振動・変位測定及び表面形状計測装置　MicroMap 5000

MicroMap 5000 The all-in-one system for R&D and testing of MEMS 振動・変位測定及び表面形状計測装置 MEMS設計解析ツール MEMS構造のモデリングや設計はその微細構造物の挙動が大き い構造物と異なるために難しくなります。例えば、ダイナミック デバイスでは振動モードが熱影響により、突然ある周波数から別 の周波数に変化することがあります。研究経験では静的変形（例 えば熱影響によるもの）と振動の両方に関する面全体でリアルタ イムの情報が必要となります。また表面プロファイルについての 情報を得ることで、マイクロストラクチャーの研究開発に非常に 強力な解析ツールとなります。
　30Hz～1GHzまでの振動測定
　静的変形の測定
　表面プロファイリング
　非接触
　全フィールド -リアルタイム
　高周波対応1GHzまで
　高感度測定
　ズームレンズ
　ビューポートからでも測定可能（高温測定）
　荒れた表面や鏡面でも測定可能
　In-plane（面内）測定モジュール How it works MicroMap 5000は数ミクロンサイズのMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）や他の微小構 造物の振動、変形や表面形状を測定することができます。レーザービームを測定物に照射して、測定物より反 射されたレーザーと内部リファレンスビームで毎秒30フレームの高品質な干渉パターンが得られます。これ らの干渉パターンが最新のコンピューターシステムで解析されます。 MicroMap5000はシングル周波数で、振動と静的変形をリアルタイムモード及び位相変調法（数値記録ア ルゴリズム）によって測定することができます。リアルタイムモードでは、振動と変形量を測定物イメージ上 にフリンジパターン（等高線図）でオーバーラップさせて表示します。周波数をスイープすることで、共振点 の振動モードを容易に観察することができます。また位相変調法を用いると、振動及び変位モードをアニメー ションや3Dプロットで表示させることができるので、非常に優れた定量的及び定性的な振動・変位解析を行 うことができます。 Deformation of silicon membrane

振動 静的変形
　測定領域全面での振動振幅
　表面の全てのポイントで変 のデータマップ 位データが得られます
　30Hzから1GHz
　ラインプロット、2Dデー
　リアルタイム測定（周波数 タ・イメージ、3Dプロット 無制限）
　連続記録及びムービー表示
　リアルタイム位相変調
　フリンジ表示をリアルタイ
　サブナノでの変位振幅分解 ムで記録 能
　荒れた表面や鏡面でも測定 可能 高周波数で振動するMEMS構造の一部 アニメーション表示がホームページで参照 できます。www.optonor.com MEMS圧力センサーの静的変形 表面プロファイリング
　ナノメーター分解能
　MicroMap5000は鏡面 の表面プロファイリングの み測定可能
　連続するエリア表面のプロ ファイリング（高さステッ プがある表面形状は測定で 金属ボールベアリングの疵深さ140nm きません） ■技術仕様（標準モデル） レ ー ザ ー ヘ ッ ド 寸 法 50×27×27 cm（HXWXL）* 光 学 ヘ ッ ド の 重 量 7Kg* 30Hz～無制限（リアルタイム測定） 測 定 周 波 数 範 囲 位相変調測定には標準モデルで50KHzまで、オプションで1GHzまで拡張可 能 レ ー ザ ー ユ ニ ッ ト 寸 法 27×17×63 cm（WxHxL）* ズ ー ム レ ン ズ 1.8X ～ 10X* レ ー ザ ー ク ラ ス  最 小 測 定 対 象 物 寸 法 > 0.1 ｠ フルフィールド* 最 大 測 定 対 象 物 寸 法 < 3 * 動 作 距 離 標準40～65 * 振 動 振 幅 分 解 能 1nm 静 的 変 位 分 解 能 1nm 表 面 形 状 分 解 能 1nm 測 定 対 象 物 表 面 荒れた表面、鏡面でも測定可能 標準ラボ環境にて測定でき、除振は特に必要ありません。 測 定 環 境 回転機器や他のノイズ源はテストサイトから遠ざけて下さい。 ＊　カスタム仕様にも対応することができますのでご相談下さい。 有限会社シスコム 〒171－0014　東京都豊島区池袋4－27－ 5 和田ビル TEL：03－6907－9105 FAX：03－6715－8740 Email：syscom@tokyo.email.ne.jp Web Site：www.syscom-inc.co.jp