独自の画像処理アルゴリズムで背景パターンを除去して欠陥のみを抽出
・高解像度光学系+独自の画像処理
・RGBの3色照明 赤、緑、青の3色が選択可能（混合も可能）適正な光源で確実な検出
・膜厚ムラを同時解析
・LEDやMEDIAの検査にも有効
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 高性能ウェーハマクロ欠陥検査装置 PRESTIGE II |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 656.1Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | CCTECH JAPAN株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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