CVD装置のカタログ一覧 | Apérza Catalog（アペルザカタログ）

◆PEGASUS　PLAT FORM300 mm Process の自動化に適合したシステムを構築し、省スペース、優れた生産性とシステム信頼性でウエハ当たりの生産コストの削減に貢献します。最大4 つのロードポート 300 mm FOUP の装備が可能で、高い柔軟性と装置の高寿命化を実現...

基材の耐摩耗性を向上

連続膜は約7000回の摺動で摩擦係数が高くなっていますが、S-DLCは約13.000回まで程摩擦を保っています。◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

セグメント構造DLCに最適化した成膜装置

◆要注目の薄膜「S-DLC」◆異常放電回避＆防止機能つき◆様々な基板への適応を可能に◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

表面熱処理技術の総合メーカー

・金属表面処理『アルファロゴス』自社開発のプラズマCVDコーティング装置を用いてセラミックコーティングします。世界初で初めて、プラズマCVDによるコーティング処理を本...

CVD装置