で製作します。
アフ Air slide
リラ
ンッ 形状 (*** 曲率半径) 最適負荷 浮上剛性 エア消費流量 サイズ
グト Parts No. [N] [N/µm] [NL/min] [mm] 曲率半径
W L
S3212W*** 22 5 0.4 12 24 12~60 エアスライド
S3215W*** 44 7 1 15 30 15~75
S3220W*** 89 14 2 20 40 20~100
S3225W*** 156 22 2 25 50 エアベアリングが組込まれた直動ユニット。エアを供給するだけで、非接触のリニアガイドとして
25~125
S3240W*** 445 58 4 40 80 40~200 機能します。
S3250W*** 801 110 5 50 100 50~250
幅方向 S3275W*** 1868 250 4 75 150 75~375
S32100W*** 4003 665 4 100 200 100~500 形状 型式 ストローク レール長さ 最大荷重(Z)最大荷重(Y) 剛性(Z) 剛性(Y) エア消費流量
エバ 谷Rタイプ
S32125W*** 6672 1009 5 125 250 125~625 [mm] [mm] [N] [N] [N/μm] [N/μm] [NL/min]
ア
ベキ S32150W*** 10453 1645 5 150 300 150~750
アュー S3212L*** 22 5 0.4 12 24 24~120 S40-05267-254571 305 571 2669 - 350 175 20
リム S3215L*** 44 7 1 15 30 30~150
ンプ S3220L*** 89 14 2 20 40 40~200 ボックスウェイ
グリ S40-05267-254368 102 368 2669 - 350 175 20
S3225L*** 156 22 2 25 50 50~250
ロ
ー S3240L*** 445 58 4 40 80 80~400
ド S3250L*** 801 110 5 50 100 100~500 S40-01200-125508 305 508 1384 1184 545 466 11
S3275L*** 1868 250 4 75 150 150~750
長手方向 S32100L*** 4003 665 4 100 200 200~1000 S40-01200-125305 102 305 1384 1184 545 466 11
谷Rタイプ S32125L*** 6672 1009 5 125 250 250~1250
S32150L*** 10453 1645 5 150 300 300~1500 S40-03125-050432 305 432 509 509 267 267 6
S3312W*** 22 5 0.4 12 24 12~60
S3315W*** 44 7 1 15 30 15~75
S3320W*** 89 14 2 20 40 20~ S40-03125-050229 102
100 229 509 509 267 267 6
S3325W*** 156 22 2 25 50 25~125
S3340W*** 445 58 4 40 80 40~200 S40-03100-100406 305 406 641 641 168 168 7
エ S3350W*** 801 110 5 50 100 50~250 エンドサポート
ア 幅方向 S3375W*** 1868 250 4 75 150 75~375 S40-03100-100203 102 203 641 641 168 168 7
ブ 山Rタイプ S33100W*** 4003 665 4 100 200 100~500
ッ
シ S33125W*** 6672 1009 5 125 250 125~625 S40-03075-038381 305 381 339 339 178 178 5
ュ S33150W*** 10453 1645 5 150 300 150~750
S3312L*** 22 5 0.4 12 24 24~120
S3315L*** 44 7 1 15 30 30~150 S40-03075-038178 102 178 339 339 178 178 5
S3320L*** 89 14 2 20 40 40~200
S3325L*** 156 22 2 25 50 50~250 S40-03050-025356 305 356 116 116 46 46 2
S3340L*** 445 58 4 40 80 80~400
S3350L*** 801 110 5 50 100 100~500 S40-03050-025152 102 152 116 116 46 46 2
S3375L*** 1868 250 4 75 150 150~750
長手方向
山Rタイプ S33100L*** 4003 665 4 100 200 200~1000 C47-0795-197 102 197 472 315 100 55 10
S33125L*** 6672 1009 5 125 250 250~1250
S33150L*** 10453 1645 5 150 300 300~1500
C47-0795-400 305 400 472 315 100 55 10
そ ※上表性能は、供給エア圧0.41MPaでかつ、浮上量5µm時の参考値となります。 エアウェイ
の ※上表性能は供給エア圧0.41MPa時の参考値となります。
他 ※ご指定のストロークにて特注可能
AirTurn Radial
Air spindle Air slide
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Air spindle AirTurn
エアスピンドル エアターン
エアベアリングが組込まれた回転ユニット。エアを供給するだけで、非接触の回転ベアリングと ロール状エアベアリング。フィルムをエアで浮上させ、非接触で搬送可能です。ご希望のロール
して機能します。 外径と面長、ラップ角をご選択いただけます。
エア消費 ラジアル
形状 型 式 外径寸法 ロータ径 流量 垂直荷重 荷重 最大回転数 総重量 ロータ重量 形状 型 式 外径 面長 XXX ラップ角度
[mm] [mm] [NL/min] [N] [N] [min-1] [kg] [kg] [mm] [mm] [°]
SS-55 φ100 φ53 11 91 41 21,739 1.2 0.5 S38075XXX-110 φ75 250~2000 110
SS-75 φ125 φ75 13 286 117 13,274 2.4 0.9 S38075XXX-220 φ75 250~2000 220
エ SS-100 φ150 φ100 16 585 216 9,554 4.2 3.5 S38075XXX-330 φ75
ア長
250~2000 330
ベ方 SS-150 φ180 φ150 24 1,387 396 6,586 8.3 4.4 S38100XXX-110 φ100 250~2000 110
ア形 SS-250 φ277 φ250 28 4,233 1,108 3,979 37 20
リフ
S38100XXX-220 φ100 250~2000 220
ンラ SS-375 φ450 φ375 47 10,554 2,502 2,626 142 65 S38100XXX-330 φ100 250~2000 330
グット ※上表性能は供給エア圧0.41MPa時の参考値となります。 S38125XXX-110 φ125 250~2000 110
S38125XXX-220 φ125 250~2000 220
S38125XXX-330 φ125 250~2000 330
Radial Air bearing S38150XXX-110 φ150 250~2000 110
S38150XXX-220 φ150 250~2000 220
S38150XXX-330 φ150 250~2000 330
ラジアル エアベアリング ※エア消費流量は外径および面長によります。
※面長は250mm刻みとなります。2000mm以上はご相談ください。
エ
ア丸
円弧状のエアベアリング。ロータリーテーブルやリング形状、円柱形状の回転体を非接触で
ベ形 支持します。お客様のご希望に合わせた曲率半径で製作します。
アフ Air slide
リラ
ンッ 形状 (*** 曲率半径) 最適負荷 浮上剛性 エア消費流量 サイズ
グト Parts No. [N] [N/µm] [NL/min] [mm] 曲率半径
W L
S3212W*** 22 5 0.4 12 24 12~60 エアスライド
S3215W*** 44 7 1 15 30 15~75
S3220W*** 89 14 2 20 40 20~100
S3225W*** 156 22 2 25 50 エアベアリングが組込まれた直動ユニット。エアを供給するだけで、非接触のリニアガイドとして
25~125
S3240W*** 445 58 4 40 80 40~200 機能します。
S3250W*** 801 110 5 50 100 50~250
幅方向 S3275W*** 1868 250 4 75 150 75~375
S32100W*** 4003 665 4 100 200 100~500 形状 型式 ストローク レール長さ 最大荷重(Z)最大荷重(Y) 剛性(Z) 剛性(Y) エア消費流量
エバ 谷Rタイプ
S32125W*** 6672 1009 5 125 250 125~625 [mm] [mm] [N] [N] [N/μm] [N/μm] [NL/min]
ア
ベキ S32150W*** 10453 1645 5 150 300 150~750
アュー S3212L*** 22 5 0.4 12 24 24~120 S40-05267-254571 305 571 2669 - 350 175 20
リム S3215L*** 44 7 1 15 30 30~150
ンプ S3220L*** 89 14 2 20 40 40~200 ボックスウェイ
グリ S40-05267-254368 102 368 2669 - 350 175 20
S3225L*** 156 22 2 25 50 50~250
ロ
ー S3240L*** 445 58 4 40 80 80~400
ド S3250L*** 801 110 5 50 100 100~500 S40-01200-125508 305 508 1384 1184 545 466 11
S3275L*** 1868 250 4 75 150 150~750
長手方向 S32100L*** 4003 665 4 100 200 200~1000 S40-01200-125305 102 305 1384 1184 545 466 11
谷Rタイプ S32125L*** 6672 1009 5 125 250 250~1250
S32150L*** 10453 1645 5 150 300 300~1500 S40-03125-050432 305 432 509 509 267 267 6
S3312W*** 22 5 0.4 12 24 12~60
S3315W*** 44 7 1 15 30 15~75
S3320W*** 89 14 2 20 40 20~ S40-03125-050229 102
100 229 509 509 267 267 6
S3325W*** 156 22 2 25 50 25~125
S3340W*** 445 58 4 40 80 40~200 S40-03100-100406 305 406 641 641 168 168 7
エ S3350W*** 801 110 5 50 100 50~250 エンドサポート
ア 幅方向 S3375W*** 1868 250 4 75 150 75~375 S40-03100-100203 102 203 641 641 168 168 7
ブ 山Rタイプ S33100W*** 4003 665 4 100 200 100~500
ッ
シ S33125W*** 6672 1009 5 125 250 125~625 S40-03075-038381 305 381 339 339 178 178 5
ュ S33150W*** 10453 1645 5 150 300 150~750
S3312L*** 22 5 0.4 12 24 24~120
S3315L*** 44 7 1 15 30 30~150 S40-03075-038178 102 178 339 339 178 178 5
S3320L*** 89 14 2 20 40 40~200
S3325L*** 156 22 2 25 50 50~250 S40-03050-025356 305 356 116 116 46 46 2
S3340L*** 445 58 4 40 80 80~400
S3350L*** 801 110 5 50 100 100~500 S40-03050-025152 102 152 116 116 46 46 2
S3375L*** 1868 250 4 75 150 150~750
長手方向
山Rタイプ S33100L*** 4003 665 4 100 200 200~1000 C47-0795-197 102 197 472 315 100 55 10
S33125L*** 6672 1009 5 125 250 250~1250
S33150L*** 10453 1645 5 150 300 300~1500
C47-0795-400 305 400 472 315 100 55 10
そ ※上表性能は、供給エア圧0.41MPaでかつ、浮上量5µm時の参考値となります。 エアウェイ
の ※上表性能は供給エア圧0.41MPa時の参考値となります。
他 ※ご指定のストロークにて特注可能
AirTurn Radial
Air spindle Air slide
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NEWWAY社は、モジュール式エアベアリング製品の設計・製造において世界をリード
する独立系企業であり、1994年の創業以来、世界30カ国以上で販売されている
多孔質媒体エアベアリングソリューションのプロバイダーとして知られています。 エアベアリング
77005020 CAT.①2306N(A)