自動化のパートナー 半導体産業

自動化のパートナー 半導体産業 1

お客様の目標：革新的なシステムを使った信頼性がありかつ経済的な製造 高い生産性, 確実性の高い製造, 迅速な投資回収はお客様の主要な関心事です。 • ウェハ生産 • ウェハ製造(前工程) • チップ製造(後工程) 半導体業界の真のパートナーとして、ウェハ生産, ウェハ製造, チップ製造といったバリューチェーン全体を通じてコストの削減と信頼性の高いプロセスソリューションも 期待されています。 Festoができること：完全自動化システムで有利なスタート 個別化されお客様の製造プロセスにパーフェクトに統合される：Festoの お客様特有の要求に合わせてカスタマイズ：Ready-to-installソリュー 自動化ソリューション ション 特に以下のようなアプリケーション向けのシステム： 配管や配線も含めて完全組付済み, テスト済み, 文書化された状態で納入： • ウェハのリフティング • 最適化ソリューションのハンドリングシステム • ガスボックスアプリケーションのパイロット • 制御盤 • 冷却システムの流体制御 • 取付プレート • 製品 モジュール 迅速な投資回収, 最大限の生産性とプロセスの信頼性の向上のために Festoはお客様の全システムソリューションをコンサルティング, エンジニアリング, インタフェースの問題は過去のものとなり、お客様の市場投入時間が短くなりま コミッショニングから包括的なアフターセールスサービスに至るライフサイクル全体 す。 にわたってサポートいたします。 Festoは最適な制御アーキテクチャを含めたソリューション全体をお客様の通 信コンセプトと制御システムへ統合させています。 電動ハンドリングソリューション：搬送, ピック&プレー 組付済みコンポーネントとReady-to- プロセスオートメーション：ガス, 薬液, 水の制御 ス, パレタイジングといったタスクに最適 installの取付プレート に最適 2

実際のアプリケーション：お客様の要求に対するソリューション FOUPオープナ FOUPセンタリング/クランプ FOUPリフティング FOUPクリーニング(N2パージ) UPA(Ultra Pressure Assembly)制御 ウェハのピンリフティング 材料の分注 ゲートバルブ/スリットバルブの動作 水冷/加熱 ガスバルブのパイロット 真空バルブのパイロット 3

お客様の目標：最適に自動化された製造ソリューション Festoができること：アプリケーションとテクノロジーのノウハウのコンビネーション ウェハ生産 ウェハ製造 インゴットの インゴットの 研磨 洗浄 酸化 塗布 露光 現像 エッチング イオン注入 引き上げ 切断 パーフェクトな調質機器：MSシリーズサービスユ ニット その幅広い製品レンジ, 機能性やサービスの多様 性において、MSシリーズはお客様の調質機器に対 する要求に対応するアプリケーション特有のソリュー ション向けに完全統合コンセプトを提供します。 空気圧シリンダ バラエティ豊かなシリンダでお客様のニーズに対応し ます。Festoはお客様のシステムにぴったりの製品を 選定するお手伝いをするために詳細かつ専門的な アドバイスを提供することができます。 お客様のシステム制御に最も経済的な方法： 高速応答バルブ：MH2/MH3/MH4 ミニチュアバルブ MH1 高速応答, 高動的応答性, 高精度といった要求が Festoでは“コンパクト”と名のつく製品レンジを多数 近年の自動化ではますます求められています。 用意しています。これらは設置面積が限られている このソリューションはその応答時間が2ms以内とかな あらゆる製品現場に対応する製品です。 り優れています。 マルチピンまたはFieldbus接続のバルブマニホー 小さな設置面積に詰め込まれた機能性： ルド VTUG バルブターミナル VTOC コンパクトでユニバーサル、そして大流量 半導体やプロセス産業におけるガスボックスやコンパ 制御盤内設置用に最適化され耐腐食性を向上さ クトシステムのパイロットバルブとして理想的な製品 せたバルブマニホールドで、実行中のプロセスを中断 です。さらにより高いセーフティ用にインターロックのオ させることなくバルブの交換が可能なホットスワップ機 プションも用意しています。このバルブターミナルには 能を持たせています。 マルチピン, Fieldbusインタフェース, IO-Link®を 用意しています。 4

チップ製造 成膜 CMP 検査 ウェハのダイシング ダイアッタチ ワイヤーボンディング モールド トリム&フォーム マーキング 最終検査 比例圧力制御バルブ お客様からの要求がますます高度になってきているた め、Festoは比例圧力制御バルブを様々なアプリケ ーションに適合させることができるようにしました。 ベストソリューション – 圧力センサ：SPAN-B この製品は現在の正圧/負圧の情報を受け取ること ができるよう、ガスと非腐食性の気体に使用すること が可能になっています。 コンパクト – フローセンサ：SFAH 各種継手 0.002～200 l/minという少～中の範囲で変動が ある流量に対応し、エア接続ポートと出力信号にフ 最適な継手を簡単に選定 レキシビリティを持つフローセンサです。 Festoは継手に関してもあらゆる条件に適したソリュ ーションを用意しています。ワンタッチコネクタの種類 はスタンダードなものから機能的なものまで合わせる と1000種類を超えます。 真空エジェクタ：OVEM メディアの輸送に対応する特殊なチューブ： 様々な機能を選ぶことができるモジュラ真空エジェク PUN-H-B タシリーズ – 各機能を個別に選定して1つのユニット 特殊要件に応じてメディアを安全に運ぶために特殊 に統合 なチューブを用意しました。これらはウェハ生産のガイ ドラインSEMI S2 & DIN EN ISO 7751に対応 しています。 5

多様なプロセスステップ – シングルソリューション：Festo 半導体設備におけるガスキャビネット 半導体産業には非常に多くの作業ステップやプロセスがあります。 お客様のアプリケーションに向けてFestoの半導体産業の専門家とともに生産的、経済的そしてエネルギー効率まで含めた最適なソリューションを開拓してみません か？ 半導体事業におけるガス供給システム 各ポイントに特殊ガスを供給するシステム：毒性, 可燃性, 腐食性といったガスを安全にハンドリングできるように設計されています。 プロセスガスバルブを開閉させる空気圧ソレノイドバルブ プロセスバルブがCDAまたはN2によってアクティブになった場合に監視 する空気圧インジケータ継手 ガスシリンダの非常時にシャットダウンするバルブシャッター ガス供給時にCGAコネクタが手動で開くのを防止する空気圧オート ガードシリンダ パイロットバルブが動作しない場合に重要なプロセスが中断されるのを防止す るためにプロセスガスバルブを手動で有効化させる空気圧マニュアルサプライ セレクタ その他のアプリケーション：VMB(バルブマニホールドボックス), BSGS(バルク専用ガスシステム), ガスボックス, ローカルスクラバ 6

高精度, 高速で静音性に優れるピエゾテクノロジー 構造 リーフスプリング Off On ピエゾセラミック 電源 変位 受動導電性基板 パッキン ピエゾセラミック機能：ベンダーアクチュエータ 比例圧力制御バルブ VEAA/VEAB 比例制御 統合されている圧力センサと内部で昇圧された高 ピエゾアクチュエータをリニアモードで稼働させるための内部の閉ループシステム 電圧でピエゾバルブを制御し、出力が決められたア ナログセットポイント値に対応するようにします。圧 力は連続的に監視され、そのセットポイント値から 外れると自動的に調整されます。 ダイナミックで高精度 セットポイント変更にも迅速に対応でき、即時運転可能状態に 比例流量制御バルブ VEMD (マスフローコントローラ) VEMDは気体の流量を予め設定しておいた値へと 調整します。これを構成するのは比例バルブとフロ ーセンサ、出力側の流量を制御する閉ループ制御 省スペースの要求と低エネルギー消費 システムです。 コンパクトな設置寸法で軽量のためポータブルデバイスへの設置に最適 低消費電流により発熱もゼロ Festo Motion Terminal VTEM (空気圧のデジタル化) VTEMはFestoの製品群の新しいテクノロジーの 中でも革新的な製品です。この製品はソリューショ 静かで長寿命 ンニュートラル, テクノロジーニュートラルなサプライヤ 内部のソレノイドバルブを頻繁に切換えることが事がないため騒音がなく長 としてのFestoの戦略を補完するもので、標準的 寿命を維持 な空気圧機器と電動オートメーション用製品の間 に位置づけられるものです。 典型的なアプリケーション 圧力 圧力 圧力 研磨 ダイヤフラム ウェハ テーブル 高性能な空気圧制御の重要なファクター：CMPアプリケーション 7

冷却回路の制御と調整 アングルシートバルブ VZXA 大流量でクリーニングしやすいデザイン, モジュラ構 造で、空気圧バルブのボディとアクチュエータを組み 合わせたお客様のアプリケーションをさらにフレキシ ブルにするための最高の製品です。 ピンチバルブ VZQA ターンアクチュエータ DFPD ノーマルクローズ、それともノーマルオープン？これら DFPDシリーズはラックとピニオンのコンビネーシ はお客様で決めていただきます。ピンチバルブ ョンにより回転角度の範囲全体にわたって安 VZQAならお客様は、粒子, 固型を含む液体や 定したトルク性能を発揮します。ターンアクチュ 高粘度のもの、浸透性の高い液体といった流体の エータ DFPDはお客様のバタフライバルブ, ボ 制御でもより確実にできるようになります。このコン ールバルブ、シャットオフバルブを自動化させる パクトな空気圧バルブは設置しやすくクリーニングも のにピッタリの製品です。 簡単でモジュールとして構成することも可能です。 ソレノイドバルブ VZWF ボールバルブ VZBF 差圧のない閉じたメディア回路にも使用可能： 液体と気体が制御可能なステンレス製ボール パイロット式の空気圧バルブ VZWFは小型のソレ バルブは2つのパートで構成されており、メンテ ノイドでも有効径を大きく取っているため高圧の制 ナンスも容易です。 御ができるようになっています。 この耐火性デザインはAPI 607の要求に対 応しています。 • 完全組み付け状態でテストまで済ませたReady-to-installシステムソリューション • 冷却プロセスの調整に必要とされる全コンポーネントをシングルソースで • 丈夫で信頼性の高いメディアバルブ：標準でもカスタマイズソリューションとしてでも設置スペー ス, 温度, メディアに適合 8

Ready-to-installソリューション 保護と構造：プロセスオートメーション向け制御盤 カスタマイズされた制御盤が全ての空気圧機器, 電気系統, 電動コンポーネントを保護：Festoの制御盤は 制御システム, バルブターミナル, 調質機器まで含めた“指令センター”的役割で使用されています。 このため、これらが完全自動化ソリューションの核となるのです。 ストリーミングプロセス用：製品モジュール Festoの製品レンジは30,000もの単体コンポーネントで構成 されており、お客様のアプリケーションの仕様に合わせた機能モ ジュールを形成するために組付け済みとすることも可能です。 Festoはお客様のためにこれらの全ての管理を実施していま す。 最適, 安全, 高精度：取付プレート Festoの取付プレートはその機能ごとに空気圧と電動のコンポーネントの組付用に使用されています。これらは 単体コンポーネントをサポートしており、システムコンセプトへ統合されることになります。 非常にコンパクトで最適に保護：カートリッジソリューション カートリッジソリューションは高度にコンパクト化されたデザインと、 少ない空気圧機能でありつつコンポーネントの保護が求められ る場所に最適です。これらは1つ以上の空気圧機能をコンパク トな1つのユニットに統合したものです。その設置スペースは明ら かに小さくなります。部品の"中身"はコンポーネント自体に収納 されているので個別のハウジングが不要です。 最適でコンパクト：ファンクションブロック ダクトを持つファンクションブロックがせまい設置スペースに少数の コンポーネントを配置する場合に役立ちます。これらはマニホー ルドブロックに代わる実用的なもので、接続ポートの位置がフレ キシブルに自由に変更できます。 9

一貫した提供：ワールドワイドサポート Festoのサービスとサポートの理念は半導体業界をはじめ、様々な分野のお客様のバリュー創造を継続的に分析することに裏打ちされています。Festoはこの知 識を活かし、お客様のバリューチェーン全体をサポートする洗練されたポートフォリオを開発しています。 エンジニアリング：革新的なシステムを • コンサルタント 使ったクレバーなコンセプト！ • リサーチとエンジニアリングツール • サイジングツール • 電子カタログ • 3Dデータ 調達とロジスティック：全てをシングルソ • Festo online shop ースで！ • 24時間発送サービス • 物流最適化サービス • Prepack 設置とコミッショニング：シンプルでフレ • Ready-to-installソリューション キシブル、そして最速！ • 軸システムのコミッショニング • 圧縮空気消費量解析 • 無償のeplanとCoDeSys marcos 運用とメンテナンス：ハイレベルなシス • エナジーセービングサービス テムの可用性とコストの削減！ • モジュラサービス契約 • 圧縮空気クオリティ解析 • スペアパーツカタログ/リペアサービス • ドキュメントなどを提供するSupport portal 11 10

迅速かつ簡単な方法でお客様にソリューションを提供 お客様の要求をお話しください。 共に歩んでいきましょう – ただし、仕事をするのは私たちFestoです お近くのFestoまでご連絡ください。 www.festo.com/jp 11 11

フエスト株式会社 224-0025 横浜市都筑区早渕1-26-10 Tel：050-3852-6000 Fax：050-3852-6140 Email：info_jp@festo.com www.festo.com/jp 202206