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微細化する半導体プロセスに対応
・低振動
OPEN/CLOSE動作時の低振動化を実現
・低パーティクル
新機構により低発塵化を実現
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このカタログについて
ドキュメント名 | ゲートバルブ True L-Motion Gate Valve |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 791.9Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 株式会社ブイテックス (この企業の取り扱いカタログ一覧) |