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ゲートバルブ True L-Motion Gate Valve

製品カタログ

微細化する半導体プロセスに対応

・低振動
 OPEN/CLOSE動作時の低振動化を実現
・低パーティクル
 新機構により低発塵化を実現

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このカタログについて

ドキュメント名 ゲートバルブ True L-Motion Gate Valve
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 791.9Kb
登録カテゴリ
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