対応が難しかった半導体ウェハーなどの低位相差サンプルを対象にした全自動歪検査器です。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 近赤外全自動歪検査器 LSM-9001NIR |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 496.6Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社ルケオ (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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すべてはお客様の品質のために
(ひずみ）
近赤外全自 動 歪検査器
フルオートストレインアイ
LSM-9001NIR
✔ Si・SiC・GaN・ガラスウエハの歪分布評価
✔ サイズ 50×50mm を面分布で 1 分で評価
✔ 有色ガラス・アクリル樹脂製品の歪分布評価
シ リ コ ン ウ エ ハ の 品 質 管 理 が 可 能
■ 対応が難しかった半導体ウェハーなどの低位相差サンプルを対象にした全自動歪検査器です。
弊社ショールームで
いつでもサンプル評価
できます！
■ 主な評価対象
・ Si / SiC / GaN / ガラスウエハ
例えば、こんな色の
・ 透明 / 有色樹脂製品
樹脂が評価可能！
・ 水晶 / 石英 / 光学結晶
詳細については、お問い合せ下さい。
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■ 評価事例 シリコンウエハ / 有色アクリル樹脂成形
品
シリコンウエハ ノッチ周辺 歪分布（グラインディング工程の残留応力）
圧縮荷重を受ける黒色アクリル樹脂円板 歪分布
■ 仕 様
仕様 近赤外歪検査器 LSM-9001NIR
表示項目 位相差(nm)、応力(MPa) サンプル評価を承っております！
評価範囲 0～150nm 本リーフレットの製品以外にも
測定有効サイズ 約 50×50mm 様々な検査器があります！
検査方式 近赤外(NIR)回転検光子法
お気軽にご連絡ください。
外観寸法 / 重量 （本体） W300×D353×H540mm / 22kg
URL https://www.luceo.co.jp
※ 仕様は予告なしに変更されることがあります。 2022.12