【変位・位置決め加工中・水中カスタマイズソリュｰション】渦電流型変位センサ

ナノメートルの変位を非接触超高分解能で計測 渦電流型変位センサ 変位・位置決め 加工中・水中 カスタマイズソリュｰション Lion Precision・設立 1958 年・IS09001:2008 ・ St. Paul, MN USA 1

渦電流型変位センサ システム ドライバ 励起電圧(AC) 信号処理 校正 出力電圧/データ ECL202 ベストパフォーマンス、高分解能、リニア出力 測定範囲 ECL101 センサ電極に依存 高速応答（最大 80kHz）、リニア出力 取り付け ECL150 シリンダー：3mm, 5mm, 8mm,12mm マルチチャンネル（最大 8ch）、リニア出力 ねじ式：3mm,5mm,8mm,12mm ECA101 18mm,25mm,38mm,50mm 近接センサ、セットポイント出力、ノンリニア出力 渦電流型変位センサ 基本原理 渦電流センサはプローブ チップで交流磁場を発生させます。 この磁場が導電体の近くにある場合、磁場は材料の中で小さ な渦電流を発生させます。この電流は、センサによる磁場を妨げるような磁場を生み出します。プローブと測定ターゲット のギャップが変化することにより、磁場の相互作用が変化します。 センサの電子回路はこの磁場の相互作用を測定し、ギャ ップの変化に比例した出力電圧を発生させます。 導電性の測定ターゲット 測定ターゲットの材料内で誘導された渦電流は、測定している特定の材料に依存し、材料の違いを敏感に感知します。磁性 体材料 (鉄、鉄鋼) と非磁性体材料 (アルミ、銅) の間には大きな違いがあります。このため、正確な校正を保証するため に、注文時にはターゲットの材質を指定する必要があります。 磁場は測定ターゲットの表面に入り込むため、測定ターゲッ トの材料には最小厚さの要求があります。 また、材質のタイプによってこの要求は異なっています。 テクニカルノート LT02-0011、「推奨する最小測定ターゲット厚さ」では、多くの材料での最小の測定ターゲット厚さについて詳細に説明し ています。 テクニカルノートはwww.lionprecision.com で [技術ライブラリ] をクリックして見ることができます。 測定環境 渦電流センサの磁場は、絶縁材料を「光学的に見る」わけではないため、ほとんどの汚染物質の影響を受けません。 これに より、渦電流センサは液体中や、機械の冷却液やその他の液体材料が検出領域に存在している場合でも、正常に機能するこ とができます。 高分解能測定 高精度渦電流センサによる高分解能での測定は、環境とセットアップにより大きな影響を受ける場合があります。 プローブ は、安定した環境にある安定した機械システムに配置する必要があります。 小さな温度変化でも測定ターゲットが膨張し、 高分解能センサで検出することができます。 分解能 分解能とは、測定システムで測定可能な最小の測定値です。 分解能は、本質的にはセンサ出力における電気的ノイズの測定 値と同じです。 渦電流センサの分解能はシステムの帯域幅の関数となります。 つまり、帯域幅が低いほど分解能は向上し ます。 仕様を比較する際に、分解能が規定されている帯域幅を必ず確認しておいてください。 渦電流型変位センサ 2

ドライバ比較 ECL202 ECL150 ECL101 ECA101 非鉄 0.007% 0.007% 0.009% 0.02% 分解能※＠15kHz 鉄 0.009% 0.009% 0.011% 0.02% 直線性※ 0.20% 0.20% 0.50% Nonlinear 最大応答性 15 kHz 15 kHz 80 kHz 10 kHz 応答性 (kHz) 0.1, 1, 10, 15 0.25, 1, 10, 15 --- --- オフセット Push-Button --- Screw Screw ゲイン調整 --- --- Screw Screw セットポイント出力 ✔ --- --- ✔ セットポイント調整 Push-Button --- --- Screw マルチチャンネルパッケージ --- ✔ --- --- Typical Thermal Drift F.S./°C 0.01 0.01 0.04 0.20 フィールドキャリブレーション --- --- Yes --- ※プローブ/仕様により異なります。 アクセサリー スイッチング電源 パワーサプライ 同期用ケーブル DIN レール取付可能 入力：100-240DAC 50/60Hz ECL101 用 出力：12VDC 1.5A(18W) 渦電流型変位センサ 3

ECL202 高性能シングルチャンネルシステム ハイパフォーマンス/シングルチャンネルシステム 性能 ・ 非直線性：±0.2%/FS ・ 高分解能：ECL202：0.002％-0.025％ RMS ECL202e：0.3μｍ RMS 以上 ・ 応答性：100Hz、1kHz、10kHz、15kHz（ユーザ選択可能） 機能 ・ オフセット：プッシュボタンによる容易な操作（フロントパネル/遠隔操作） ・ LED インジケータ：センサ位置の簡易表示 ・ セットポイント：0-10VDC 出力 ・ マルチチャンネルでの使用も可能 輸出 ECL202は、日本国政府の定める輸出管理規制に該当します。本製品を海外へ輸出される場合には、所定の手続 きによる日本国政府の輸出許可が必要となります。 機能説明 オフセット：出力電圧の DC レベルを 5VDC（レンジ中心）にシフトします。プローブ位置が校正レンジの中心 から 20%以内にある時に、本機能は動作します。 セットポイント：接点が閉じて出力が作動するセットポイント電圧を設定します。 仕様 アナログ出力 0-10VDC、 0Ω、 15mAmax セットポイント スイッチ 30VAC/60VDC、 100mA 出力 入力電源 12-24VDC、2.5W リモートのオフセット/セ 12-24VDC、2.5W 差動、 3-7mA ットポイント入力 温度：4-50℃ / 湿度：0-95％ ドライバの動作環境 （結露なし） ドライバの規格 IP40 渦電流型変位センサ 4

ECL202 プローブと測定範囲 選定できる測定範囲はプローブの電極径により異なります。電極径が大きいほど広い測定範囲を選定することがで きます。測定に必要な対象面積は、平面形状の場合で電極径の約 3 倍以上が必要となります。 測定範囲 各応答周波数での分解能（nm） 温度特性 ニア 直線性 プローブ 測定範囲 ターゲット ECL202 ECL202e プローブ ドライバ タイプ ギャップ タイプ ㎜ ㎜ 100Hz 1kHz 10kHz 15kHz 15kHz %F.S. %F.S. 非鉄 10 15 25 30 --- 0.04 0.04 ファイン 0.25 0.05 鉄 15 25 40 50 --- 0.06 0.10 U3 ±0.2 非鉄 25 30 60 65 400 0.04 0.04 スタンダード 0.50 0.05 鉄 30 40 100 110 400 0.08 0.08 非鉄 30 35 70 75 --- 0.04 0.04 ファイン 0.63 0.25 鉄 40 50 75 80 --- 0.08 0.04 U5 ±0.2 非鉄 45 65 140 150 400 0.04 0.10 スタンダード 1.25 0.25 鉄 80 120 240 260 400 0.10 0.10 非鉄 20 30 50 60 --- 0.02 0.04 ファイン 1.00 0.35 鉄 50 60 100 110 --- 0.04 0.04 U8 ±0.2 非鉄 40 60 135 145 400 0.02 0.04 スタンダード 2.00 0.35 鉄 70 80 180 200 400 0.04 0.04 非鉄 40 50 100 110 --- 0.01 0.01 ファイン 1.60 0.60 鉄 50 70 120 130 --- 0.02 0.02 U12 ±0.2 非鉄 60 90 210 240 400 0.02 0.01 スタンダード 3.50 0.60 鉄 100 170 250 300 400 0.03 0.01 非鉄 80 130 300 340 400 0.01 0.01 U18 スタンダード 5.0 0.75 ±0.2 鉄 130 200 390 450 500 0.01 0.01 非鉄 180 250 500 600 600 0.01 0.01 U25 スタンダード 8.0 1.25 ±0.2 鉄 180 250 500 600 600 0.01 0.01 非鉄 200 350 700 800 800 0.01 0.01 U38 スタンダード 12.5 1.50 ±0.2 鉄 200 350 700 800 800 0.02 0.01 非鉄 300 400 800 900 900 0.01 0.01 U50 スタンダード 15.0 2.00 ±0.2 鉄 300 450 900 1000 1000 0.01 0.01 注記 分解能：RMS 値です。Peak-to-Peak の値は、RMS 値のおおよそ 8-10 倍となります。 基本校正対象：非鉄：Al 6160 / 鉄 ：4140 Steel（ご依頼によりカスタム校正対象使用可） 温度ドリフト：プローブ（15-60℃ ）/ ドライバ（15-50℃）の間 渦電流型変位センサ 5

ECL150 コンパクト・マルチチャンネルシステム ハイパフォーマンス/マルチチャンネルシステム 性能 ・ 非直線性：±0.2%/FS ・ 高分解能：ECL150：0.002％-0.025％ RMS ECL150e：0.3μｍ RMS 以上 ・ 応答性：250Hz、1kHz、10kHz、15kHz（ユーザ選択可能） 機能 ・ マルチチャンネル対応（最大 8 チャンネル） ・ LED インジケータ：センサ位置の簡易表示 ・ 各エンクロージャを接続し、8 チャンネル以上のシステム構成に対応 輸出 ECL150は、日本国政府の定める輸出管理規制に該当します。本製品を海外へ輸出される場合には、所定の手続 きによる日本国政府の輸出許可が必要となります。 仕様 アナログ出力 ±5VDC、 0Ω、 15mAmax 12-24VDC、2.5W 1-2 チャンネル 2.5W 入力電源 3-4 チャンネル 3.5W 5-6 チャンネル 4.5W 7-8 チャンネル 5.5W 温度：4-50℃ / 湿度：0-95％（結 ドライバの動作環境 露なし） ドライバの規格 IP40 渦電流型変位センサ 6

ECL150 プローブと測定範囲 選定できる測定範囲はプローブの電極径により異なります。電極径が大きいほど広い測定範囲を選定することがで きます。測定に必要な対象面積は、平面形状の場合で電極径の約 3 倍以上が必要となります。 各応答周波数での分解能（nm） 温度特性 直線性 ニア 測定範囲 ECL150 ECL150e プローブ ドライバ ギャップ プローブ ターゲット タイプ ㎜ ㎜ 250Hz 1kHz 10kHz 15kHz 15kHz %F.S. %F.S. 非鉄 35 45 60 65 400 0.04 0.04 U3 0.50 0.05 ±0.2 鉄 60 80 100 110 400 0.08 0.08 非鉄 75 100 140 150 400 0.04 0.10 U5 1.25 0.25 ±0.2 鉄 130 180 240 260 400 0.10 0.10 非鉄 75 100 135 145 400 0.02 0.04 U8 2.00 0.35 ±0.2 鉄 100 125 180 200 400 0.04 0.04 非鉄 120 160 210 240 400 0.02 0.01 U12 3.50 0.60 ±0.2 鉄 150 200 250 300 400 0.03 0.01 非鉄 170 240 300 340 400 0.01 0.01 U18 5.0 0.75 ±0.2 鉄 230 300 390 450 500 0.01 0.01 非鉄 330 430 600 650 650 0.01 0.01 U25 8.0 1.25 ±0.2 鉄 360 480 650 750 750 0.01 0.01 非鉄 600 750 1000 1200 1200 0.01 0.01 U38 12.5 1.50 ±0.2 鉄 650 800 1100 1300 1300 0.02 0.01 非鉄 750 1000 1300 1400 1400 0.01 0.01 U50 15.0 2.00 ±0.2 鉄 800 1100 1400 1500 1500 0.01 0.01 注記 分解能：RMS 値です。Peak-to-Peak の値は、RMS 値のおおよそ 8-10 倍となります。 基本校正対象：非鉄：Al 6160 / 鉄 ：4140 Steel（ご依頼によりカスタム校正対象使用可） 温度ドリフト：プローブ（15-60℃ ）/ ドライバ（15-50℃）の間 渦電流型変位センサ 7

ECL101 高速応答シングルチャンネルシステム 最大 80ｋHz 応答/シングルチャンネルシステム 性能 ・ 非直線性：±0.5%/FS ・ 高分解能：0.004％-0.06％ RMS ・ 応答性：1kHz、10kHz、80kHz（ユーザ選択可能） 機能 ・ オフセット：ツマミによる容易な操作（フロントパネル/遠隔操作） ・ LED インジケータ：センサ位置の簡易表示 ・ マルチチャンネルでの使用も可能 機能説明 オフセット：出力電圧の DC レベルを 5VDC（レンジ中心）にシフトします。プローブ位置が校正レンジの中心 から 20%以内にある時に、本機能は動作します。 輸出 ECL101は、日本国政府の定める輸出管理規制に該当します。本製品を海外へ輸出される場合には、所定の手続 きによる日本国政府の輸出許可が必要となります。 仕様 アナログ出力 0-10VDC、 0Ω、 20mAmax 入力電源 12-24VDC、2W 温度：4-50℃ / 湿度：0-95％ ドライバの動作環境 （結露なし） ドライバの規格 IP40 渦電流型変位センサ 8

ECL101 プローブと測定範囲 選定できる測定範囲はプローブの電極径により異なります。電極径が大きいほど広い測定範囲を選定することがで きます。測定に必要な対象面積は、平面形状の場合で電極径の約 3 倍以上が必要となります。 各応答周波数での分解能（nm） 温度特性 ニア 直線性 プローブ 測定範囲 プローブ ドライバ ギャップ ターゲット 1kHz 10kHz 80kHz タイプ ㎜ ㎜ %F.S. %F.S. 非鉄 30 60 200 U3 0.50 0.05 ±0.5 0.04 0.04 鉄 40 80 300 非鉄 60 100 250 U5 1.25 0.25 ±0.5 0.04 0.04 鉄 90 150 400 非鉄 100 160 400 U8 2.00 0.35 ±0.5 0.04 0.04 鉄 130 210 500 非鉄 200 280 700 U12 3.50 0.60 ±0.5 0.04 0.04 鉄 260 350 1,200 非鉄 240 480 3,200 U18 5.0 0.75 ±0.5 0.04 0.04 鉄 320 640 4,500 非鉄 U25 8.0 1.25 350 700 5,300 ±0.5 0.04 0.04 鉄 非鉄 U38 12.5 1.50 550 1,100 8,300 ±0.5 0.04 0.04 鉄 非鉄 U50 15.0 2.00 660 1,300 10,000 ±0.5 0.04 0.04 鉄 注記 分解能：RMS 値です。Peak-to-Peak の値は、RMS 値のおおよそ 8-10 倍となります。 基本校正対象：非鉄：Al 6160 / 鉄 ：4140 Steel（ご依頼によりカスタム校正対象使用可） 温度ドリフト：プローブ（15-60℃ ）/ ドライバ（15-50℃）の間 渦電流型変位センサ 9

ECA101 低コスト近接センサ・シングルチャンネルシステム 再現性のある測定を実現できる近接タイプセンサ 性能 ・ 非直線性：非線形 ・ 高分解能：0.02％ RMS @10kHz ・ 応答性：10kHz 機能 ・ 可変ゲイン・オフセット（フロントパネル） ・ LED インジケータ：センサ位置の簡易表示 ・ 可変セットポイント 機能説明 オフセット：出力電圧の DC レベルを 5VDC（レンジ中心）にシフトします。プローブ位置が校正レンジの中心 から 20%以内にある時に、本機能は動作します。 ゲイン：感度調整 セットポイント：接点が閉じて出力が作動するセットポイント電圧を設定します。 輸出 ECA101は、日本国政府の定める輸出管理規制に該当します。本製品を海外へ輸出される場合には、所定の手続 きによる日本国政府の輸出許可が必要となります。 仕様 アナログ出力 0-10VDC、 0Ω、 20mAmax 最大電圧 30VAC/60VDC 最大電流 100mA ON 時の抵 30-50Ω 抗値 セットポイント OFF 時の抵 スイッチ出力 1μA 抗値 ヒステリシ 0.1V ス 反応時間 ON：0.25mS / OFF：0.05mS 入力電源 12-24VDC、2W 温度：4-50℃ / 湿度：0-95％ ドライバの動作環境 （結露なし） ドライバの規格 IP40 渦電流型変位センサ 10

ECA101 プローブと測定範囲 選定できる測定範囲はプローブの電極径により異なります。電極径が大きいほど広い測定範囲を選定することがで きます。測定に必要な対象面積は、平面形状の場合で電極径の約 3 倍以上が必要となります。 ニア 測定範囲 プローブ ギャップ ㎜ ㎜ U3 0.5 0.05 U5 1.25 0.25 U8 2 0.35 U12 3.5 0.6 U18 5 0.75 U25 8 1.25 U38 12.5 1.5 U50 15 2 渦電流型変位センサ 11

プローブ 全モデル共通 特徴 ・ 標準プローブケーブル長：3m ・ カスタムケーブル長 対応可能 ・ 真空対応 対応可能 レンジ ・ プローブサイズに依存されレンジが決定 ・ カスタムレンジ 対応可能 ニア 測定範囲 プローブ ギャップ ㎜ ㎜ U3 0.5 0.05 U5 1.25 0.25 U8 2 0.35 U12 3.5 0.6 U18 5 0.75 U25 8 1.25 U38 12.5 1.5 U50 15 2 取り付け プローブは、ターゲットの大きさとプローブ治具間に注意をする必要があります。ターゲットは、電極直径の 3 倍の 大きさ。また、後方 1.5 倍の領域には、ターゲット以外の金属物を配置しないように注意が必要です。 渦電流型変位センサ 12

プローブサイズ Bタイプ mm A B C D E レンチ U3B M3x.5 2.0 3.0 21.1 13.0 5.5 U5B M5x.8 3.4 3.0 23.0 18.0 8.0 U8B M8x1 6.2 5.0 25.0 18.0 13.0 U12B M12x1 10.0 7.0 29.0 18.0 17.0 U18B M18x1 15.8 9.0 44.0 31.0 24.0 U25B M18x1 25.0 15.0 61.0 42.0 24.0 U38B M18x1 38.0 20.0 80.0 54.0 24.0 U50B M18x1 50.0 25.0 98.0 69.0 24.0 C タイプ ｍｍ A B C D E F U3C 2.92±0.25 2.0 3.0 13.0 5.0 3.6 U5C 4.90±0.25 3.4 3.0 18.0 - - U8C 7.90±0.25 6.2 5.0 18.0 - - U12C 11.89±0.25 10.0 7.0 18.0 - - 渦電流型変位センサ 13

ピーアンドシー株式会社 〒220-0004 神奈川県横浜市西区北幸 2-10-39 日総第 5 ビル 10F TEL: 045-311-8651 FAX: 045-311-8652 pc@p-andc.com www.p-andc.com 主なアプリケーション テクニカルサポート お客様に安心して製品をご活用いただくため、製品の取扱い方法を始め、製品のトラブルや保守、機器の校正 サービスを提供しています。また、製品導入前の技術相談も行っております。上記内容について、弊社までお 問い合せ下さい。 LL02-0030-J01 ©2012 Lion Precision All Rights Reserved All Specifications subject to change without notice. 14