通常の超精密ステージでは不可能な高速位置決めを可能にします！
高速工具サーボとは？
・Fast Tool Servo(FTS)
・（独）産業技術総合研究所にて開発
・超精密加工機に搭載して工具刃先を精密かつ高速に制御する装置しています。
ピエゾ素子による変位を内蔵された静電容量型変位計からのフィードバックにより制御
◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧ください。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 高速工具サーボ FTS Fast Tool Servo |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 4.9Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社クラフトワークス (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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FTS
Fast Tool Servo
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• 20 2
• 4-6-15
FRONT 501
– 23 4
• 1,000,000
• 4
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•
n Fast Tool Servo (FTS)
n
n
Ø
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FTS
•
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FTS
FTS
NC
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FTS
etc…
↓ ↓
JTEKT
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• (FPD)
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FTS
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FTS
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FTS
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– N 1.6kHz / 20μm ›
– 1.6kHz / 20μm ›
– NC 0.3kHz / 30μm ›
– P 0.7kHz / 70μm ›
☆ 4.5kHz / 10μm
• FTS