【変位 • 位置決め 高速 • 高分解能 カスタマイズソリューション】静電容量型変位センサ

ナノメートルの変位を非接触超高分解能で計測 静電容量型変位センサ 変位 • 位置決め 高速 • 高分解能 カスタマイズソリューション Lion Precision • 設立 1958 年 • ISO 9001:2008 • St. Paul, MN USA

静電容量型変位センサ　システム 電界（AC） ドライバ 励起電圧（AC） 信号処理 プローブ 校正 出力電圧/データ エリートシリーズ (CPL490、CPL190/290) 最高性能の調整とインジケータ 測定範囲 センサ電極に依存 CPL230、CPL350 取り付け ユーザーによる調整またはインジケータなし シリンダー： 3mm、 5mm、 8mm、 9.5mm CPA100高精度アナログ近接 18mm 可変ゲインおよびゼロ、インジケータ スクウェア：20mm、 45mm セットポイント出力 静電容量型変位センサ 基本原理 静電容量変位センサは、非接触で測定対象の変位を高精度に測定できる変位センサです。センサ面と測定対象面に形成される静電 容量の変化を二面間の距離の変化として測定しています。一般的に静電容量は、センサ部の面積とそれらの間の材料の誘導率と距 離の関係により形成されています。測定は面測定となり、静電容量が形成されている面内の測定対象面の粗さは全て平均化されて 検出されます。 導電性の測定対象 測定対象が金属材であれば、材質や成分の影響を受けず、無校正で測定できます。静電容量型変位センサの校正は、プローブと測 定対象間の距離に一定の変化を与えて、同じ出力が反復して生じるようにします。この技術は、10 µm ～ 12 mm の測定範囲におい て0.05 nm の分解能を有します。 絶縁性の測定対象 静電容量は、プローブと導電性の測定対象間の誘電率にも依存しています。プローブと測定対象間の距離が一定であれば、静電容 量型変位センサはその間にある誘電率の変化を測定することができます。この方法は、特殊な材料の厚み測定など、様々な測定に 応用されています。 高分解能測定 静電容量型変位センサで測定される精度は、使用環境と測定系の状態により大きな影響を受ける場合があります。一般的にプロー ブは、安定した環境および機械システムに配置する必要があります。小さな環境温度変化であっても測定対象が膨張し、測定結果 に反映される場合があります。高分解能測定を実現するためには、使用環境と測定系に十分な注意を行うことが重要になります。 分解能 分解能とは、測定システムで測定可能な最小の測定値です。実際に分解能の仕様値はセンサ出力における電気ノイズの測定値を表 しています。静電容量型変位センサの分解能はシステムの応答周波数にも依存しています。つまり、応答周波数が低いほど分解能は 向上します。仕様を比較する際に、必要な応答周波数での仕様値を確認してください。 www.lionprecision.com の [Technical Library] に静電容量型変位センサの詳しい資料を提供していますので、ご参照ください。 2 Lion Precision • 563 Shoreview Park Road • St. Paul, MN 55126 • USA • 800-229-6544 • 651-484-6544 静電容量型変位センサ ドライバ選択 プローブ選択 測定対象

ドライバの比較 エリートシリーズ (5 ページ) CPL490 CPL190/290 CPL230 CPL350 CPA100 6 ページ 8 ページ 12 ページ 14 ページ 16 ページ 標準仕様 *プローブと測定レンジにより異な ります 出力分解能* 0.0007% 0.003% 0.004% 0.004% 0.03% @ 測定範囲中心 (% F.S. rms) 直線性* 0.2% 0.2% 0.5% 0.5% 非線形 デュアルレンジ (感度) CPL290 ユーザーによる調整が可能 3 3 3 ゲイン調整 3 オフセット調整 3 3 3 バーメータ 3 3 3 セットポイント／スイッチ出力 3 チャンネル数 1-3 1-8 1-6 1 1 応答周波数 ディップスイッチで変更可能 1、10、15、50 kHz 0.1、1、10、15 kHz 0.1、1、10、15 kHz 0.1、1、10、15 kHz( ) 最大応答周波数 50 kHz 15 kHz 15 kHz 15 kHz 15 kHz カスタマイズ 3 3 3 3 3 オプション 上記仕様一覧は、標準 2m プローブケーブルに関する値になります。カスタマイズされた仕様は、仕様一覧の値と異なりますのでご 注意ください。また、カスタマイズ製品の性能は、内容によって異なります。 カスタマイズオプション： 測定範囲のカスタマイズ 特殊ターゲットを用いた校正 プローブケーブル長のカスタマイズ プローブ延長ケーブル (2 m、3 m、4 m） プローブの真空対応 アクセサリー DIN レール パワー EPS パワーサプライ プローブアダプタ サプライ エリートシリーズ 1-、2-、 φ3,5,8のプローブをφ9.5の CPA100 3- スロットエンクロージャ； ホールに使用できます。 入力：100 ～ 240 VAC、 CPL230；CPL350 50 ～ 60 Hz 入力：100 ～ 240 VAC、 出力：10 ～ 15 VDC @ 2 A 50 ～ 60 Hz 出力：±15 VDC @ 2.5 A 静電容量型変位センサ www.lionprecision.com • www.lionprecision.cn.com • www.lionprecision.jp 3

技術情報 www.lionprecision.com Lion Precision のウェブサイトでは、当社の製品および静電容量センシングに関して、技術的な資料を提供しています。テクニカルノ ートの静電容量センシング理論は、多くのユーザーに活用頂いております。センシング技術、測定時の注意点、測定の効率を最大に 高める方法についてご参考ください。 また、ウェブサイトでは他にも詳細なテクニカルノートを提供しており、当社センサの操作方法に関する見解、様々な問題に関する疑 問への回答が記載されています。 その他、製品マニュアルだけでなく、当社の情報、歩み、ビジョン、事業姿勢をウェブサイトで公開しています。 静電容量型変位センサのカスタマイズ 特定の用途に合わせたカスタマイズを提供 Lion Precision は、多くのカスタマイズ製品を製作し提供しています。 エンクロージャ形状、機能のカスタマイズ プローブ形状のカスタマイズ 特殊技術の組合せ 測定範囲のカスタマイズ 真空対応プローブ 4 Lion Precision • 563 Shoreview Park Road • St. Paul, MN 55126 • USA • 800-229-6544 • 651-484-6544 静電容量型変位センサ

エリートシリーズ 最上位機種　静電容量型変位センサ エリートシリーズは、高性能、DAQ インターフェース、および カスタム構成のフレキシビリティを兼ね備えています。 • 1-8チャンネルを実装可能 • National Instruments™ DAQ デバイス用 68 ピンコネクタをリヤパネルに標準装備 • サポートモジュール：温度モジュ ール、メータモジュール 輸出について 本製品は日本国政府の定める輸出管理規制に該当し ます。本製品を海外へ輸出される場合には、所定の手 続きによる日本国政府の輸出許可が必要となります。 エンクロージャ インテリジェント エンクロージャ • 電源とドライブ信号を供給 • 将来的なモジュールの追加を考慮したエンクロージャの 選択が可能 1、2、3 スロットのエンクロージャは外部電源モジュールと標準の IEC電源コードが付属します。 • National Instruments DAQ ハードウェアに直接接続可能 • 供給電源：100 ～ 240 VAC、50/60 Hz • 1、2、3、6、8 スロットのエンクロージャを提供 • 1、2、3 スロットエンクロージ ャはフランジ取付面付き • 6、8 スロットエンクロージャは 上げ起し式ハンドル付き 6、8 スロットのエンクロージャは、内部電源と標準の IEC ライン電源コードが付属します。 エリートシリーズ モジュール 静電容量型変位センサ www.lionprecision.com • www.lionprecision.cn.com • www.lionprecision.jp 5

アクティブ型変位センサ CPL490 CPL490 ピコメートル センサモジュール 超高分解能、高速応答 • 超高分解能 • 高速応答 (最大50 kHz) • 5 連バーメータ • ゼロ調整 • BNC アナログ出力 • National Instruments の 68 ピンコネクタを標準装備 • 第 2 世代プローブを使用 仕様 出力分解能1： 0.0004% @1 kHz 0.0007% @ 15 kHz 0.002% @ 50 kHz 応答周波数： 切替可能： 1、10、15、50 kHz 直線性： <0.2% F.S. 温度ドリフト2： 0.02-0.04% F.S./°C フロントパネル BNC： ±10 V、0 Ω、最大 10 mA National Inst. リアコネクタ： ±10 V、0 Ω、差動 使用温度範囲： 15-40 °C マルチチャンネル： 1-3 3 チャンネル以上をご希望の場合は Lion Precision にお問い合わせください 1プローブ、測定範囲、及び応答周波数により異なります。詳細については次のページを参照してください。 2プローブと測定範囲により異なります。詳細については次のページを参照してください。 輸出について 本製品は日本国政府の定める輸出管理規制に該当します。本製品を海外へ輸出 される場合には、所定の手続きによる日本国政府の輸出許可が必要となります。 測定範囲／プローブ一覧 センサ電極 測定範囲は、センサ電極径により異なります。直径が大きいほど、測定範囲は広く設定できます。 CPL490 は第 2 世代プローブを使用します。 カスタマイズされた仕様は、仕様一覧の値と異なりますのでご注意ください。 6 Lion Precision • 563 Shoreview Park Road • St. Paul, MN 55126 • USA • 800-229-6544 • 651-484-6544 静電容量型変位センサ

アクティブ型変位センサ CPL490 第 2 世代プローブ CPL490 専用プローブ CPL490 はプローブ内に電子機器を有する第 2 世代プローブを使用します。プローブの取付は、先端の 直径 8 mm 部を推奨しています。 同形状で、センサ電極の異なる2つのモデルをご用意しております。 2G-C8-0.5：センサ電極径 φ0.5 2G-C8-1.2：センサ電極径 φ1.2 mm インチ クランプでの 取り付け直径 4.0 0.5mm 0-10 1715 0.67 8.00/7.97 0.16 センサ電極 0-0.4 0.6 0.315/0.314 6.0 1.2mm 熱収縮 0.24 センサ電極 ストレイン リリーフ 5.1 0.20 15 67 51 0.6 2.64 2.01 133 5.25 標準ケーブル 2 m ± 25 mm CPL490 測定範囲/分解能 測定範囲は、センサ電極径により異なります。直径が大きいほど、測定範囲は広く設定できます。 測定対象が平面の場合、センサ電極の約 1.3 倍のエリアを測定します。 ニアギャップ センサ電極 ターゲット 測定範囲 ターゲット 測定範囲 出力分解能1 @ 応答周波数 プローブ センサ電極径 測定範囲 ニアギャップ 1 kHz 10 kHz 15 kHz 50 kHz 最大 mm µm µm nm nm nm nm 温度ドリフト (プローブモデル) タイプ mils mils µin µin µin µin % F.S./°C ファイン 10 20 0.05 0.07 0.09 0.26 0.04 0.4 0.8 0.002 0.003 0.004 0.010 0.5 スタンダード 50 25 0.17 0.27 0.35 1.0 0.02 (2G-C8-0.5) 2.0 1.0 0.007 0.011 0.014 0.040 エクステンド 100 50 0.38 0.80 1.0 3.3 0.03 4.0 2.0 0.015 0.031 0.039 0.14 ファイン 50 25 0.15 0.20 0.22 0.63 0.02 2.0 1.0 0.006 0.008 0.009 0.025 1.2 スタンダード 100 50 0.33 0.40 0.52 1.7 0.02 (2G-C8-1.2) 4.0 2.0 0.013 0.016 0.021 0.065 エクステンド 200 100 0.68 1.0 1.3 3.8 0.02 8.0 4.0 0.027 0.040 0.050 0.15 1 出 力分解能の値は RMS 値で表記されています。Pk-Pk 値は一般的に RMS 値の 8 -10 倍になります。 高い EMI 条件 (10 V/m) では、出力レベルがシフトしてノイズ量が、0.5 VRMS (2.5% の分解能) まで上昇する場合があります。 静電容量型変位センサ www.lionprecision.com • www.lionprecision.cn.com • www.lionprecision.jp 7

パッシブ型変位センサ CPL190/290 CPL190 CPL290 サブナノメータ センサモジュール シングルレンジ デュアルレンジ CPL190 は、1 つの測定範囲 (感度) を選択でき、CPL290 は、 2 つの測定範囲を選択できます。 • 高分解能 • 5 連バーメータ • 2 連ゼロ調整（粗/微調整） • BNC アナログ出力 • National Instruments の 68 ピンコネクタを標準装備 仕様 出力分解能1： 0.0005% @100 Hz 0.003% @ 15 kHz 応答周波数： 切替可能： 100 Hz、1、10、15 kHz 直線性2： <0.2% F.S. 温度ドリフト： 0.04% F.S./°C 使用温度範囲 4-50 °C フロントパネル BNC： ±10 V、0 Ω、最大 10 mA National Inst. リアコネクタ： ±10 V、0 Ω、差動 1プローブ、測定範囲、及び応答周波数により異なります。詳細については次のページを参照し てください。 2 プローブと測定範囲により異なります。詳細については次のページを参照してください。 輸出について 本製品は日本国政府の定める輸出管理規制に該当します。本製 品を海外へ輸出される場合には、所定の手続きによる日本国政府 の輸出許可が必要となります。 測定範囲／プローブ一覧 CPL190/CPL290 は標準プローブを使用します。 センサ電極 測定範囲は、センサ電極径により異なります。直径が大きいほど、測定範囲は広く設定できます。 カスタマイズされた仕様は、仕様一覧の値と異なりますのでご注意ください。 標準プローブの詳細は 18 ページに記載しています。 Lion Precision は、様々なプローブ形状を提供しています。 8 Lion Precision • 563 Shoreview Park Road • St. Paul, MN 55126 • USA • 800-229-6544 • 651-484-6544 静電容量型変位センサ

パッシブ型変位センサ CPL190/290 CPL190 / CPL290 仕様一覧 ニアギャップ C5S ターゲット センサ電極 測定範囲 形 サイズmm スタイル C = シリンダー C：直径 なし＝ロング ターゲット R = スクウェア R：最長サイド S = ショートR = ライトアングル 測定範囲 出力分解能1 @ 応答周波数 プローブ形状 測定範囲 ニアギャップ 100 Hz 1 kHz 10 kHz 15 kHz センサ電極径 µm µm nm nm nm nm 直線性 mm タイプ mils mils µin µin µin µin % F.S. モデル スタイル ファイン 10 20 0.06 0.10 0.40 0.50 0.25 0.4 0.8 0.003 0.004 0.016 0.020 C3S C3R スタンダード 50 50 0.30 0.50 3.0 4.0 0.5 0.25 C5S 2.0 2.0 0.012 0.020 0.12 0.16 C5R エクステンド 80 60 0.50 1.0 5.0 C5— 0.25 3.0 2.4 0.020 0.040 0.20 ファイン 25 75 0.20 0.50 1.2 1.5 C3S 0.15 1.0 3.0 0.008 0.020 0.050 0.060 C3R 0.8 C5S スタンダード 100 100 0.50 1.0 3.5 5.0 C5R0.15 4.0 4.0 0.020 0.040 0.14 0.20 C5 ウルトラファ 10 20 0.05 0.08 0.15 0.25 イン 0.150.4 0.8 0.002 0.003 0.006 0.010 C5S ファイン 50 75 0.20 0.30 0.60 1.0 0.15 C5R 2.0 3.0 0.008 0.010 0.024 0.040 C5 2.0 C8S スタンダード 250 125 0.8 1.0 4.0 5.0 0.10 10.0 5.0 0.030 0.040 0.16 0.20 C8R C8 エクステンド 500 125 1.5 3.0 8.0 10 0.15 20.0 5.0 0.060 0.12 0.32 0.40 ファイン 50 125 0.25 0.4 1.0 1.6 0.20 2.0 5.0 0.010 0.016 0.032 0.052 C8S スタンダード 500 250 2.0 3.0 6.0 10 3.2 0.15 C8R 20.0 10 0.10 0.12 0.28 0.40 C8 エクステンド 1250 250 10 15 20 30 0.20 50.0 10 0.28 0.40 0.80 1.2 ファイン 50 225 0.3 0.4 0.8 1.3 0.20 2.0 9.0 0.012 0.016 0.040 0.060 C9.5S 5.6 スタンダード 500 500 2.5 3.0 7.0 10 C9.5R0.15 20.0 20 0.080 0.12 0.24 0.40 C9.5 R20 エクステンド 2000 250 7.0 10 20 30 0.20 80.0 10 0.40 0.60 0.80 1.2 ファイン 2000 2000 20 30 35 40 0.50 80 80 0.80 1.2 1.4 1.6 スタンダード 3200 2000 30 40 50 60 13 0.50 C18 125 80 1.2 1.6 2.0 2.4 エクステンド 5000 3000 75 100 130 150 0.50 200 120 3.0 4.0 5.2 6.0 スタンダード 2500 5000 50 70 90 100 0.30 100 200 2.0 2.8 3.6 4.0 19 R45 エクステンド 6000 3000 90 120 160 180 1.0 250 120 3.6 4.8 6.4 7.2 スタンダード 8000 5000 75 100 130 150 0.50 300 200 3.0 4.0 5.2 6.0 21 C25 エクステンド 12500 5000 130 180 230 250 0.50 500 200 5.2 7.2 9.2 10 1 出 力分解能の値は RMS 値で表記されています。Pk-Pk 値は一般的に RMS 値の 8-10 倍になります。 高い EMI 条件 (10 V/m) では、出力レベルがシフトしてノイズ量が、0.5 VRMS (2.5% の分解能) まで上昇する場合があります。 静電容量型変位センサ www.lionprecision.com • www.lionprecision.cn.com • www.lionprecision.jp 9

サポートモジュール サポートモジュール MM190 メータモジュール 変位表示及び演算機能モジュール • 2 チャンネルの演算とピーク キャプチャ機能 • 5 桁の変位表示のディスプレイ：単位変換 (メートル/インチ) • 演算：A+B、A-B • ピーク キャプチャ機能：最大、最小、TIR、トラッキング TIR • 演算後のアナログ出力 • National Instruments の 68 ピン コネクタへの差動アナログ出力 • 表示精度：0.1% 仕様 BNC 出力スケーリング エラー： -3.0% Max. 内部スケーリング エラー： 0.2% A-Bエラー： 0.2% A+Bエラー： 0.2% 周波数別トラッキング TIR エラー： (100Hz以上を推奨) 10 Hz：-15.0% 100 Hz：±0.3% 1 kHz：±1.5% 5 kHz：±4.0% 入力周波数別トラッキング TIR エラー： DC：-15.0% 1 kHz：±1.3% 5 kHz：±4.0% ピークホールド： 1 mV/15 秒 BNC 出力インピーダンス： 150 Ω 10 Lion Precision • 563 Shoreview Park Road • St. Paul, MN 55126 • USA • 800-229-6544 • 651-484-6544 静電容量型変位センサ

サポートモジュール サポートモジュール TMP190 温度モジュール 最大7チャンネルの温度測定および外部信号取込機能 Lion Precision SEAシステムに温度データ及び外部信号を取込みます。 • 7 チャンネルサーミスタ付属 • SEA™ 用のインデックス信号およびエンコーダ入力 • 外部センサ用電源 (+5V/+15V) • エンコード入力（シングルエンド/差動） • エンコーダおよびインデックスの動作インジケータ 仕様 精度*： ±1.8 °F @ 40-180 °F ±1.0 °C @ 4-82 °C 出力電圧： ±10 VDC 使用温度範囲： 40-180 °F 4-82 °C センサ互換性エラー： ±0.2 °F ±0.1 °C *高い EMI 環境 (10 V/m) では、最大で4 °C程の誤差を持ちます。 マグネット式サーミスタ 0.25" (6.4 mm) 10' (3 m) 0.5" (12.7 mm) 静電容量型変位センサ www.lionprecision.com • www.lionprecision.cn.com • www.lionprecision.jp 11

CPL230 CPL230 コンパクト/マルチチャンネル静電容量型変位センサ • チャンネル数の選択可能：1-6チャンネル • ±10 V 差動出力 • ±5 V シングルエンド出力 • コンパクトなパッケージ • OEM 及び組込み型アプリケーションに最適 • 外部電源モジュール付属 仕様 出力分解能1： 0.0007% @ 100 Hz 0.004% @ 15 kHz 応答周波数： 切替可能： 100 Hz、1、10、15 kHz 直線性2： <0.5% F.S. 標準 温度ドリフト： 0.04% F.S./°C インチ 0.19, r: 0.1 4.09 mm 4.8, r: 2.5 103.9 使用温度範囲： 4-50 °C 3.55 90.2 4.03出力： ±10 V 差動 102.40.16 3.23 ±5 V シングルエンド 4.1x4 82.00.9 22.9 供給電源3： ±15 VDC、500 mA 最大 x5 1 プローブ、測定範囲、及び応答周波数により異なります。詳細については次のペー 0.55 0.06 ジを参照してください。 13.9 1.5 2 0 0 プローブと測定範囲により異なります。詳細については次のページを参照してく ださい。 3外部電源モジュールを含みます (p. 3)。 輸出について 2.1554.6 本製品は日本国政府の定める輸出管理規制に該当しま 0.73 す。本製品を海外へ輸出される場合には、所定の手続き 18.5 による日本国政府の輸出許可が必要となります。 0 測定範囲／プローブ一覧 CPL230 は標準プローブを使用します。 測定範囲は、センサ電極径により異なります。直径が大きいほど、測定範囲は広く設定できます。 カスタマイズされた仕様は、仕様一覧の値と異なりますのでご注意ください。 センサ電極 標準プローブの詳細は 18 ページに記載しています。 Lion Precision は、様々なプローブ形状を提供しています。 12 Lion Precision • 563 Shoreview Park Road • St. Paul, MN 55126 • USA • 800-229-6544 • 651-484-6544 静電容量型変位センサ 0 0 0.44 0.50 11.2 12.7 1.15 1.79 29.2 45.5 2.66 67.6 8.03 204.0 7.97 202.4 8.47 215.1

CPL230 CPL230 コンパクト/マルチチャンネル静電容量型変位センサ CPL230 仕様一覧 ニアギャップ C5S ターゲット センサ電極 測定範囲 形 サイズmm スタイル C = シリンダー C：直径 なし＝ロング ターゲット R = スクウェア R：最長サイド S = ショートR = ライトアングル 測定範囲 出力分解能1 @ 応答周波数 プローブ形状 測定範囲 ニアギャップ 100 Hz 1 kHz 10 kHz 15 kHz センサ電極径 µm µm nm nm nm nm 直線性 mm タイプ mils mils µin µin µin µin % F.S. モデル スタイル ファイン 10 20 0.08 0.14 0.56 0.70 1.0 0.4 0.8 0.004 0.006 0.022 0.028 C3S C3R 0.5 スタンダード 50 50 0.42 0.70 4.2 5.6 0.50 C5S 2.0 2.0 0.017 0.028 0.17 0.22 C5R エクステンド 80 60 0.70 1.4 7.0 C5— 0.50 3.0 2.4 0.030 0.060 0.28 ファイン 25 75 0.28 0.70 1.7 2.1 C3S0.50 1.0 3.0 0.011 0.030 0.070 0.080 C3R 0.8 C5S スタンダード 100 100 0.70 1.4 4.9 7.0 0.50 C5R 4.0 4.0 0.030 0.060 0.20 0.28 C5 ウルトラファ 10 20 0.07 0.11 0.21 0.35 イン 1.00.4 0.8 0.003 0.004 0.008 0.014 C5S ファイン 50 75 0.28 0.42 0.84 1.4 0.30 C5R 2.0 3.0 0.011 0.014 0.034 0.056 C5 2.0 スタンダード 250 125 1.1 1.4 5.6 7.0 C8S 0.30 10.0 5.0 0.04 0.060 0.22 0.28 C8R C8 エクステンド 500 125 2.1 4.2 11 14 0.30 20.0 5.0 0.080 0.17 0.45 0.56 ファイン 50 125 0.35 0.56 1.4 2.2 0.30 2.0 5.0 0.014 0.022 0.045 0.073 C8S スタンダード 500 250 2.8 4.2 8.4 14 3.2 0.30 C8R 20.0 10 0.14 0.17 0.39 0.56 C8 エクステンド 1250 250 14 21 28 42 0.30 50.0 10 0.39 0.56 1.1 1.7 ファイン 50 225 0.42 0.56 1.1 1.8 0.30 2.0 9.0 0.017 0.022 0.060 0.080 C9.5S スタンダード 500 500 3.5 4.2 9.8 14 C9.5R5.6 0.30 20.0 20 0.11 0.17 0.34 0.56 C9.5 R20 エクステンド 2000 250 9.8 14 28 42 0.30 80.0 10 0.56 0.84 1.1 1.7 ファイン 2000 2000 28 42 49 56 0.50 80 80 1.1 1.7 2.0 2.2 スタンダード 3200 2000 42 56 70 84 13 0.50 C18 125 80 1.7 2.2 2.8 3.4 エクステンド 5000 3000 100 140 180 210 0.50 200 120 4.2 5.6 7.3 8.4 スタンダード 2500 5000 70 100 100 140 0.50 100 200 2.8 3.9 5.0 5.6 19 R45 エクステンド 6000 3000 130 170 220 250 1.0 250 120 5.0 6.7 9.0 10 スタンダード 8000 5000 100 140 180 210 0.50 300 200 4.2 5.6 7.3 8.4 21 C25 エクステンド 12500 5000 180 250 320 350 0.50 500 200 7.3 10 13 14 1 出 力分解能の値は RMS 値で表記されています。Pk-Pk 値は一般的に RMS 値の 8-10 倍になります。 高い EMI 条件 (10 V/m) では、出力レベルがシフトしてノイズ量が、0.25 VRMS (1.3% の分解能) まで上昇する場合があります。 静電容量型変位センサ www.lionprecision.com • www.lionprecision.cn.com • www.lionprecision.jp 13

CPL350 CPL350 コンパクト/シングルチャンネル静電容量型変位センサ • ±10 V シングルエンド BNC 出力 • ±10 V 差動 D-Sub 出力 • コンパクトなパッケージ • OEM 及び組込み型アプリケーションに最適 仕様 出力分解能1： 0.0007% @ 100 Hz 0.004% @ 15 kHz 応答周波数： 切替可能： 100 Hz、1、10、15 kHz mm 直線性2： <0.5% F.S. 標準 インチ 温度ドリフト： 0.04% F.S./°C 54 592.13 2.32 使用温度範囲： 4-50 °C 出力： ±10 V 差動 ±10 V シングルエンド BNC 供給電源3： ±15 VDC、最大 150 mA 1 プローブ、測定範囲、及び応答周波数により異なります。詳細については次のペー 108 ジを参照してください。 4.25 2 プローブと測定範囲により異なります。詳細については次のページを参照してく ださい。 3外部電源モジュールを含みます (p. 3)。 輸出について 本製品は日本国政府の定める輸出管理規制に該当しま mm す。本製品を海外へ輸出される場合には、所定の手続き インチ による日本国政府の輸出許可が必要となります。 114 4.49 1244.88 オプションでフランジ取り付け可能 5.6 0.22 測定範囲／プローブ一覧 CPL350 は標準プローブを使用します。 測定範囲は、センサ電極径により異なります。直径が大きいほど、測定範囲は広く設定できます。 センサ電極 カスタマイズされた仕様は、仕様一覧の値と異なりますのでご注意ください。 標準プローブの詳細は 18 ページに記載しています。 Lion Precision は、様々なプローブ形状を提供しています。 14 Lion Precision • 563 Shoreview Park Road • St. Paul, MN 55126 • USA • 800-229-6544 • 651-484-6544 静電容量型変位センサ

CPL350 CPL350 コンパクト/シングルチャンネル静電容量型変位センサ CPL350 仕様一覧 ニアギャップ C5S ターゲット センサ電極 測定範囲 形 サイズmm スタイル C = シリンダー C：直径 なし＝ロング ターゲット R = スクウェア R：最長サイド S = ショートR = ライトアングル 測定範囲 出力分解能1 @ 応答周波数 プローブ形状 測定範囲 ニアギャップ 100 Hz 1 kHz 10 kHz 15 kHz センサ電極径 µm µm nm nm nm nm 直線性 mm タイプ mils mils µin µin µin µin % F.S. モデル スタイル ファイン 10 20 0.08 0.14 0.56 0.70 1.0 0.4 0.8 0.004 0.006 0.022 0.028 C3S C3R スタンダード 50 50 0.42 0.70 4.2 5.6 0.5 0.50 C5S 2.0 2.0 0.017 0.028 0.17 0.22 C5R エクステンド 80 60 0.70 1.4 7.0 C5— 0.50 3.0 2.4 0.030 0.060 0.28 ファイン 25 75 0.28 0.70 1.7 2.1 C3S0.50 1.0 3.0 0.011 0.030 0.070 0.080 C3R 0.8 C5S スタンダード 100 100 0.70 1.4 4.9 7.0 0.50 C5R 4.0 4.0 0.030 0.060 0.20 0.28 C5 ウルトラファ 10 20 0.07 0.11 0.21 0.35 イン 1.00.4 0.8 0.003 0.004 0.008 0.014 C5S ファイン 50 75 0.28 0.42 0.84 1.4 0.30 C5R 2.0 3.0 0.011 0.014 0.034 0.056 C5 2.0 C8S スタンダード 250 125 1.1 1.4 5.6 7.0 0.30 10.0 5.0 0.04 0.060 0.22 0.28 C8R C8 エクステンド 500 125 2.1 4.2 11 14 0.30 20.0 5.0 0.080 0.17 0.45 0.56 ファイン 50 125 0.35 0.56 1.4 2.2 0.30 2.0 5.0 0.014 0.022 0.045 0.073 C8S スタンダード 500 250 2.8 4.2 8.4 14 3.2 0.30 C8R 20.0 10 0.14 0.17 0.39 0.56 C8 エクステンド 1250 250 14 21 28 42 0.30 50.0 10 0.39 0.56 1.1 1.7 ファイン 50 225 0.42 0.56 1.1 1.8 0.30 2.0 9.0 0.017 0.022 0.060 0.080 C9.5S スタンダード 500 500 3.5 4.2 9.8 14 C9.5R5.6 0.30 20.0 20 0.11 0.17 0.34 0.56 C9.5 R20 エクステンド 2000 250 9.8 14 28 42 0.30 80.0 10 0.56 0.84 1.1 1.7 ファイン 2000 2000 28 42 49 56 0.50 80 80 1.1 1.7 2.0 2.2 スタンダード 3200 2000 42 56 70 84 13 0.50 C18 125 80 1.7 2.2 2.8 3.4 エクステンド 5000 3000 100 140 180 210 0.50 200 120 4.2 5.6 7.3 8.4 スタンダード 2500 5000 70 100 100 140 0.50 100 200 2.8 3.9 5.0 5.6 19 R45 エクステンド 6000 3000 130 170 220 250 1.0 250 120 5.0 6.7 9.0 10 スタンダード 8000 5000 100 140 180 210 0.50 300 200 4.2 5.6 7.3 8.4 21 C25 エクステンド 12500 5000 180 250 320 350 0.50 500 200 7.3 10 13 14 1 出 力分解能の値は RMS 値で表記されています。Pk-Pk 値は一般的に RMS 値の 8-10 倍になります。 高い EMI 条件 (10 V/m) では、出力レベルがシフトしてノイズ量が、0.25 VRMS (1.3% の分解能) まで上昇する場合があります。 静電容量型変位センサ www.lionprecision.com • www.lionprecision.cn.com • www.lionprecision.jp 15

CPA100 高精度アナログ近接スイッチ • ローコスト • 0 - 10 V 非線性アナログ出力 • セットポイント／スイッチ出力 • ゲイン/ゼロ調整可能 • 5 連バーメータ • ゲインおよびゼロ調整のリモート接続 • DIN レールケース • マルチチャンネル同期 仕様 出力分解能1： CPA100：0.03% RMS @ 15 kHz CPA100e：0.3 µm RMS 以上 @ 15 kHz 応答周波数： 15 kHz 直線性： 非直線 (標準的な出力カーブはウェブサイトをご覧ください) 温度ドリフト： ドライバ：0.2% F.S./°C プローブ：0.05% F.S./°C アナログ出力： 0 ～ 10 V、0 Ω、最大 15 mA セットポイント： 5V 固定 mm (インチ) セットポイント出力： 固体スイッチ 最大 30 VAC/60 VDC オン：2.5 Ω、最大 100 mA オフ：最大 10 µA 使用温度範囲： 4-50 °C 100(3.9) 供給電源2： 15 ～ 24 VAC、2.5 W プローブ、測定範囲、および応答周波数により異なります。詳細については次のページを参照してください。 2外部のパワーサプライを含みません。アクセサリとして利用できます (p. 3)。 35mm DINレール取り付け 輸出について 本製品は日本国政府の定める輸出管理規制に該当します。本製品を海外へ輸 112 出される場合には、所定の手続きによる日本国政府の輸出許可が必要となりま 23 (4.4) す。 (0.9) CPA100e は、輸出規定に該当しない仕様があります。 測定範囲／プローブ一覧 CPA100 は標準プローブを使用します。 測定範囲は、センサ電極径により異なります。直径が大きいほど、測定範囲は広く設定できます。 センサ電極 カスタマイズされた仕様は、仕様一覧の値と異なりますのでご注意ください。 標準プローブの詳細は 18 ページに記載しています。 Lion Precision は、様々なプローブ形状を提供しています。 16 Lion Precision • 563 Shoreview Park Road • St. Paul, MN 55126 • USA • 800-229-6544 • 651-484-6544 静電容量型変位センサ

CPA100 CPA100 高精度アナログ近接スイッチ CPA100 仕様一覧 ニアギャップ C5S ターゲット センサ電極 測定範囲 形 サイズmm スタイル C = シリンダー C：直径 なし＝ロング ターゲット R = スクウェア R：最長サイド S = ショートR = ライトアングル 測定範囲 出力分解能1 @ 15 kHz プローブ形状 測定範囲 ニアギャップ CPA100 CPA100e センサ電極径 µm µm nm nm mm タイプ mils mils µin µin モデル スタイル スタンダード 50 50 55 400 C3S 2.0 2.0 2.5 16 C3R 0.5 C5S エクステンド 80 60 100 400 C5R 3.0 2.4 4.0 16 C5 C3S C3R スタンダード 100 100 55 400 0.8 C5S 4.0 4.0 2.5 16 C5R C5 スタンダード 250 125 40 400 C5S 10.0 5.0 1.6 16 C5R C5 2.0 C8S エクステンド 500 125 55 400 C8R 20.0 5.0 2.5 16 C8 スタンダード 500 250 85 400 20.0 10 3.5 16 C8S 3.2 C8R エクステンド 1250 250 130 400 C8 50.0 10 5.0 16 スタンダード 500 500 140 400 20.0 20 5.5 16 C9.5S C9.5R 5.6 C9.5 エクステンド 2000 250 170 800 R20 90.0 10 7.0 32 スタンダード 3200 2000 1000 1000 125 80 40 40 13 C18 エクステンド 5000 3000 1600 1600 200 120 63 63 スタンダード 2500 5000 800 800 100 200 30 30 19 R45 エクステンド 6000 3000 1100 1100 250 120 43 43 スタンダード 8000 5000 1200 1200 300 200 47 47 21 C25 エクステンド 12500 5000 1600 1600 500 200 63 63 1出力分解能の値はRMS値で表記されています。1Pk-Pk値は、一般的にRMS値の8 - 10倍になります。CPA100e は、輸出規定に該当しない仕様があります。 静電容量型変位センサ www.lionprecision.com • www.lionprecision.cn.com • www.lionprecision.jp 17

標準プローブ 標準プローブケーブル長：2m 使用温度範囲：4-50 °C. 真空対応として利用可能。 プローブは、センサ面が接触しても電気的な損傷はありません。 測定範囲は、センサ電極径により異なり、直径が大きいほど、範囲は広く設定できます。正しい測定を行うには、平面の測定対象の 場合、センサ電極の約1.3倍の面積が必要です。 Lion Precisionは、様々なプローブ形状を提供しています。 プローブモデル C5S プローブモデル名は、プローブ形状とサイズの組合せになっています センサ電極 (例C5S-0.8 または R45-19)。 形 サイズmm スタイルC = シリンダー C：直径 なし＝ロング R = スクウェア R：最長サイド S = ショート R = ライトアングル ドライバモデル別測定範囲 センサ電極径 CPL190、CPL290 CPL230、CPL350 CPA100 µm µm プローブ (mm) mils mils 3 mm +0/-0.03 mm 10, 50, 80 50, 80 0.118” +0/-0.001” 0.5 0.4, 2.0, 3.0 2.0, 3.0 C3S 1 mm 17 mm 25, 100 100 0.04” 0.67” 0.8 1.0, 4.0 4.0 3 mm +0/-0.03 mm 10, 50, 80 50, 80 0.118” +0/-0.001” 0.5 5 mm 0.4, 2.0, 3.0 2.0, 3.0 C3R 0.20” 3 mm 25, 100 100 1 mm 11 mm 0.12” 0.8 0.04” 0.43” 1.0, 4.0 4.0 10, 50, 80 50, 80 0.5 4.0 mm 5.00/4.97 mm 0.4, 2.0, 3.0 2.0, 3.0 0.16" 0.1965/0.1955" 25, 100 100 C5 0.8 27 mm 1.0, 4.0 4.0 1 mm 1.06" 0.04" 10, 50, 250, 500 250, 500 2.0 0.4, 2.0, 10.0, 20.0 10.0, 20.0 10, 50, 80 50, 80 0.5 4.0 mm 5.00/4.97 mm 0.4, 2.0, 3.0 2.0, 3.0 0.16" 0.1965/0.1955" 25, 100 100 C5S 0.8 14 mm 1.0, 4.0 4.0 1 mm 0.55" 0.04" 10, 50, 250, 500 250, 500 2.0 0.4, 2.0, 10.0, 20.0 10.0, 20.0 10, 50, 80 50, 80 0.5 4.0 mm 5.00/4.97 mm 0.4, 2.0, 3.0 2.0, 3.0 0.16" 0.1965/0.1955" 25, 100 100 C5R 0.8 14 mm 1.0, 4.0 4.0 1 mm 0.55" 0.04" 10, 50, 250, 500 250, 500 2.0 0.4, 2.0, 10.0, 20.0 10.0, 20.0 20.0mm 0.787" 1.8mm Ø 20.0mm 3.2mm Ø 0.787" 1.8mm 50, 500, 2000 500, 2000R20 5.6 5.0mm 2.0, 20.0, 80.0 20.0, 80.0 0.197" 16.0mm 0.630" 18 Lion Precision • 563 Shoreview Park Road • St. Paul, MN 55126 • USA • 800-229-6544 • 651-484-6544 静電容量型変位センサ 20 mm スクウェアタイプ 5 mm シリンダータイプ 3 mm シリンダータイプ サイズ/形状 プローブモデル

ドライバモデル別測定範囲 センサ電極径 CPL190、CPL290 CPL230、CPL350 CPA100 µm µm プローブ (mm) mils mils 6.0 mm 8.00/7.97 mm 0.24" 0.315/0.314" 10, 50, 250, 500 250, 500 2.0 0.4, 2.0, 10.0, 20.0 10.0, 20.0 C8 39 mm 50, 500, 1250 500, 1250 3.2 1 mm 1.54" 2.0, 20.0, 50.0 20.0, 50.0 0.04" 6.0 mm 8.00/7.97 mm 0.24" 0.315/0.314" 10, 50, 250, 500 250, 500 2.0 0.4, 2.0, 10.0, 20.0 10.0, 20.0 C8S 17 mm 50, 500, 1250 500, 1250 1 mm 0.67" 3.2 2.0, 20.0, 50.0 20.0, 50.0 0.04" 6.0 mm 8.00/7.97 mm 0.24" 0.315/0.314" 10, 50, 250, 500 250, 500 2.0 0.4, 2.0, 10.0, 20.0 10.0, 20.0 C8R 17 mm 50, 500, 1250 500, 1250 1 mm 0.67" 3.2 2.0, 20.0, 50.0 20.0, 50.0 0.04" 8.0 mm 9.53/9.50 mm 0.32" 0.375/0.374" 50, 500, 2000 500, 2000 C9.5 5.6 2.0, 20.0, 80.0 20.0, 80.0 39 mm 1 mm 1.54" 0.04" 8.0 mm 9.53/9.50 mm 0.32" 0.375/0.374" 50, 500, 2000 500, 2000 C9.5S 5.6 2.0, 20.0, 80.0 20.0, 80.0 17 mm 1 mm 0.67" 0.04" 8.0 mm 9.53/9.50 mm 0.32" 0.375/0.374" 50, 500, 2000 500, 2000 C9.5R 5.6 2.0, 20.0, 80.0 20.0, 80.0 17 mm 1 mm 0.67" 0.04" 15.8 mm 17.91 ± 0.025 mm 0.62” 0.705 ± 0.001" 2000, 3200, 5000 3200, 5000 C18 13 80, 125, 200 125, 200 8 mm 35 mm 0.31” 1.38” 25.0 mm 0.99” 17.91 ± 0.025 mm 0.705 ± 0.001" 8000, 12500 8000, 12500 C25 21 300, 500 300, 500 35 mm 8 mm 1.38” 0.31” 2.25" 57.2 mm 0.75" 19.1 mm 1.75" 44.5 mm M4x.07 R45 1.5" 4x 2500, 6000 2500, 6000 38.1 mm 19 100, 250 100, 250 2.5" 63.5 mm 0.5" 12.7 mm 静電容量型変位センサ www.lionprecision.com • www.lionprecision.cn.com • www.lionprecision.jp 19 45 mm 25 mm 18 mm スクウェアタイプ シリンダータイプ シリンダータイプ 9.5 mm シリンダータイプ 8 mm シリンダータイプ サイズ/形状 プローブモデル

563 Shoreview Park Rd. Phone 651-484-6544 LION St. Paul, MN 55126 USA Fax 651-484-6824 PRECISION www.lionprecision.com info@lionprecision.com www.lionprecision.cn.com www.lionprecision.jp 主なアプリケーション 位置決め、送り精度 厚み、形状 振れ、偏心 歪み パーツの分類 振動 テクニカルサポート お客様に安心して製品をご活用いただくため、製品の取扱い方法を始め、製品のトラブルや保守、機器の校正サービスを提供してい ます。また、製品導入前の技術相談も行っております。上記内容について、弊社までお問い合せ下さい。 LL02-0021 10/14/2015 ©2015 Lion Precision All Rights Reserved 仕様はすべて予告なく変更される場合があります。