このカタログについて
| ドキュメント名 | 画像検査装置 導入事例 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 事例紹介 |
| ファイルサイズ | 265.9Kb |
| 取り扱い企業 | ジャパンシステム株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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画像検査装置
導 入
事 例
事例紹介企 業
半導体デバイスメーカー様 プリンタメーカー様 電子部品メーカー様
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事例 1 半導体デバイスメーカー S 社
1時間かけていた検査を10分で！
CLIP MICRO
対物レンズと分解能 測定視野
対物レンズ倍率 分解能 測定視野
×5 0.68μm 5440μm
×10 0.34μm 2720μm
×20 0.17μm 1360μm
×50 0.068μm 680μm
撮像部 構成
カメラ解像度 16384画素/LINE 計測部、制御PC、ディスプレイ
センサー方式 モノクロ CMOSセンサー 電源仕様
AC100V,110V 50,60Hz 5A
測定部 寸法
測定方式 オートフォーカス顕微鏡 440(W)×700(D)×800(H)mm
対物レンズ ×5,10,20,50から2種選択 重量
90kg
線幅 10μｍ～ 20μｍのパターンが数百本あるウエハーのパターン形状および
線のカケ等を、工業用顕微鏡を用いて 1 枚数十分から 1 時間程度かけて 人間の
目でチェックしていましたが、とても集中力の必要な作業で熟練を要します。
厳しい作業のため人の入れ替わりも多く、 熟練度によってばらつきがある等の
課題があり、自動化が望まれておりました。
弊社ではオートフォーカスの顕微鏡と精密ステージ、ウエハー CADデータから
検査レシピを作成するソフトを開発し、わずか 10 分で検査可能としました。
また、CAD データから検査レシピを作成するため、品種切り替えにも短時間で
対応可能となりました。
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事例 2 プリンタメーカー S 社
1日かかっていた検査が数秒で完了！
CLIP
撮像部 電源仕様
カメラ解像度 16384画素/LINE AC100V,110V 50,60Hz 5A
センサー方式 モノクロ CMOSセンサー 寸法
照明部 計測部
光源 RGB3色LED 700(W)×700(D)×730(H)mm
点灯切替速度 100μsec 制御部
制御I/F USB 250(W)×500(D)×550(H)mm
測定部 重量
スキャンスピード 300μsec/Line 70kg
計測サイズ 300mm(幅)×240mm
スキャン時間 4秒
構成
計測部、制御PC、照明制御BOX、ディスプレイ
開発部門にて、品質確認作業の効率化をしたいというご相談でした。
耐久試験での印字品質の推移を定量化するために行っている計測作業では、
人がメジャーを用いて目視検査しており、作業完了まで数日かかる場合も
あるため、大幅な検査スピード UP が望まれておりました。
CLIP を用いた自動測定により、印字位置±50μｍ、ピッチ測定±20μｍ
という測定精度で、数時間～数日を要していた作業が数秒～数時間で完了
する大幅な時間短縮に成功しました。（A4 用紙 1 枚であれば 5 秒で計測）
また、弊社独自の検査レシピ編集ツールで、多種多様な計測パターンにも
高度な専門知識無しにユーザー側で対応可能となりました。
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事例 3 電子部品メーカー K 社
様々な会社で失敗した検査に成功！
CLIP MULTI
透過光測定部 フィルム穴測定 スキャンステージY軸
撮像部1 駆動方式 リニアモータ駆動
カメラ解像度 16384画素/LINE 計測サイズ(可動範囲) 220mm
センサー方式 モノクロ CMOSセンサー 精度(単一方向) 1μm以下
分解能 1μm/dot スキャンスピード 200mm/sec
照明部1 スキャンステージX軸
光源 白色LED 高輝度LINE照明 リニアモータ駆動
発光面 200mm×13mm 駆動方式 または
反射光測定部 コート面測定 ステップモータ駆動
撮像部2 計測サイズ(可動範囲) 140mm
カメラ解像度 16384画素/LINE 精度(単一方向) 25μm以下
センサー方式 モノクロ CMOSセンサー スキャンスピード 100mm/sec
分解能 3.5μm/dot 制御I/F
照明部2 USB
光源 RGB3色LED 電源仕様
点灯切替速度 100μsec AC100V,110V 50,60Hz
構成 寸法
計測部、制御PC、照明制御BOX、ディスプレイ 600(W)×1000(D)×1630(H)mm
100ｍｍ×200ｍｍのフィルム上にある 20μｍ程度の穴のサイズおよび
形状、コーティングのムラ、キズなどの検査希望でした。
今までの目視検査では人間による基準のばらつきや人の定着の問題があり、
自動化が必須のテーマとなっていましたが、１枚当たりの検査時間は数分
におさめる必要があり、弊社にご依頼いただく前に何社かへ依頼されても
市販品の組み合わせでは希望通りの装置は完成しなかったそうです。
弊社ではラインカメラおよび透過光光源検査とフルカラー対応した反射光
光源のライン照明 (特許取得済 )を用いた CLIP MULTI をカスタマイズし、
独自のソフト処理を加え、要望を満たす検査装置として完成いたしました。
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1台から対応可能!
自動検査装置
特注製作
します!!
具体的なイメージが無くても大丈夫。
私たちが一緒に形にしていきます。
まずはご相談ください！！
Mail：info@jpnsys.co.jp
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