高速工具サーボ　the Fast Tool Servo

FTS 高the Fast Tool Servo 速 工 具 サ ー ボ 写真は旧型になります。 Ultraprecise, ultrafast positioning device. 　高速工具サーボＦＴＳは、超精密加工機のバイトホルダーに装着し、工具刃先の超精密・高速位置決め を行うことにより、従来の加工機では不可能であった形状の加工を可能とする装置です。 　（独）産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ファインファクトリー研究グループで独自開発さ れたものを、技術使用許諾を得て製造販売しています。 　現在ＦＴＳはフラットパネル ディスプレーに使用される、各 種光学シートのロール金型加工 に利用されています。このよう な加工に使用される超精密旋盤 の刃物台に FTS を搭載すること により、刃先位置を任意に制御 して従来の直線形状に加えて波 状、球形状の加工を行うことが 可能になります。また、応答帯 域幅 4.5kHz の高速駆動により、 大型ワークの加工に対応します。 ＦＴＳの周波数応答曲線

ＦＴＳのしくみ ピエゾ素子による変位を内蔵された静電容量型変位計からのフィードバックにより制御します。 静電容量型変位計 変位計アンプへ ピエゾ素子 ピエゾアンプへ ワーク表面 工具刃先 刃先切り込み深さを ＦＴＳ ピエゾアンプ 変位指令 　サブミクロンで制御可能。 超 精 密 変位計アンプ サーボ回路 加 位置信号 工 機 波形信号 ＮＣ装置 波形発生器 位置信号 トリガー信号 仕様 駆動方式 圧電アクチュエーター 制御方式 内蔵変位センサーによる変位フィードバック制御 最大変位 ±5μm（DC）、±4μm（AC） サーボ指令入力 ±5V、アナログDC 応答帯域幅 4.5kHz (-3db) 変位制御分解能 5nm（使用環境のノイズレベルに依存） ＦＴＳ本体外形寸法 Φ35×124mm（工具含まず） 適応工具 アライドマテリアル製　NWD-PP2xx 他種にも変更可能 電源容量 AC100V1500VA 株式会社クラフトワークス 〒143-0013 東京都大田区大森南 4丁目 6-15 テクノ FRONT 森ヶ崎 501 http://cwc.jp [tel/fax] 03-3745-4501