【三菱電機】FAアプリケーションパッケージiQ Monozukuri回転機振動診断＜簡単導入ガイド＞

目次 第1章 はじめに 5 1.1 製品概要. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.2 診断対象設備 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 1.3 振動診断. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 簡易診断(絶対値判定). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 簡易診断(相対値判定). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 加速度FFTガードバンド監視 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 精密診断 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 MT法診断 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 1.4 導入の流れ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 第2章 システム構成の検討 11 2.1 スタンドアロン構成. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 2.2 ネットワーク対応構成. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 2.3 必要な機器 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 第3章 振動センサの選定 14 3.1 使用可能な振動センサ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14 3.2 振動センサの取り付け位置 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16 3.3 設備別の振動センサ取り付け位置 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17 3.4 振動センサの取り付け方法 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18 3.5 振動センサの取り付け面の状態 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18 第4章 振動診断システムの構築 19 4.1 システム構成例 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19 4.2 ライセンスキーの取得. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20 4.3 制御プログラムのインストール . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23 4.4 画面データのインストール . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 4.5 DBデータのインストール . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 4.6 ライセンスキーの登録. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27 第5章 システムの基本設定 28 5.1 システム構成設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28 5.2 管理CH名設定. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 第6章 パラメータの基本設定 31 6.1 センサ設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 6.2 診断対象設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32 6.3 諸元値設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33 手動入力設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .35 自動入力(玉軸受指定)設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .37 自動入力(三菱三相モータ指定)設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .40 6.4 監視周波数設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43 6.5 FFT設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44 6.6 監視モード設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45 1 CONTENTS

第7章 振動データの確認 46 7.1 既知の周波数の確認. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46 7.2 商用電源周波数との切り分け . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47 第8章 ノイズ対策の実施 48 8.1 ノイズ源の切り分け方法. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48 8.2 FFT平均方法によるノイズ対策例 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48 8.3 絶縁体などによるノイズ対策例 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49 8.4 配線方法によるノイズ対策例 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49 第9章 簡易診断の設定 50 9.1 簡易診断(絶対値判定)の設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50 9.2 簡易診断(相対値判定)の設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51 第10章 加速度FFTガードバンド監視の設定 52 第11章 精密診断の設定 54 第12章 MT法診断の設定 56 12.1 MT法診断の有効化 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56 12.2 項目(=MT法の変数)の設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57 12.3 サンプルデータの収集. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59 12.4 単位空間の生成 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62 12.5 閾値の設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65 12.6 診断テスト . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66 第13章 システムのその他設定 69 13.1 オプション設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69 13.2 データ保存設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70 13.3 データ管理 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71 13.4 初期化. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72 管理CH初期化 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .72 システム初期化 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .74 GOT内蔵メモリ(SRAMユーザ領域)初期化. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .75 第14章 自動診断の実施 77 14.1 診断処理の流れ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77 簡易診断(絶対値判定)用の"振動シビアリティ設定"画面で「無」を設定した場合. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .77 簡易診断(絶対値判定)用の"振動シビアリティ設定"画面で「無」以外を設定した場合 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .77 14.2 自動診断の開始 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78 14.3 自動診断の終了 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80 第15章 診断結果の確認 81 15.1 システム全体の診断結果の確認 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81 15.2 各管理CHの診断結果の確認. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82 15.3 診断結果のトレンドの確認 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83 15.4 時間軸波形の確認 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84 15.5 周波数軸の確認 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85 第16章 アラームの確認 87 2

16.1 アラームの通知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87 ダイアログウィンドウによる通知. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87 ポップアップウィンドウによる通知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87 16.2 発生中アラームの確認. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88 16.3 アラーム履歴の確認. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88 16.4 システムアラームの確認. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89 16.5 プログラムエラーの確認. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89 第17章 パソコンで診断結果を確認 90 17.1 時間軸波形/周波数軸波形のグラフ表示 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90 17.2 診断結果のリスト表示. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94 17.3 診断結果のトレンドグラフ表示 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95 第18章 遠隔地からのリモート操作 97 18.1 VNCサーバ機能の概要. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97 18.2 VNCサーバ機能の設定. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98 18.3 VNCサーバ機能用ライセンス番号の登録. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100 18.4 VNCクライアントによるリモート画面表示. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101 第19章 ネットワーク対応構成時のシステム構築 102 19.1 システム構成例 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102 19.2 マスタ局用プロジェクトの作成 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103 19.3 インテリジェントデバイス局用プロジェクトの作成 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110 19.4 グローバルラベルの読み込み . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113 19.5 システム構成設定の変更. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 115 第20章 三菱三相モータへの導入手順 116 20.1 システム構成例 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116 20.2 導入の流れ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117 第21章 ユーザカスタマイズ 119 21.1 任意のタイミングで自動診断を開始 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 119 21.2 任意のタイミングでロギングを開始 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120 21.3 任意のタイミングで初期値測定を開始. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120 21.4 診断結果をグローバルラベルで確認 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121 ロギング設定. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121 グローバルラベル(診断状態) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121 グローバルラベル(診断結果) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122 21.5 MT法診断における振動データと外部データの併用 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124 第22章 FAQ 125 22.1 機能. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125 波形 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125 精密診断 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125 MT法診断 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125 トレンド監視. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 126 パラメータ設定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 126 22.2 使用機器. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127 センサ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127 シーケンサ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127 3 CONTENTS

GOT. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127 22.3 その他. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128 ライセンス. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128 診断対象数. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128 アラーム . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128 定期診断 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128 既存システム. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128 上位連携 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128 改訂履歴. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129 商標 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 130 4

1 はじめに 1 本書は，「iQ Monozukuri 回転機振動診断」を用いた振動診断システムの導入手順書です。 1.1 製品概要 「iQ Monozukuri 回転機振動診断」は，振動センサ(加速度センサ)を用いて回転機構がある設備を振動診断することにより， 異常の検出と異常箇所の推定ができるライセンス制のソフトウェアパッケージ製品です。 制御プログラム GOT画面 マニュアル iQ Monozukuri GOT シーケンサ 振動センサ 回転機振動診断パッケージ (加速度センサ) 1.2 診断対象設備 モータ，送風機(ファン，ブロワ)，圧縮機，ポンプ，増減速機，撹拌機，コンベア，コンバーティング機械など同一方向へ の回転を一定時間*1，一定速度，一定負荷で継続できる設備を対象としています。 なお，プレス機など衝撃振動が発生する設備，AGVなど自走による振動が発生する設備は，対象外としています。 コンプレッサ(圧縮機)など 加工機の主軸モータ プレス機やAGVなど (空運転が可能な場合のみ) *1 自動診断時に必要となる一定時間(=自動診断処理時間)は，診断CH数や下表の設定内容により異なります。 ""部分は例1との差異を示します。 例2は同一設定の4CHをCH1からCH4まで順に診断する場合を示します。 例8は初期設定で診断する場合を示します。 例 診断CH数 簡易診断 周波数レンジ サンプリング点数 平均回数 自動診断結果の 自動診断処理時間 (絶対値判定) (サンプリング周期) CSVファイル 1 1CH 実施しない 1kHz(400s) 4096 3 保存しない 約16秒 2 4CH 実施しない 1kHz(400s) 4096 3 保存しない 約60秒 3 1CH 実施する 1kHz(400s) 4096 3 保存しない 約19秒 4 1CH 実施しない 4kHz(100s) 4096 3 保存しない 約12秒 5 1CH 実施しない 1kHz(400s) 8192 3 保存しない 約40秒 6 1CH 実施しない 1kHz(400s) 4096 5 保存しない 約29秒 7 1CH 実施しない 1kHz(400s) 4096 3 保存する 約30秒 8 1CH 実施しない 4kHz(100s) 8192 5 保存しない 約50秒 9 1CH 実施しない 4kHz(100s) 8192 5 保存する 約74秒 10 1CH 実施する 4kHz(100s) 8192 5 保存する 約77秒 1 はじめに 1.1 製品概要 5

1.3 振動診断 振動診断とは，設備の現在の状態を振動解析により把握し，設備の正常状態異常状態を診断することです。 振動診断には，簡易診断と精密診断があり，簡易診断では異常の発生有無を判定し，精密診断では異常箇所を推定します。 本パッケージでは，振動診断として，振動診断で一般的に使用される簡易診断(絶対値判定)，簡易診断(相対値判定)，精密 診断の3種類に加え，加速度FFTガードバンド監視，MT法診断の2種類を用意しています。 (加速度FFTガードバンド監視とMT法診断は，簡易診断相当として使用します。) 振動診断 簡易診断(絶対値判定) 簡易診断(相対値判定) 推奨 加速度FFTガードバンド監視 推奨 精密診断 MT法診断 簡易診断(絶対値判定) 振動データから算出した測定値(速度RMS値)がISO10816-1で規定された判定基準値を超えた場合に異常と判定します。 (速度RMS値は，加速度の振動データから算出します。) ・振動シビアリティとは 振動シビアリティ ISO10816-1 ISOで規定された回転機の振動に対する耐久指標です。 設備の大きさや種類によって判定基準が異なります。 速度RMS(実効値)(mm/s) クラスⅠ クラスⅡ クラスⅢ クラスⅣ 0.28 クラスⅠ…小型機械(たとえば15kW以下のモータ) A クラスⅡ…中型機械 0.45 A A 　　　　(たとえば15～75kWのモータや300kW以下の機械) 0.71 A クラスⅢ…大型機械(剛な重い基礎に据え付けた場合) 1.12 B クラスⅣ＊１…大型機械(比較的軟らかな基礎に据え付けた場合) 1.8 B 2.8 C B ※振動シビアリティの適用条件 回転数: 600～12000rpm 4.5 C B 振動測定範囲: 10～1000Hz 7.1 C 11.2 C *1: iQ Monozukuri回転機振動診断では，モータ容量でクラスを判 18 D 別しているためISO10816-1のクラスⅣには対応していません。 D 28 D D 45 A: 良 B: 可 C: 警告 D: 危険 注意事項 設備の据付状態やノイズ等の影響により，測定値が判定基準値を超える場合があります。 6 1 はじめに 1.3 振動診断

簡易診断(相対値判定) 設備を複数回(推奨10回)測定して正常時の値(基準値)を算出し，基準値の2～5倍で設定した閾値と測定値を比較して良否を 1 判定します。 振動レベル 異常発生閾値(2～5倍) 異常 注意発生閾値(異常発生閾値×75% *1) 注意 基準値 正常 経過時間 *1: 乗率の75%は任意の値に変更できます。 本パッケージでは，振動による異常の検出に有効な以下の5項目を相対値判定で簡易診断します。 (1)加速度波形ゼロピーク 装置の劣化で全体的に振動が大きくなった場合や，軸受の故障時などで衝撃波が発生している場合に値が大きくなります。 (2)加速度波形RMS 加速度波形の振幅の平均的な大きさを示します。振動の大きさに比例して値が大きくなります。 (3)加速度波形クレストファクタ ゼロピークとRMSの比(ゼロピーク/RMS)です。衝撃波が発生した場合は値が大きくなるため，軸受の故障有無を簡易判定 できます。 (4)加速度FFTオーバオール 加速度FFT解析後の周波数成分の総和です。振動の大きさに比例して値が大きくなります。 (5)速度FFTオーバオール 速度FFT解析後の周波数成分の総和です。振動の大きさに比例して値が大きくなります。 (速度FFTのデータは，加速度FFTのデータから算出します。) 加速度FFTガードバンド監視 加速度FFTの周波数軸波形がガードバンド監視幅で指定した上限波形を超えた場合に異常と判定します。 簡易診断相当として使用します。 振幅(m/s2) 異異常常を発検生出 上限波形 診断時の 加速度FFTの 周波数軸波形 周波数(Hz) 1 はじめに 1.3 振動診断 7

精密診断 回転数と構成機器の諸元値から算出した特性周波数の振幅を監視することにより異常箇所を推定します。 閾値は，設備を複数回(推奨10回)測定して正常時の値(基準値)を算出し，基準値の2～5倍で設定します。 この閾値と測定値を比較して良否を判定します。 振幅 (m/s²) : 測定値 : 基準データ 周波数 (Hz) 2 7 5 3 1 4 8 6 ベアリング ファン 7 アンバランス カップリング 3 転動体損傷 1 外輪損傷 8 ファン損傷 5 ミスアライメント 2 保持器損傷 4 内輪損傷 ギア 6 ギア歯損傷 本パッケージでは，精密診断の対象を回転機構がある設備の構成部品(玉軸受，歯車，ファン)とアンバラン ス，ミスアライメントに限定したため，これらの異常を簡単に検出できます。 MT法診断 MT法(品質工学の手法)を振動解析に適用することで，振動解析に関する知識や構成部品の諸元値情報が不足している場合で も，簡単に異常を検出できます。 また，振動データと温度や電流など振動以外のデータを組み合わせることにより，複合的な診断ができます。 簡易診断相当として使用します。 ・通常の判定方法 ・MT 法 ( マハラノビス距離 ) を使用した判定方法 :基準データ (正常データ ) :判定したいデータ :平均 : 基準データ (正常データ ) :判定したいデータ :平均 項目A 項目A 100 異常 異常 100 異常 90 正常 (155 ,88) 90 (190 ,86) (155,88) (190,86) 80 (165,77) 80 (165,77) 70 正常 (177 ,68) 70 異常 (177,68) 60 正常 60 正常 50 (175 ,50) 50 (175,50) 40 正常 40 異常 30 30 140 150 160 170 180 190 200 140 150 160 170 180 190 200 項目B 項目B データのばらつき具合を考慮せず， データのばらつき具合を考慮するため， 平均値からの距離のみで正常 / 異常を判定。 設備に適した正常 / 異常の判定が可能。 8 1 はじめに 1.3 振動診断

1.4 導入の流れ 振動診断システムの導入の流れは以下となります。 1 1. システム構成の検討 振動診断システムのシステム構成を検討します。 詳細については下記を参照してください。 11ページ スタンドアロン構成 12ページ ネットワーク対応構成 2. 必要な機器の手配 システム構成に応じた機器を手配します。 詳細については下記を参照してください。 13ページ 必要な機器 3. 振動センサの選定 使用する振動センサの選定し，取り付け方法を確認します。 詳細については下記を参照してください。 14ページ 振動センサの選定 4. 振動診断システムの構築 システム構成にあわせて振動診断システムを構築します。 本書で構築するシステム構成については下記を参照してください。 19ページ システム構成例 5. ライセンスキーの取得 弊社Webサイトからライセンスキーを取得します。 詳細については下記を参照してください。 20ページ ライセンスキーの取得 6. 制御プログラムのインストール 制御プログラムをシーケンサCPUにインストールします。 詳細については下記を参照してください。 23ページ 制御プログラムのインストール 7. 画面データのインストール 画面データをGOTにインストールします。 詳細については下記を参照してください。 25ページ 画面データのインストール 8. DBデータのインストール 玉軸受の診断時，玉軸受の諸元値を自動入力する場合にDBデータ*1をSDメモリカードにイン ストールします。 詳細については下記を参照してください。 26ページ DBデータのインストール 9. ライセンスキーの登録 シーケンサCPUにライセンスキーを登録します。 詳細については下記を参照してください。 27ページ ライセンスキーの登録 10.システムの基本設定 システム構成，管理CH名を設定します。 詳細については下記を参照してください。 28ページ システムの基本設定 11. パラメータの基本設定 センサ感度，精密診断対象の選択，構成部品の諸元値，監視周波数，周波数レンジ，サンプ リング点数，平均回数などを設定します。 詳細については下記を参照してください。 31ページ パラメータの基本設定 12.振動データの確認 加速度FFTの周波数軸波形グラフで振動データの状態を確認します。 詳細については下記を参照してください。 46ページ 振動データの確認 13.ノイズ対策の実施 必要に応じてノイズ対策を実施します。 詳細については下記を参照してください。 48ページ ノイズ対策の実施 14.簡易診断の設定 必要に応じて簡易診断の絶対値判定相対値判定のパラメータを設定します。 詳細については下記を参照してください。 50ページ 簡易診断の設定 15.加速度FFTガードバンド監視の設定 必要に応じて加速度FFTガードバンド監視のパラメータを設定します。 詳細については下記を参照してください。 52ページ 加速度FFTガードバンド監視の設定 16.精密診断の設定 必要に応じて精密診断のパラメータを設定します。 詳細については下記を参照してください。 54ページ 精密診断の設定 17.MT法診断の設定 必要に応じてMT法診断のパラメータを設定します。 詳細については下記を参照してください。 56ページ MT法診断の設定 18.システムのその他設定 必要に応じて注意報発生閾値やCSVファイル保存先などを設定します。 詳細については下記を参照してください。 69ページ システムのその他設定 19.自動診断の実施 自動診断を実施します。 詳細については下記を参照してください。 77ページ 自動診断の実施 1 はじめに 1.4 導入の流れ 9

20.診断結果の確認 診断結果を確認します。 詳細については下記を参照してください。 81ページ 診断結果の確認 21.アラームの確認 アラームを確認します。 詳細については下記を参照してください。 87ページ アラームの確認 22.パソコンで振動結果を確認 必要に応じてパソコンで診断結果を確認します。 詳細については下記を参照してください。 90ページ パソコンで診断結果を確認 *1 データベースを構成するデータ群のことで，インストール用DVDに含まれるVID_DBフォルダの全データを指します。 10 1 はじめに 1.4 導入の流れ

2 システム構成の検討 振動診断システムのシステム構成を検討し，必要な機器を手配します。 2.1 スタンドアロン構成 2 振動診断システム機材を定期点検などの用途で可搬して設置する場合や，設備の状態変化を日々監視する用途で，据付設置 する場合のシステム構成です。 振動診断システムの主要機器であるシーケンサCPUから，振動センサまでの距離が近い設備が対象となります。 (1) (2) (3) (4) (7) Ethernet (6) (5) (1)基本ベースユニット (2)電源ユニット (3)シーケンサCPU (4)高速AD変換ユニット (5)振動センサケーブル (6)振動センサ (7)表示器GOT 2 システム構成の検討 2.1 スタンドアロン構成 11

2.2 ネットワーク対応構成 振動診断システム機材を設備の状態変化を日々監視する用途で据付設置する場合のシステム構成です。 スタンドアロン構成と異なり，CC-Link IEフィールドネットワークリモートヘッドユニット経由で振動データを収集できま す。 振動診断システムの主要機器であるシーケンサCPUから，振動センサまでの距離が遠い設備が対象となります。 マスタ局(局番: 0) インテリジェントデバイス局(局番: 1) (1) (2) (3) (4) (1) (2) (5) (6) CC-Link IEフィールド ネットワーク Ethernet ネットワークNo.1 (8) (7) (9) (1)基本ベースユニット (2)電源ユニット (3)シーケンサCPU (4)CC-Link IEフィールドネットワークマスタローカルユニット (5)CC-Link IEフィールドネットワークリモートヘッドユニット (6)高速AD変換ユニット (7)振動センサケーブル (8)振動センサ (9)表示器GOT 12 2 システム構成の検討 2.2 ネットワーク対応構成

2.3 必要な機器 システム構成により以下の機器が必要となります。 No 製品名/機器名 数量 形名 備考 1 FAアプリケーションパッケージ 1 AP10-VID001AA-M : ライセンス数により異なる iQ Monozukuri 回転機振動診断 A:1，B:5，C:10，D:15，E:20，F:25 2 2 MELSOFT GX Works3 1 SW1DND-GXW3- ソフトウェアバージョン"1.072A"以降 3 MELSOFT GT Designer3 1 SW1DND-GTWK3- ソフトウェアバージョン"1.250L"以降 (GOT2000) 4 表示器(GOT2000) 1 GT2712-STBA/GT2712-STBD/ - GT2712-STWA/GT2712-STWD 5 電源ユニット 1～5 R61P/R62P/R63P/R64P - 6 基本ベースユニット 1～5 R33B/R35B/R38B/R312B - 7 シーケンサCPU 1 R16CPU/R32CPU/R120CPU/ ファームウェアバージョン40以降 R16ENCPU/R32ENCPU/R120ENCPU 8 拡張SRAMカセット 1 NZ2MC-4MBS/NZ2MC-8MBS 管理CHを5CH以上使用時は，NZ2MC-8MBS が必要*1 9 高速アナログ入力ユニット 1～4 R60ADH4 ファームウェアバージョン04以降 10 振動センサ 1～16 次章に記載 - 11 SDメモリカード 0～2 NZ1MEM-2GBSD/NZ1MEM-4GBSD/ 診断結果等のCSVファイル保存時およびDB NZ1MEM-8GBSD/NZ1MEM-16GBSD データの使用時に1枚必要，MT法診断のサ ンプルデータおよびトレンドデータ*2のCSV ファイル保存時に1枚必要 12 USBメモリ 0～1 USB2.0準拠の市販USBメモリ ライセンスキーの登録時，GOT画面のキャ (最大32GB) プチャ画像保存時，設定データのバック アップ/リストア時に必要 13 CC-Link IEフィールドネットワークマスタ 0～1 RJ71GF11-T2 CC-Link IEフィールドネットワークのマスタ ローカルユニット 局として下記のユニットも使用できます。 • R**ENCPU，RJ71EN71 14 CC-Link IEフィールドネットワークリモート 0～4 RJ72GF15-T2 - ヘッドユニット *1 管理CHは，本パッケージが管理するCH(論理CH)のことです。 振動センサを接続した高速アナログ入力ユニットのCHを管理CH1～16に割り付けて使用します。 振動診断システムを可搬型として運用する場合は，1台の振動センサを複数の管理CHに割り付けて使用します。 *2 本製品では，GOTのロギング機能を使用して収集したロギングデータのことを，トレンドデータと呼びます。 GT Designer3 の機種設定で機種を変更することにより，GT SoftGOT2000 も使用できます。 2 システム構成の検討 2.3 必要な機器 13

3 振動センサの選定 使用する振動センサを検討し，取り付け位置などを確認します。 3.1 使用可能な振動センサ 加速度による振動検知のみを目的とした1軸用の振動センサであり，センサからのアナログ出力が以下の範囲に収まる汎用 の振動センサを使用できます。 • 電圧の場合: DC -10～10V • 電流の場合: DC 0～20mA 例 新川電機株式会社製 振動センサの使用イメージ 振動センサの信号線 (+) と電源線 (+) が 分離しているタイプのみ接続できます 14 3 振動センサの選定 3.1 使用可能な振動センサ

動作確認済み振動センサ メーカ 形名(アナログ出力) 電源 周波数範囲 測定範囲 耐環境性 使用周囲 ケーブル長 最大ケーブ 電圧 (Hz) (g) 温度() (m) ル長(m) (V) 株式会社トーキン VS-JV10A(電圧) 5 10～15,000 10 IP67 -25～85 3，10，20 20*3 (別売り) 新川電機株式会社 CA-L02(電圧) 5 0.3～15,000 25 IP67 -25～120 4.8，9.6 50 (別売り) ifm efector株式会社 VSA004(電流) 9 0～10,000 25 IP67 -20～80 3 250 3 VSA005(電流) 10 PCB Piezotronics，Inc. 607M83(電圧) 5 1.5～10,000 15 IP68 -54～121 3 80 40 *1 603M113 (電圧) 5 1.6～10,000 15 IP68 -54～121 3 80 40 (別売り) *1 603M50 (電圧) 5 1.5～10,000 15 IP68 -54～121 3 80 40 *1 603M83 (電圧) 5 1.6～10,000 15 なし -54～121 3 80 40 *1 TE Connectivity Ltd. 805M4-0020-01(電圧) 5 0.4～10,000 20 なし*2 -40～100 3 3 株式会社富士セラミック AF12C-5V 5 5～10,000 10.2 IP67 -28～80 3 30*4 ス (別売り) *1 電源電圧が5Vの場合は15(g)，10Vの場合は40(g)です。 *2 個別対応でIP67に対応します。 センサメーカへお問い合わせください。 *3 20mを超える場合は，センサメーカへお問い合わせください。 *4 30mを超える場合は，センサメーカへお問い合わせください。 上記には，弊社にて動作確認を実施した振動センサの一部を記載しています。 詳細については，下記を参照してください。 テクニカルニュース 動作確認機器のご紹介(BCN-E2113-0033) 3 振動センサの選定 3.1 使用可能な振動センサ 15

3.2 振動センサの取り付け位置 振動センサは，測定対象の近傍で剛性の高い箇所に取り付けてください。 異常の種類によっては振動が大きくなる方向が異なるため，ISOでは測定対象の「軸方向垂直方向水平方向」への振動セン サの取り付けを推奨しています。 コスト面などから振動センサを1箇所に取り付ける場合は，「軸方向垂直方向水平方向」のいずれかを選択するか，測定対 象の振動が大きくなる方向への取り付けを推奨します。 ISO基準(3方向) V(垂直方向) (軸方向) (水平方向) 正面図 側面図 推奨(振動が大きくなる方向) 回転軸への負荷が高くなり， 振動が大きくなる方向 振動が大きくなる方向の 延長線上に取り付け 16 3 振動センサの選定 3.2 振動センサの取り付け位置

3.3 設備別の振動センサ取り付け位置 設備毎に振動センサの一般的な取り付け位置(図中の赤星印)を示します。 (1)三相モータの場合 主軸 3 (2)ポンプの場合 モータ (3)減速機の場合 注意事項 個別の設備に対する振動センサの取り付け位置については，振動センサメーカまたはSIerにご相談ください。 3 振動センサの選定 3.3 設備別の振動センサ取り付け位置 17

3.4 振動センサの取り付け方法 振動センサの取り付け方法は，ねじ固定，接着剤，マグネット，両面テープ(薄め)の順で推奨します。 取り付け方法によって接触共振周波数特性が変化するため，測定対象の特性周波数の3倍の周波数が4kHz以下の場合はマグ ネットを，4kHzを超える場合はねじ固定を推奨します。 1: ねじ固定＋シリコンオイル 2: ねじ固定 3: マグネット 4: 接触針 5: 両面テープ(厚め) 3 2 1 6: 両面テープ(薄め) 4 4 5 3 1 2 5 6 0.3 0.4 0.5 1 2 3 4 5 10 20 30 40 50 kHz 接触共振周波数特性 • 接着剤の接触共振周波数特性はねじ固定とマグネットの間です。 • 加速度センサをマグネットで取り付ける際は，磁力で加速度センサが測定対象物へ急激に引き寄せられて 衝突する場合があり故障の原因となるため，加速度センサは測定対象物へそっと近づけて取り付けてくだ さい。 3.5 振動センサの取り付け面の状態 振動センサは，できるだけ平坦な面に取り付けてください。 平坦な面が無い場合は，金属パテなどを用いて振動センサを固着してください。 振動センサを金属パテなどで固着したくない場合は，平坦な金属版を固着し，そこにマグネットを付けた振動センサを取り 付けてください。 振動センサの接触面積が少ないと，振動が減衰して正しく測定できなくなる場合があります。 平坦面 曲面 凸凹面 異物挟み込み 振動センサをマグネットで測定対象に定期的に取り付けて定期診断するような場合は，毎回，測定箇所がズ レないように測定箇所にマークなどを付けてください。 18 3 振動センサの選定 3.4 振動センサの取り付け方法